-
公开(公告)号：KR101906301B1
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：KR1020170149120
申请日：2017-11-10
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: H01J37/3429 , C23C14/12 , C23C14/3414 , H01J37/3491
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
-
公开(公告)号：KR101139846B1
公开(公告)日：2012-04-30
申请号：KR1020100051744
申请日：2010-06-01
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 다결정 잉곳 제조장치의 도어 개폐시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공챔버 내에 구비된 도가니와 이를 감싸 보호하는 써셉터(suseptor), 도가니 내의 실리콘 원소재를 용융시키기 위해 열을 가하는 히터수단, 써셉터의 하측에 소정간격 이격되고, 이동공이 통공된 단열층, 단열층의 이동공을 통해 승강되어 도가니를 냉각시키는 냉각수단, 단열층의 이동공을 개폐하고, 냉각수단에 의해 승강되어 냉각수단의 냉기를 써셉터에 전달하기 위한 도어, 진공챔버 내로 불활성기체를 공급 및 진공내의 불활성기체를 외부로 배출시키는 불활성기체 공급 및 배출부, 도가니의 온도를 측정하는 온도센서 및 온도센서의 출력값을 받아 도가니 내의 실리콘의 용융 및 균일한 성장이 이루어지도록 히터수단과 냉각수단을 제어하여 도가니 내의 온도� � 제어하고, 불활성기체 공급 및 배출부를 제어하여 진공챔버 내의 불활성기체를 일정수준으로 유지시키는 제어부를 갖는 태양전지용 다결정 잉곳 제조장치에 있어서, 써셉터의 하측에 다수의 지지대가 구비되고, 도어는 단열층의 이동공보다 크게 형성되어 그 상측을 덮되, 지지대를 따라 이동 가능하도록 구비되어, 도가니의 냉각시 냉각수단이 승강될 경우, 이 냉각수단에 의해 도어가 다수의 지지대를 따라 수평을 유지하며 용이하게 승강시켜 써셉터로의 냉기전달 및 이동공을 폐쇄시킨다.
-
公开(公告)号：KR101139845B1
公开(公告)日：2012-04-30
申请号：KR1020100040101
申请日：2010-04-29
Applicant: 한국화학연구원
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: H01L31/182 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B17/00 , C30B28/06 , C30B29/06 , Y02E10/546 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 태양전지용 고 생산성 다결정 실리콘 잉곳 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공챔버 내부에서 원료 실리콘을 가열하여 용융시킨 후, 냉각시켜 다결정 실리콘 잉곳을 제조하는 장치에 있어서, 상기 진공챔버 내부에 수평방향으로 상호 이격되도록 배열되며, 원료 실리콘이 각각 담겨져 다결정 실리콘 잉곳이 제조되는 다수의 도가니, 상기 각 도가니를 가열시켜 담겨진 원료 실리콘을 용융시키도록 상기 각 도가니의 외측에 구비되는 히터수단, 및 상기 히터수단에 의해 용융된 실리콘을 냉각시켜 다결정 잉곳으로 성장시키기 위해 상기 도가니를 냉각시키는 냉각수단을 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 외부히터와 내부히터로 구성된 히터수단의 각 온도를 제어하여 다수의 도가니를 가열시킬 수 있음에 따라 종래와 유사한 제조시간에 다수의 잉곳을 동시에 생산할 수 있어 제품의 질은 물론, 대량생산이 가능하며, 또한 비상 시 액상 실리콘의 누출 방지를 위한 보호판의 설치에 의해 장비 파손 및 폭발의 위험을 방지함과 더불어, 실리콘 응고열의 일방향성 제어를 통해 고효율 태양전지 제조에 적합한 잉곳의 주상구조 분율을 극대화 할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020110130067A
公开(公告)日：2011-12-05
申请号：KR1020100049509
申请日：2010-05-27
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
Abstract: PURPOSE: A poly-crystal silicon ingot manufacturing device for a solar battery is provided to manufacture a high capacity and high quality silicon ingot by uniformly growing silicon crystal from a lower direction to an upper direction. CONSTITUTION: A susceptor is installed in the outer side of a crucible and covers the crucible. A support stand(400) is installed in the lower side of the crucible and the susceptor and supports the crucible and the susceptor. A main heater part is formed into an insulating material which secludes a heat and is installed in a main heater and outer side of the main heater. A sub heater part(600) comprises a pair of sub heaters, a pair of Insulation boards, a pair of insulating plates, and a pair of rotated electrodes. A cooling part(700) is installed in the lower side of the sub heater part and eliminates the heat of solidification of a silicon material which is dissolved. The cooling part manufactures a silicon ingot by coagulating the silicon material which is dissolved by approaching to the crucible after passing through an opening part.
Abstract translation: 目的：提供一种太阳能电池用多晶硅锭制造装置，通过从下方向上方均匀生长硅晶体，制造高容量，高质量的硅锭。 构成：将基座安装在坩埚的外侧并覆盖坩埚。 支撑架（400）安装在坩埚和基座的下侧，并支撑坩埚和基座。 主加热器部分形成为隔热的绝缘材料，并且安装在主加热器和主加热器的外侧。 副加热器部件（600）包括一对副加热器，一对绝缘板，一对绝缘板和一对旋转电极。 冷却部（700）安装在副加热器部分的下侧，并消除溶解的硅材料的凝固热。 冷却部件通过使通过开口部的坩埚接近而溶解的硅材料凝结而制造硅锭。
-
公开(公告)号：KR1020110120617A
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：KR1020100040101
申请日：2010-04-29
Applicant: 한국화학연구원
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: H01L31/182 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B17/00 , C30B28/06 , C30B29/06 , Y02E10/546 , Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: An apparatus for manufacturing a high productive poly-crystal silicon ingot is provided to prevent an apparatus from being damaged or exploded by maintaining silicon to be safe by the end of a process with the separation of the silicon, which is flown out, in the lower part of a damaged crucible and. CONSTITUTION: A vacuum chamber(100) includes a crucible in which a poly-crystal silicon ingot is formed. The crucible is arranged to a horizontal direction to be separated. A susceptor(500) is fixed in the vacuum chamber by a support stand. A heating device(300) is included in the outside of each crucible and transfers radiant heat to the crucible. A cooling device(400) is included to cool the crucible.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造高生产率多晶硅锭的装置，用于通过在流出的硅分离之后将硅保持在安全状态，以防止装置被损坏或爆炸 损坏的坩埚的下部和。 构成：真空室（100）包括其中形成多晶硅锭的坩埚。 坩埚布置成水平方向分离。 基座（500）通过支撑架固定在真空室中。 在每个坩埚的外部包括加热装置（300），并将辐射热传递到坩埚。 包括冷却装置（400）以冷却坩埚。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100559259B1
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：KR1020050034181
申请日：2005-04-25
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C12P41/00
Abstract: 본 발명은 라세믹 2-아릴프로피온산 씨오에스테르를 효소 촉매와 화학 촉매를 이용하여 동적속도론적으로 광학 분할하여 (S)-2-아릴프로피온산 유도체를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 생물학적 광학 분할 반응기와 화학적 라세미화 반응기가 분리 설치되어 있고, 상기 두 반응기는 용액이송관과 펌프로 연결되어 반응용액이 두 반응기를 일정 유속으로 순환하도록 하며, 상기 생물학적 광학 분할 반응기내에서는 라세믹 2-아릴프로피온산 씨오에스테르 중의 (S)-2-아릴프로피온산 씨오에스테르가 효소에 의해 광학 선택적으로 가수분해되고, 상기 화학적 라세미화 반응기내에서는 (R)-2-아릴프로피온산 씨오에스테르가 고체 염기촉매에 의해 라세미화되는 반응이 동시에 이루어지는 동적속도론적 광학 분할을 수행함으로써 광학적으로 순수한 (S)-2-아릴프로피온산 유도체를 효율적으로 제조하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明是一种外消旋的2-芳基丙酸酯ssioh涉及一种方法，用于通过使用酶催化剂，并在动态动力学化学催化剂，更具体的制造使用（S）的旋光拆分-2-芳基丙酸衍生物，涉及一种生物体光 和反应器组成和化学外消旋化的反应器中安装单独的，这两个反应器通过songgwan泵到反应溶液中在两个反应器的恒定流速进行循环，为外消旋2-芳基 - 飞行的生物光学拆分反应的溶液连接 在ssioh酸酯（S）-2-芳基丙酸酯由2-芳基丙酸酯ssioh固体碱催化剂外消旋和分解，通过酶ssioh光学歌手任选，在化学反应器外消旋（R） 在光学方面， （S）-2-芳基丙酸衍生物。
-
公开(公告)号：KR1020050090669A
公开(公告)日：2005-09-14
申请号：KR1020040015862
申请日：2004-03-09
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07C209/74
Abstract: 본 발명은 무색, 무염의 디알릴디메틸암모늄클로라이드의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수산화나트륨 수용액 존재 하에서 디메틸아민 수용액과 알릴클로라이드를 반응시켜 알릴디메틸아민 중간체를 제조하여 정제한 후, 고속으로 회전하는 분쇄·교반기를 이용하여 상기 정제된 알릴디메틸아민 중간체와 알릴클로라이드를 반응시켜, 색을 형성하는 부반응을 억제하고 수율의 증대 및 물성이 우수함과 동시에 반응속도의 극대화가 가능한 무색, 무염의 디알릴디메틸암모늄클로라이드를 제조하는 방법에 관한 것이다.
-
公开(公告)号：KR1020000021440A
公开(公告)日：2000-04-25
申请号：KR1019980040536
申请日：1998-09-29
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C01G25/06
CPC classification number: C01G25/06 , B01J27/053
Abstract: PURPOSE: A solid super acid is provided to be used in an acid chemical reaction and an acid catalytic reaction. CONSTITUTION: A method for manufacturing of a solid super acid of an oxysulfate system has fixed crystal structure, by which two or three sulfuric are connected with a metal ion of a 5B group of a periodic table, and comprises the steps of: adding ammonia water to distilled water, in which a metal precursor is solved, adding to be an extent of 9-26 weight percent of solution, and producing by plasticizing to 200-700°C, after repeating a drying process, a washing process, and a stirring process.
Abstract translation: 目的：提供固体超强酸用于酸化学反应和酸催化反应。 构成：硫酸过硫酸盐体系的固体超强酸的制造方法具有固定的结晶结构，其中两个或三个硫酸与周期表的5B族的金属离子连接，包括以下步骤：将氨水 向其中溶解金属前体的蒸馏水中加入9-26重量％溶液的程度，并通过增塑至200-700℃，重复干燥过程，洗涤过程和搅拌 处理。
-
-
公开(公告)号：KR1020170127396A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020170149120
申请日：2017-11-10
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的用于溅射的氟基聚合物复合靶可以改善与施加有电压的金属电极的结合力，抑制翘曲的发生并提供导电性，从而稳定地形成等离子体 可以提供能够通过溅射有效地在被粘物上沉积氟基聚合物的氟基聚合物复合靶。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
82
records
(took 0.021 seconds)
