非接触输送装置
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1783450A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510113826.X

    申请日:2005-10-19

    CPC classification number: H01L21/6838

    Abstract: 本发明涉及一种非接触输送装置,包括:顶板(12),该顶板(12)形成有空气供给孔(30);底板(18),该底板(18)形成有多个空气喷射孔(34);以及多个中间板(26),这些中间板(26)堆叠和布置在顶板(12)和底板(18)之间。中间板(26)中形成有狭槽(24),该狭槽用作喷嘴(22)以及与空气供给孔(30)和空气喷射孔(34)连通的流体通道(20)。设置了螺钉部件(28),该螺钉部件使顶板(12)、多个中间板(26)和底板(18)成一体地连接。

    促动器
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1123712C

    公开(公告)日:2003-10-08

    申请号:CN00802272.0

    申请日:2000-10-17

    Abstract: 在导引机构(20)上设置圆弧形断面的第1导轨(40a、40b)和圆弧形断面的第2导轨(46a、46b);其中,第1导轨(40a、40b)安装在圆弧形断面的第1长槽(38a、38b)内,该第1长槽(38a、38b)形成在框架(12)的内壁面上;第2导轨(46a、46b)安装在圆弧形断面的第2长槽(44a、44b)内,该第2长槽(44a、44b)形成在与上述框架(12)的内壁面相向的滑块(18)的侧面。由此,提高在滑块(18)上设置球滚动孔的自由度,且可缓和外力带来的应力集中。引导机构(20)还具有分别安装在所述滑块(18)轴向两端侧的第一滑动盖(48)和第二滑动盖(50),第一滑动盖(48)的中央的上部形成弯曲面(52),第二滑动盖(50)形成有断面略U字形的孔部(54),用以分别收容滚珠螺母(30)的圆筒部(32)。

    促动器
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1327523A

    公开(公告)日:2001-12-19

    申请号:CN00802272.0

    申请日:2000-10-17

    Abstract: 在导引机构(20)上设置圆弧形断面的第1导轨(40a、40b)和圆弧形断面的第2导轨(46a、46b);其中,第1导轨(40a、40b)安装在圆弧形断面的第1长槽(38a、38b)内,该第1长槽(38a、38b)形成在框架(12)的内壁面上;第2导轨(46a、46b)安装在圆弧形断面的第2长槽(44a、44b)内,该第2长槽(44a、44b)形成在与上述框架(12)的内壁面相向的滑块(18)的侧面。由此,提高在滑块(18)上设置球滚动孔的自由度,且可缓和外力带来的应力集中。

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