PHOTOAKUSTISCHER GASSENSOR UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES PHOTOAKUSTISCHEN GASSENSORS

    公开(公告)号:DE102018112341A1

    公开(公告)日:2019-11-28

    申请号:DE102018112341

    申请日:2018-05-23

    Abstract: Vorgeschlagen wird ein photoakustischer Gassensor mit einem hermetisch versiegelten Gehäuse, das mit einem Referenzgas gefüllt ist. Der photoakustische Gassensor beinhaltet ferner ein Mikrofon, das in dem Gehäuse angeordnet und eingerichtet ist, ein Mikrofonsignal in Abhängigkeit von einer Schallwelle zu erzeugen, die auf in das Gehäuse einfallendem Licht basiert. Weiterhin beinhaltet der photoakustische Gassensor eine steuerbare Wärmequelle, die in dem Gehäuse angeordnet und eingerichtet ist, das Referenzgas selektiv thermoakustisch anzuregen, um eine zu der Schallwelle phasenverschobene thermoakustische Schallwelle zu erzeugen.

    Photoakustischer Sensor, Verfahren zum Prüfen einer Gasdichtheit und System

    公开(公告)号:DE102017128526A1

    公开(公告)日:2019-06-06

    申请号:DE102017128526

    申请日:2017-12-01

    Abstract: Ein Beispiel eines Systems (100) umfasst ein mit einem Gas (110 )gefülltes Volumen (102), eine Gasanregeeinrichtung (104), die dazu ausgebildet ist, das Gas (110) innerhalb des Volumens (102) anzuregen, ein Mikrofon (106), das dazu ausgebildet ist, ein Mikrofonsignal in Abhängigkeit von dem durch die Gasanregeeinrichtung (104) angeregten Gas (110) auszugeben und eine Prüfeinheit (108), die dazu ausgebildet ist, basierend auf dem Mikrofonsignal eine Gasdichtheit des Volumens (102) zu prüfen. Ein Beispiel eines photoakustischen Sensors (400) umfasst eine hermetisch abgeschlossene Sensorzelle (402), eine Gasanregeeinrichtung (411) und eine Prüfeinheit (416), die dazu ausgebildet ist, basierend auf dem von dem thermisch angeregten Gas (404) abhängigen Mikrofonsignal eine Gasdichtheit der Sensorzelle (402) zu prüfen. Ein Beispiel umfasst ein Verfahren (500) zum Prüfen einer Gasdichtheit eines mit einem Gas gefüllten Volumens.

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