BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    21.
    发明申请
    BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
    COMPONENT与方法研究

    公开(公告)号:WO2003106327A1

    公开(公告)日:2003-12-24

    申请号:PCT/DE2002/004536

    申请日:2002-12-11

    Abstract: Es wird ein Konzept zur Verankerung von unbeweglichen Strukturelementen und insbesondere zur Elektrodenverankerung für Bauelemente vorgeschlagen, deren Bauelementstruktur in einer Siliziumschicht (2) über einem als Träger dienenden Substrat (4) ausgebildet ist. Dieses Konzept eignet sich besonders für Bauelemente, die aus SOI-Wafern hergestellt werden. Erfindungsgemäß wird das unbewegliche Element (6) über mindestens ein sich durch die Siliziumschicht (2) erstreckendes Verankerungselement (7) aus einem Verankerungsmaterial mechanisch mit dem Substrat (4) verbunden. Im Falle eines SOI-Wafers erstreckt sich das Verankerungselement (7) durch die Siliziumschicht (2) und die Opferschicht (3) des SOI-Wafers. Dazu wird im Bereich der Oberfläche des unbeweglichen Elements (6) mindestens eine Ausnehmung in der Siliziumschicht (2) erzeugt, die sich durch die gesamte Siliziumschicht (2) und die Opferschicht (3) bis zum Substrat (4) erstreckt. Die Ausnehmung wird dann mit einem Verankerungsmaterial verfüllt, so dass das unbewegliche Element (6) über das dabei entstehende Verankerungselement (7) mechanisch mit dem Substrat (4) verbunden wird.

    Abstract translation: 它提出了一种概念用于锚定固定结构元件,特别是到电极用于锚定部件在用作支承体(4)的衬底上形成,其部件结构中的硅层(2)。 这个概念是特别适合于由SOI晶片的组件。 根据通过所述硅层通过至少一个连接至所述可动部件(6)本发明(2)延伸的锚固材料的锚固元件(7)机械地连接到所述基板(4)。 在SOI晶片的情况下,锚定元件(7)通过硅层(2)和所述SOI晶片的所述牺牲层(3)延伸。 为了这个目的,在硅层(2)的至少一个凹槽中穿过整个硅层(2)和所述牺牲层(3)到所述衬底延伸的固定构件(6)的表面的区域中产生的(4)。 然后该凹部填充有锚固材料,使得得到的锚固元件在固定元件(6)(7)机械地连接到(4)被连接在基板上。

    SICHERHEITSEINRICHTUNG FÜR KRAFTFAHRZEUGE
    23.
    发明公开
    SICHERHEITSEINRICHTUNG FÜR KRAFTFAHRZEUGE 审中-公开
    SICHERHEITSEINRICHTUNGFÜRKRAFTFAHRZEUGE

    公开(公告)号:EP1963149A1

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:EP06819543.7

    申请日:2006-11-16

    Abstract: Safety device for motor vehicles, having an impact detection system (16) and a triggering device (26) for triggering a braking operation as a function of a signal (a) of the impact detection system, characterized in that the triggering device (26) is configured to trigger the braking operation when the impact detection system (16) indicates the start of an impact.

    Abstract translation: 用于机动车辆的安全装置包括冲击检测系统和用于根据冲击检测系统的信号触发制动操作的触发装置,其特征在于,所述触发装置被设计用于当冲击时触发制动操作 检测系统表明影响的开始。

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