公开(公告)号：WO03025678A3

公开(公告)日：2003-10-09

申请号：PCT/DE0203196

申请日：2002-08-28

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  ALBRECHT THOMAS ,  HAASE NORBERT ,  HAFFNER HENNING ,  JAEHNERT CARMEN ,  KRONEFELD OLAF ,  STIEGLER MANFRED

Inventor： ALBRECHT THOMAS ,  HAASE NORBERT ,  HAFFNER HENNING ,  JAEHNERT CARMEN ,  KRONEFELD OLAF ,  STIEGLER MANFRED

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70541 ,  G03F7/70741

Abstract: The invention relates to a method and a device for control of the data flow on application of reticles in a semiconductor component production, characterised in that the reticles each have a unique structured reticle data set, whereby the content of the reticle data set can be automatically altered and/or completed, depending on the production process for a semiconductor component. The application of reticles in a semiconductor component production can thus be efficiently controlled.

Abstract translation: 本发明涉及一种方法，以及用于控制在在半导体器件生产中使用的标线的数据的流动的设备，其特征在于，所述标线清楚地结构化的标线片被分配，其中，所述掩模版的响应的内容的半导体器件的制造工序中 自动改变和/或补充。 因此，使用分划板可以有效地控制在一个半导体器件的制造。

公开(公告)号：DE102018112341A1

公开(公告)日：2019-11-28

申请号：DE102018112341

申请日：2018-05-23

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： EBERL MATTHIAS ,  ALBRECHT THOMAS

IPC: G01N21/17 ,  G01N29/02

Abstract: Vorgeschlagen wird ein photoakustischer Gassensor mit einem hermetisch versiegelten Gehäuse, das mit einem Referenzgas gefüllt ist. Der photoakustische Gassensor beinhaltet ferner ein Mikrofon, das in dem Gehäuse angeordnet und eingerichtet ist, ein Mikrofonsignal in Abhängigkeit von einer Schallwelle zu erzeugen, die auf in das Gehäuse einfallendem Licht basiert. Weiterhin beinhaltet der photoakustische Gassensor eine steuerbare Wärmequelle, die in dem Gehäuse angeordnet und eingerichtet ist, das Referenzgas selektiv thermoakustisch anzuregen, um eine zu der Schallwelle phasenverschobene thermoakustische Schallwelle zu erzeugen.

公开(公告)号：DE10143711A1

公开(公告)日：2003-06-26

申请号：DE10143711

申请日：2001-08-30

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： HAASE NORBERT ,  KRONEFELD OLAF ,  JAEHNERT CARMEN ,  HAFFNER HENNIG ,  ALBRECHT THOMAS ,  STIEGLER MANFRED

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

Abstract: A reticle control system and method in which each reticle is unambiguously assigned a structured reticle data set, and the content of each reticle data set is automatically changed and/or supplemented depending on use of the associated reticle in the semiconductor component production process for which the reticle was produced. The reticle data set is used to identify and control the reticles over the entire production sequence. The ability to change or supplement the reticle data sets facilitates progressively storing production-dictated information related to the use of the associated reticles, thereby enabling effective control of the reticles in the production process.