真空吸取设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103029985A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210377735.7

    申请日:2012-09-28

    CPC classification number: B65G47/91 B25B11/007 H01L21/6838 Y10S901/40

    Abstract: 一种真空吸取设备(10),该真空吸取设备配备有具有供应端口(22)的本体(12),和设置在本体(12)的下部上的衬垫(14),工件(W)能够在吸取作用下被吸引在衬垫(14)上。衬垫(14)由基板(38)、柔性中间板(40)和吸取片状物体(42)构成,其中基板(38)被容纳在本体(12)的空间(24)中,柔性中间板(40)设置在基板(38)的下部上,吸取片状物体(42)设置在中间板(40)的下部并且具有在吸取作用下吸引工件(W)的片状物(46)。另外,基板(38)、中间板(40)和吸取片状物体(42)沿着本体(12)的轴线方向堆叠。基板(38)的刚度最高,而中间板(40)和吸取片状物体(42)的刚度依次降低,而它们的柔性从基板(38)依次增大。

    非接触输送装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101081515A

    公开(公告)日:2007-12-05

    申请号:CN200710106530.4

    申请日:2007-06-01

    CPC classification number: H01L21/6838 H01L21/67784

    Abstract: 非接触输送装置(10)包括:顶板(14),该顶板(14)有用于向它供给空气的供给口(12);扩散器板(18),该扩散器板(18)有用于排出空气的排出孔(16);以及板形喷嘴板(22),该喷嘴板置于顶板(14)和扩散器板(18)之间,且其中有多个喷嘴(20)。顶板(14)、喷嘴板(22)和扩散器板(18)叠放起来,并通过多个连接螺栓(24)而相互连接成一体。空气从供给口(12)通过流动通道(26)而供向多个喷嘴(20)。空气通过沿径向向外方向定向的沿径向形成的喷嘴(20)而从多个排出孔(16)导向外部。

    非接触输送装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1783450A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510113826.X

    申请日:2005-10-19

    CPC classification number: H01L21/6838

    Abstract: 本发明涉及一种非接触输送装置,包括:顶板(12),该顶板(12)形成有空气供给孔(30);底板(18),该底板(18)形成有多个空气喷射孔(34);以及多个中间板(26),这些中间板(26)堆叠和布置在顶板(12)和底板(18)之间。中间板(26)中形成有狭槽(24),该狭槽用作喷嘴(22)以及与空气供给孔(30)和空气喷射孔(34)连通的流体通道(20)。设置了螺钉部件(28),该螺钉部件使顶板(12)、多个中间板(26)和底板(18)成一体地连接。

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