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1.发明申请듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법, 노광장치, 그 레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법 및 제조장치 审中-公开一种能够产生双线的激光曝光方法和曝光装置，使用激光曝光方法制造具有双线的精细图案的方法和装置
公开(公告)号：WO2017209330A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：PCT/KR2016/005958
申请日：2016-06-07
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법, 노광장치, 그레이저 노광법을 이용한 듀얼 라인을 갖는 미세패턴 제조방법 및 제조장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는 레이저 노광법에 있어서, 특정폭과, 특정광량을 갖는 레이저빔이 기판상에 코팅된 감광막으로 조사되는 단계; 상기 레이저빔이 조사된 부분의 감광막이 제거되는 단계; 제거된 감광막의 주변 양단부에 상부로 돌출된 돌출단이 형성되는 단계; 양측의 상기 돌출단 상부면 각각에 산화막이 생성되는 단계; 및 상기 감광막을 에칭하여 듀얼라인이 생성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀얼라인 생성이 가능한 레이저 노광법에 관한 것이다.
Abstract translation:
本发明涉及用于制造具有能够产生双重线，曝光装置，激光曝光方法和制造装置的激光曝光方法的双重线的精细图案的方法。 更具体地，在激光曝光方法中，将具有特定宽度和特定量的光的激光束照射到涂覆在基板上的光致抗蚀剂膜; 去除激光束照射部分的光刻胶层; 在去除的光致抗蚀剂的周边的两个周边部分处形成向上突起的突起; 在两侧的突起的每个上表面上形成氧化膜; 并且蚀刻光致抗蚀剂层以形成双线。本发明涉及能够产生双线的激光曝光方法。
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公开(公告)号：WO2009113765A1
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/KR2009/000312
申请日：2009-01-21
IPC: G01B11/03
CPC classification number: G01B11/03 , G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 본 발명은 피대상물에 대한 기계적 오차를 실시간으로 보정하면서 피대상물의 표면 좌표를 정밀하게 측정할 수 있는 구조의 기준판을 이용한 좌표 측정기에 관한 것으로, 상기 피대상물의 상부에 구비되고, 좌/우로 이동될 수 있도록 X축스테이지 축상에 결합된 측정부 및 상기 측정부의 상부에 고정되는 기준판를 포함하여 이루어지되, 상기 측정부는 측정부와 기준판 사이의 거리와, 측정부와 피대상물과의 사이 거리를 실시간으로 측정하여 X축스테이지의 기계적 오차를 보정하여 정밀측정하는 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用参考面板的坐标测量机，其能够实时地校正物体的机械误差并精确地测量物体的表面坐标。 坐标测量机包括：测量单元，布置在物体上并固定在X轴平台的轴线上，使得测量单元可沿水平方向移动;以及参考面板固定在测量单元上。 测量单元通过实时测量测量单元和参考面板之间的距离以及测量单元与物体之间的距离进行精确测量，并校正X轴平台中的机械误差。
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公开(公告)号：WO2018084377A1
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：PCT/KR2017/000326
申请日：2017-01-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 변형 거울 보상 장치에 관한 것이다. 본 발명의 변형 거울 보상 장치는 서로 대향된 제1 면과 제2 면을 갖는 고정 판; 상기 제1 면 상에 이격 배치되는 변형 거울; 상기 변형 거울과 상기 고정 판를 연결하고, 서로 이격된 복수의 구동 소자들; 상기 고정 판과 연결되어, 상기 고정 판을 변형시키는 고정 판 변형부를 포함하고, 상기 고정 판 변형부는: 상기 제2 면에 연결되고, 서로 이격된 복수의 지지 부재들; 및 상기 지지 부재들 중 서로 인접한 제1 및 제2 지지 부재들을 연결하는 적어도 하나의 길이 조절 유닛을 포함하고, 상기 고정 판 변형부는, 서로 인접한 상기 지지 부재들 중 적어도 어느 하나를 밀거나 당기길 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种变形的镜像补偿器。 本发明的变形镜补偿装置包括：固定板，具有彼此相对的第一表面和第二表面; 与第一表面间隔开的变形镜; 多个驱动元件，连接变形镜和固定板并彼此间隔开; 固定板和连接到所述固定板包括应变，并且固定板变换单元变换所述固定板：在耦合到所述第二表面，多个支撑构件彼此间隔开; 和至少一个长度，其包括调整单元，并且所述固定板变形部分，所述相邻的支撑构件彼此的至少一方的道路推的数目或拉连接第一和第二支承构件是彼此相邻的所述支撑部件的
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公开(公告)号：WO2018135718A1
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：PCT/KR2017/009529
申请日：2017-08-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 반사경 측정 시스템 및 이를 이용한 반사경 측정 방법에 관한 것이다. 반사경 측정 시스템은 광을 제1 방향을 향해 조사하는 간섭계; 상기 간섭계로부터 상기 제1 방향으로 이격된 반사경; 상기 반사경과 상기 간섭계 사이에 위치되고, 상기 반사경의 정점영역에 상기 간섭계에서 조사된 광의 초점 영역을 형성하는 홀로그램 부재; 상기 홀로그램 부재로부터 상기 제1 방향으로 이격된 광 섬유; 상기 광의 초점 영역 상에 상기 광 섬유의 일단을 위치시키는 광 섬유 이동 유닛; 및 상기 광 섬유의 일단의 위치를 측정하는 위치 측정 유닛을 포함한다.
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5.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치, 제조시스템 및 그 제조시스템에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造设备和制造系统启用制造系统制造的关键深度调节和衍射元件
公开(公告)号：WO2016125959A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005865
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 높이방향 간섭형성부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가는한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的基于激光曝光方法的微图案制造装置。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造装置，其包括高度方向干涉形成单元，由此干涉具有彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案的干涉激光束 从而能够提高高度方向线宽度，进一步可以应用可变形的变形镜，从而能够调整焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件 。
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Patent Agency Ranking6.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造方法实现焦深深度调节，关键深度调整方法和制造方法制造的衍射元件
公开(公告)号：WO2016125958A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005864
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 초점심도 조절부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가능한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的激光曝光方式的微图案制造方法，焦点深度调整方法和通过该制造方法制造的衍射元件。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造方法，其包括焦点深度调整单元，由此干涉彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案方向的干涉激光束 高度方向，从而能够提高高度方向线宽度，并且还可以应用可变形的变形镜，从而能够调节焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件。
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公开(公告)号：WO2010068046A3
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：PCT/KR2009/007384
申请日：2009-12-10
Abstract: 본 발명은 연마대상물을 입력된 데이터에 근거하여 대구경 광학렌즈로 연마하는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 연마장치는, 각종 구성요소가 설치되는 베이스프레임; 연마대상물이 안치 고정되며 베이스프레임에 설치되는 회전 가능한 턴테이블; 턴테이블의 하부에 설치되어 상기 턴테이블을 회전시키는 턴테이블 회전수단; 베이스프레임의 일측 상부프레임에 설치된 회전축에 일측 단부가 결합되고 베이스프레임의 타측 상부프레임에 연결되어 회전축을 중심으로 수평방향으로 회전 가능한 툴이동몸체; 베이스프레임의 타측 상부프레임에 설치되며 상기 툴이동몸체의 타측 단부가 상기 일측 상부프레임을 따라 가이드되도록 하는 툴이동몸체회전수단; 툴이동몸체의 하부에 장착되는 툴장착몸체; 툴이동몸체의 길이방향으로 툴장착몸체의 이동을 제어하는 툴이동수단; 입력된 데이터에 근거하여 상기 턴테이블 회전수단, 툴이동몸체 회전수단, 툴이동수단이 작동하도록 하는 중앙처리장치; 턴테이블회전수단, 툴이동몸체회전수단, 툴이동수단의 작동에 관한 데이터가 중앙처리장치에 입력되도록 하는 데이터입력기기;를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号：KR1020160095681A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020150016702
申请日：2015-02-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/0275 , G03F7/2053
Abstract: 본발명은초점심도조절이가능한레이저노광법기반미세패턴제조장치에대한것이다. 보다상세하게는, 미세패턴제조장치에서초점심도를조절하기위한초점심도조절장치에있어서, 레이저빔이입사되어일부를반사시켜제1레이저빔을출사시키고, 나머지는투과시켜제2레이저빔을출사시키는편광빔스플리터로구성된빔스플리터; 상기빔스플리터에서출사된제1레이저빔을반사시켜상기빔스플리터로다시입사시키는평면미러; 상기빔스플리터에서출사된제2레이저빔을반사시켜제1특정폭보다작은제2특정폭을갖는제2레이저빔을상기빔스플리터로다시입사시키고, 곡률의변경이가능한변형미러유닛; 상기제1특정폭을갖는제1레이저빔과상기제2특정폭을갖는제2레이저빔이입사되는검광기; 상기레이저발생부와상기편광빔스플리터사이에구비되어상기레이저발생부에서발생된레이저빔이투과되어편광방향이서로수직인 S파및 P파로편광시키는편광판; 및상기편광빔스플리터와상기평면미러사이및 상기편광빔스플리터와상기변경미러유닛사이각각에구비되어입사되는광을 45°만큼편광시키는쿼터파장판을포함하는것을특징으로하는레이저노광법기판미세패턴제조장치에구비되는초점심도조절장치에대한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种基于具有可控聚焦深度的激光曝光方法来制造精细图案的装置。 更具体地，用于控制精细图案制造装置中的聚焦深度的焦点深度控制装置包括：分束器，包括偏振分束器，其通过反射入射激光束的一部分并发射第二激光束而发射第一激光束，并且通过 传递其余的; 反射从分束器发射的第一激光束的平面镜将光束投射到分束器; 反射从分束器发射的第二激光束的可更换镜单元，将具有小于第一特定宽度的第二特定宽度的第二激光束投射到分束器，并且能够改变曲率; 具有第一特定宽度的第一激光束和第二特定宽度的第二激光束投射到的光学检测器; 偏振片安装在激光产生部分和偏振分束器之间，以将从激光束产生部分产生的激光束偏振成彼此垂直的P波和S波; 和四分之一波片分别安装在偏振分束器和平面镜之间以及偏振分束器和可变镜子单元之间，以将入射光偏振45°。
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公开(公告)号：KR101389320B1
公开(公告)日：2014-04-29
申请号：KR1020120087418
申请日：2012-08-09
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G02B5/1871 , G02B5/1857 , G03F7/70383
Abstract: 본 발명은 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치, 위상회절소자 제조방법 및 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자에 대한 것이다. 보다 상세하게는 위상회절소자 제조장치에 있어서, 특정폭을 갖는 레이저빔을 발생시키는 레이저발생부; 레이저발생부에서 발생된 레이저빔을 투과시키는 노광렌즈; 노광렌즈의 초점부분에 설치되어 레이저빔이 주사되어 레이저빔에 의해 굴절률이 변화되는 광경화성 수지로 구성된 기판; 및 기판 또는 노광렌즈를 평면방향으로 이동시키기 위한 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 직접레이저 노광법을 이용한 위상회절소자 제조장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用直接激光曝光方法制造相位衍射元件的装置，相型衍射元件的制造方法和使用直接激光曝光法的相位衍射元件。 更具体地，本发明涉及通过在由光固化树脂形成的基板上照射激光束来制造相型衍射元件的装置和方法。
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