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1.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치, 제조시스템 및 그 제조시스템에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造设备和制造系统启用制造系统制造的关键深度调节和衍射元件
公开(公告)号：WO2016125959A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005865
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 높이방향 간섭형성부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가는한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的基于激光曝光方法的微图案制造装置。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造装置，其包括高度方向干涉形成单元，由此干涉具有彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案的干涉激光束 从而能够提高高度方向线宽度，进一步可以应用可变形的变形镜，从而能够调整焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件 。
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2.发明申请초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자 审中-公开基于激光曝光方法的微波炉制造方法实现焦深深度调节，关键深度调整方法和制造方法制造的衍射元件
公开(公告)号：WO2016125958A1
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：PCT/KR2015/005864
申请日：2015-06-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 초점심도 조절이 가능한 레이저 노광법 기반 미세패턴 제조방법, 초점심도 조절방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 회절소자에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 초점심도 조절부를 포함하여 서로 평면방향 폭이 다른 레이저빔을 간섭시켜 높이방향의 간섭무늬방향을 갖는 간섭레이저빔을 감광막에 주사하게 됨으로써 높이방향 선폭을 향상시킬 수 있고, 또한, 곡률변형이 가능한 변형미러를 적용하게 됨으로써, 초점심도의 조절이 가능하게 됨으로써 삼각패턴의 회절소자의 제조가 가능한 미세패턴 제조방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种能够进行焦点深度调整的激光曝光方式的微图案制造方法，焦点深度调整方法和通过该制造方法制造的衍射元件。 更具体地，本发明涉及一种微图案制造方法，其包括焦点深度调整单元，由此干涉彼此不同的平面方向宽度的激光束，并且在光致抗蚀剂中注入具有干涉图案方向的干涉激光束 高度方向，从而能够提高高度方向线宽度，并且还可以应用可变形的变形镜，从而能够调节焦深，从而能够制造三角形图案衍射元件。
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公开(公告)号：KR1020160090934A
公开(公告)日：2016-08-02
申请号：KR1020150010452
申请日：2015-01-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L51/56 , H01L21/683
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/6831 , H01L2224/75744
Abstract: 본발명은증착장치에사용되는척을가공하는방법및 가공하는장치에관한것이다. 본발명의일예와관련된척 가공방법은척이사용되는공정의온도환경및 상기척의물성을이용하는유한요소법(FEM, Finite Elements Method)에따라상기척의변형을예측하는제 1 단계; 상기예측된변형의역변형형태를상기척의가공형태인제 1 형태로결정하는제 2 단계; 및상기제 1 형태에따라상기척을가공하는제 3 단계;를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于处理用于沉积设备的卡盘的方法和设备，以便即使发生下垂也向用户提供平面形卡盘。 用于处理与本发明的实施例相关的卡盘的方法包括：第一步骤，使用使用卡盘的工艺的温度环境和材料来估计卡盘的修改根据有限元法（FEM） 卡盘的性质; 将所述估计修改的反向修改形式确定为作为所述卡盘的处理形式的第一形式的第二步骤; 以及根据第一形式处理卡盘的第三步骤。
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公开(公告)号：KR1020160095681A
公开(公告)日：2016-08-12
申请号：KR1020150016702
申请日：2015-02-03
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/0275 , G03F7/2053
Abstract: 본발명은초점심도조절이가능한레이저노광법기반미세패턴제조장치에대한것이다. 보다상세하게는, 미세패턴제조장치에서초점심도를조절하기위한초점심도조절장치에있어서, 레이저빔이입사되어일부를반사시켜제1레이저빔을출사시키고, 나머지는투과시켜제2레이저빔을출사시키는편광빔스플리터로구성된빔스플리터; 상기빔스플리터에서출사된제1레이저빔을반사시켜상기빔스플리터로다시입사시키는평면미러; 상기빔스플리터에서출사된제2레이저빔을반사시켜제1특정폭보다작은제2특정폭을갖는제2레이저빔을상기빔스플리터로다시입사시키고, 곡률의변경이가능한변형미러유닛; 상기제1특정폭을갖는제1레이저빔과상기제2특정폭을갖는제2레이저빔이입사되는검광기; 상기레이저발생부와상기편광빔스플리터사이에구비되어상기레이저발생부에서발생된레이저빔이투과되어편광방향이서로수직인 S파및 P파로편광시키는편광판; 및상기편광빔스플리터와상기평면미러사이및 상기편광빔스플리터와상기변경미러유닛사이각각에구비되어입사되는광을 45°만큼편광시키는쿼터파장판을포함하는것을특징으로하는레이저노광법기판미세패턴제조장치에구비되는초점심도조절장치에대한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种基于具有可控聚焦深度的激光曝光方法来制造精细图案的装置。 更具体地，用于控制精细图案制造装置中的聚焦深度的焦点深度控制装置包括：分束器，包括偏振分束器，其通过反射入射激光束的一部分并发射第二激光束而发射第一激光束，并且通过 传递其余的; 反射从分束器发射的第一激光束的平面镜将光束投射到分束器; 反射从分束器发射的第二激光束的可更换镜单元，将具有小于第一特定宽度的第二特定宽度的第二激光束投射到分束器，并且能够改变曲率; 具有第一特定宽度的第一激光束和第二特定宽度的第二激光束投射到的光学检测器; 偏振片安装在激光产生部分和偏振分束器之间，以将从激光束产生部分产生的激光束偏振成彼此垂直的P波和S波; 和四分之一波片分别安装在偏振分束器和平面镜之间以及偏振分束器和可变镜子单元之间，以将入射光偏振45°。
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公开(公告)号：KR101501509B1
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：KR1020130128734
申请日：2013-10-28
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01S3/06791 , H01S3/08054 , H01S3/105 , H01S3/1115
Abstract: 본 발명은 이중 광빗 펨토초 광섬유 레이저를 제공한다. 이중 광빗 펨토초 광섬유 레이저는 편광 상태를 유지하는 광섬유 공진기; 상기 광섬유 공진기에 장착되어 펌프광을 상기 광섬유 공진기에 제공하는 파장 분할 다중화 결합기(wavelength division multiplexing couplerer; WDM coupler); 상기 펌프광을 출력하는 펌프 광원; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 펌프 광을 통하여 펌핑되는 이득 매질첨가 광섬유; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 모드 잠금(mode locking)을 유도하는 모드 잠김 수단; 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 광섬유 공진기 내부에 진행하는 광을 한 방향으로 진행하도록 분리기(isolator); 상기 광섬유 공진기에서 일부의 출력을 추출하는 광 방향성 결합기; 및 상기 광섬유 공진기에 장착되고 상기 광섬유 공진기 내부에 진행하는 광의 편광 상태에 따라 서로 다른 굴절률을 제공하는 복굴절 소자를 포함한다. 상기 광섬유 공진기는 제1 편광에 대응하고 제1 반복률을 가지는 제1 펄스 열 및 제2 편광에 대응하고 제2 반복률을 가지는 제2 펄스 열을 제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种双光梳飞秒光纤激光器。 双光梳飞秒级光纤激光器包括保持偏振状态的光纤谐振器，安装在光纤谐振器上并将泵浦光提供给光纤谐振器的波分复用（WDM）耦合器，泵浦光源 输出泵浦光，附加在光纤谐振器上并由泵浦光泵浦的增益介质附加光纤，安装在光纤谐振器上并引起模式锁定的模式锁定单元，隔离器是 安装在光纤谐振器上并引导通过光纤谐振器的光沿一个方向前进，提取光纤谐振器的一部分输出的光指向性组合器和安装在光纤上的双折射装置 并且根据光纤谐振器中的光的偏振状态提供不同的折射率。 光纤谐振器提供对应于第一极化并具有第一重复率的第一脉冲串和对应于第二极化并具有第二重复率的第二脉冲串。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101473402B1
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：KR1020130062299
申请日：2013-05-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은형상측정장치및 방법을제공한다. 이형상측정장치는제1 방향과제2 방향에의하여정의되는제1 평면에서제1 방향을따라연속적으로배열된광원, 제1 방향을따라연장되고제2 방향을중심축으로하여회전하여기울어져배치되고광원으로부터제1 평면에수직한제3 방향으로이격되어배치된빔 분할기(beam splitter), 제1 방향으로연장되어배치되고빔 분할기의하부면에서반사한기준빔과빔 분할기를투과하여샘플에반사되어다시빔 분할기를투과한물체빔 사이의간섭신호를상기제1 방향을따라감지하는광 센서어레이, 및광 센서어레이의공간간섭신호를처리하여빔 분할기의하부면과샘플의상부면사이의거리를제1 방향에따라산출하는처리부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140141050A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130062299
申请日：2013-05-31
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 형상 측정 장치 및 방법을 제공한다. 이 형상 측정 장치는 제1 방향과 제2 방향에 의하여 정의되는 제1 평면에서 제1 방향을 따라 연속적으로 배열된 광원, 제1 방향을 따라 연장되고 제2 방향을 중심축으로 하여 회전하여 기울어져 배치되고 광원으로부터 제1 평면에 수직한 제3 방향으로 이격되어 배치된 빔 분할기(beam splitter), 제1 방향으로 연장되어 배치되고 빔 분할기의 하부면에서 반사한 기준 빔과 빔 분할기를 투과하여 샘플에 반사되어 다시 빔 분할기를 투과한 물체 빔 사이의 간섭 신호를 상기 제1 방향을 따라 감지하는 광 센서 어레이, 및 광 센서 어레이의 공간 간섭 신호를 처리하여 빔 분할기의 하부면과 샘플의 상부면 사이의 거리를 제1 방향에 따라 산출하는 처리부를 포함한다.
Abstract translation: 提供了轮廓测量装置和轮廓测量方法。 轮廓测量装置包括：在由第一方向和第二方向限定的第一平面上沿第一方向连续布置的光源; 沿第一方向延伸的分束器，围绕第二方向旋转，布置成倾斜，并且布置成在垂直于第一平面的第三方向上与光源分离; 布置成沿第一方向延伸的光传感器阵列，并且在第一方向上检测参考光束和物体光束之间的干涉信号; 以及处理部分，通过处理光传感器阵列的空间干涉信号来计算分束器的底表面与样品的第一方向的顶表面之间的距离，其中参考光束从第一方向的底表面反射 分束器，并且物体光束穿透分束器，从样品反射，并再次穿透分束器。
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公开(公告)号：KR101907728B1
公开(公告)日：2018-10-15
申请号：KR1020150010452
申请日：2015-01-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L51/56 , H01L21/683
Abstract: 본발명은증착장치에사용되는척을가공하는방법및 가공하는장치에관한것이다. 본발명의일예와관련된척 가공방법은척이사용되는공정의온도환경및 상기척의물성을이용하는유한요소법(FEM, Finite Elements Method)에따라상기척의변형을예측하는제 1 단계; 상기예측된변형의역변형형태를상기척의가공형태인제 1 형태로결정하는제 2 단계; 및상기제 1 형태에따라상기척을가공하는제 3 단계;를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020140134822A
公开(公告)日：2014-11-25
申请号：KR1020130054573
申请日：2013-05-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/005 , B24B41/06
CPC classification number: B24B13/005 , B24B41/06
Abstract: 본 발명은 광학거울의 공압시스템에 적용되는 중력보상장치, 중력보상방법 및 그 중력보상장치가 구비된 광학거울의 공압시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 후방면에 다수의 홈이 형성된 광학 거울의 후방면과 특정공간을 갖도록 후방면 측에 결합되는 공압하우징; 내주면이 상기 광학거울의 외주면과 형상맞춤되도록 상기 광학거울과 상기 공압하우징 사이에 구비되어 상기 특정공간을 밀폐시키는 공압외부마개; 상기 특정공간을 가압하여 상기 광학거울을 부양시키는 압력가압수단; 및 상기 광학거울의 외주면을 둘러싸도록 설치된 공압외부마개의 외주면 일측에 구비되는 특정무게를 갖는 적어도 하나의 무게추와, 상기 무게추를 상기 광학거울의 무게중심면과 수직방향으로 이동시키는 이동수단을 구비한 중력보상장치;를 포함하여, 광학거울면의 가공량에 따른 광학거울 무게중심의 이동과 이로 인한 광학거울의 표면형상왜곡 현상을 무게추의 무게와 위치를 조절함으로써 효과적으로 상쇄시킬 수가 있는 중력보상장치를 갖는 광학거울의 공압시스템에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种应用于光学镜的气动系统，重力补偿方法和具有重力补偿装置的光学镜的气动系统的重力补偿装置。 根据本发明，气动系统包括：气动壳体，其与后侧结合，以具有在后侧具有多个凹槽的光学镜的后侧的特定空间; 设置在光学反射镜和气动壳体之间的外部气动盖，以密封该特定空间，以使内圆周表面的形状与光学镜的外周表面的形状相匹配; 用于通过按压所述特定空间来浮动所述光学镜的压力按压装置; 以及重力补偿装置，其包括至少一个重量，所述重物具有安装在围绕所述光学镜的外周面的所述外部气动帽的外周面的一侧中配置的比重，以及移动装置， 光学镜的重心的垂直方向。 具有重力补偿装置的光学镜的气动系统能够有效地抵消由光学镜面的处理量引起的光学镜的重心的运动和由此产生的光学镜的表面形状畸变 通过调整重量的位置和重量。
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公开(公告)号：KR101406124B1
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：KR1020120124558
申请日：2012-11-06
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 본 발명은 거울 연마 장치 및 거울 연마 방법을 제공한다. 이 거울 연마 장치는 일면은 경량화 패턴을 포함하고 타면은 연마되는 경량화 처리된 거울, 거울이 삽입되어 걸치는 제1 깊이의 제1 홈을 포함하고 제1 홈의 하부면에 제1 깊이보다 큰 제2 깊이의 제2 홈을 포함하는 금속 재질의 고정 블록, 거울의 측면과 제1 홈의 측벽 사이에 삽입되어 유체를 밀폐시키는 밀폐 부재, 유체를 제공받아 제2 홈에 제공하고 제2 홈의 압력을 일정하게 제공하는 유체 압력 조절부, 및 유체 압력 조절부에 유체를 제공하는 유체 공급부를 포함한다.
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