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公开(公告)号：CN104703911B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201380051481.2
申请日：2013-09-04
Applicant: 追踪有限公司
Inventor： 爱德华·杰·廉·陈 , 伊萨克·克拉克·莱因斯 , 文兵 , 琼·厄克·李
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B3/007 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H01F2007/1822 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供用于机电系统EMS装置的系统、方法和设备，其中一或多个突起连接到所述EMS装置的表面。在一个方面中，所述EMS装置包含：衬底；静止电极，其在所述衬底上方；和可移动电极，其在所述静止电极上方。所述可移动电极经配置以通过所述可移动电极与所述静止电极之间的静电致动而移动到横越间隙的三个或三个以上位置。当所述突起在横越所述间隙的所述位置中的一者处接触所述EMS装置的任何表面时，所述突起改变所述EMS装置的硬度。接触所述一或多个突起的所述表面中的至少一者为非刚性。在一些实施方案中，所述突起具有大于约20nm的高度。
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公开(公告)号：CN106185793A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610591750.X
申请日：2009-12-18
Applicant: 3M创新有限公司
Inventor： 莫塞斯·M·大卫 , 安德鲁·K·哈策尔 , 蒂莫西·J·赫布林克 , 余大华 , 张俊颖
CPC classification number: B81C1/00031 , B81B2201/047 , B81B2203/0361 , G02B1/118 , Y10T428/24355
Abstract: 本发明涉及纳米结构化制品和制备纳米结构化制品的方法。具体地，本发明提供了一种纳米结构化制品，其包括基质和纳米级分散相。纳米结构化制品具有无规纳米结构化各向异性表面。
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公开(公告)号：CN102955187B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201210293203.5
申请日：2012-08-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 吉澤隆彦
CPC classification number: G01J3/0256 , B81B2201/047 , B81B2203/0384 , G01J1/0488 , G01J3/36 , G01J2003/1213 , G02B5/201 , G02B5/285 , H01L29/06 , H01L31/02165 , H01L31/02327 , H01L31/02366 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及倾斜结构体、倾斜结构体的制造方法、及分光传感器。所述倾斜结构体的制造方法包括：工序（a），在基板的上方形成牺牲膜；工序（b），形成第一膜，所述第一膜包括与基板连接的第一部分、位于牺牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之间的第三部分，并且第三部分的一部分、或者在第二部分和第三部分的边界部分处，具有与第一部分相比膜厚较薄的区域；工序（c），去除牺牲膜；工序（d），在工序（c）之后，在膜厚较薄的区域处使第一膜弯曲，并使第一膜的第二部分相对于基板而倾斜。
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公开(公告)号：CN102471046B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201080031496.9
申请日：2010-08-13
Applicant: 挪威科技工业研究院
CPC classification number: B81B3/001 , B81B2201/047 , G02B5/1828 , G02B26/0808
Abstract: 本发明涉及一种微型机械单元，具体地，一个可调整光学滤光器，以及用于生产该单元的方法，所述单元包括：一个第一设备层以及一个第二基底层，且两者至少部分地相互固定在一起，其特征在于，设备层包括多个反射元件，所述多个反射元件分布在固定反射元件之间，其中，固定元件固定在基底上，在基底和每个可移动元件之间开有一空腔，每个可移动元件用于提供进入所述空腔的弹性加载移动，其中，多个绝缘垫块设置位于每个可移动元件和基底之间的空腔中以用于避免两者接触。
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公开(公告)号：CN104703911A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380051481.2
申请日：2013-09-04
Applicant: 高通MEMS科技公司
Inventor： 爱德华·杰·廉·陈 , 伊萨克·克拉克·莱因斯 , 文兵 , 琼·厄克·李
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B3/007 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H01F2007/1822 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供用于机电系统EMS装置的系统、方法和设备，其中一或多个突起连接到所述EMS装置的表面。在一个方面中，所述EMS装置包含：衬底；静止电极，其在所述衬底上方；和可移动电极，其在所述静止电极上方。所述可移动电极经配置以通过所述可移动电极与所述静止电极之间的静电致动而移动到横越间隙的三个或三个以上位置。当所述突起在横越所述间隙的所述位置中的一者处接触所述EMS装置的任何表面时，所述突起改变所述EMS装置的硬度。接触所述一或多个突起的所述表面中的至少一者为非刚性。在一些实施方案中，所述突起具有大于约20nm的高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104662465A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201380047399.2
申请日：2013-09-06
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
Inventor： 贾斯珀·洛德维克·斯泰恩
CPC classification number: B81C1/00095 , B81B2201/047 , G02B26/023 , G02B26/08 , G09G3/346 , H01L27/124
Abstract: 本发明提供用于通过使用具有减小的占据面积的垂直定向的电互连件而使得显示器能够具有较快切换速率和增加的孔隙比的系统、方法和设备。在一个方面中，显示设备包含显示元件阵列和连接到所述显示元件阵列中的至少一个显示元件的电互连件。所述电互连件的截面纵横比可高达1:1或大于1:1。
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公开(公告)号：CN102809815B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210182636.3
申请日：2012-06-01
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G02B26/02 , B81B3/0016 , B81B7/0029 , B81B2201/047 , B81B2203/06 , B81B2207/053 , B81C1/00 , B81C3/008 , G02B26/023 , G02B26/0841 , Y10T29/49117
Abstract: 本发明以当注入使配置有机械式光闸的容器充满的油时，减少对光闸造成的损伤为目的。本发明的显示装置具有：具有断缝(46)且将空间包围的密封材料(44)；将密封材料(44)的断缝(46)封堵而形成密封空间的端部密封材料(50)；将密封空间装满的油(52)；保持一对光透过性基板(10、12)的间隔的间隔体(54)；光闸(14)；用于机械性地驱动光闸(14)且配置在油(52)内的驱动部(38)；和在一对光透过性基板(10、12)的相对的面的至少一方上形成的壁部(60)。壁部(60)具有配置在将密封材料(44)的断缝(46)和显示区域(48)之间的最短路径遮断的位置上的部分，并由构成间隔体(54)、光闸(14)以及驱动部(38)的材料形成。
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公开(公告)号：CN104303262A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201280038081.3
申请日：2012-06-29
Applicant: 因文森斯公司
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L23/10 , B81B2201/0264 , B81B2201/047 , B81B2207/115 , B81C1/00238 , B81C2203/0109 , B81C2203/0145 , B81C2203/0792 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G02B26/0833 , H01L2224/48091 , H01L2924/1461 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 在此披露了一种用于提供其中一部分暴露在外部环境下的MEMS设备的方法和系统。该方法包括将一个操作晶片粘合到一个设备晶片上以形成一个其中介电层被布置在这些操作晶片和设备晶片之间的MEMS衬底。该方法包括平版印刷地在该设备晶片上限定至少一个压铆螺母柱并将该至少一个压铆螺母柱粘合到一个集成电路衬底上以在该MEMS衬底和该集成电路衬底之间形成一个密封腔。该方法包括在该操作晶片、压铆螺母柱或集成电路衬底中限定至少一个开口以使该设备晶片的一部分暴露在外部环境下。
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公开(公告)号：CN102809816A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210182666.4
申请日：2012-06-01
Applicant: 株式会社日本显示器东
CPC classification number: G02B26/02 , B32B3/00 , B81B3/0062 , B81B7/02 , B81B2201/047 , B81B2203/0307 , B81B2203/0376 , B81C1/00103 , G02B26/04 , G02F2203/12 , G09G3/34 , G09G5/10 , G09G2300/08 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供一种显示装置，其具有多个像素，该多个像素具有：形成为板状的光闸板(SH)和促动部(AC)，其特征在于，促动部(AC)具有：与光闸板(SH)连接的梁部(B)；通过施加电压而使梁部(B)弯曲并驱动光闸板(SH)的驱动电极(E)；支承驱动电极(E)并固定在基板(B1)上的第一支承部(S1)；和支承梁部(B)并固定在基板上的第二支承部，第一支承部(S1)以及第二支承部的至少一方具有：从基板离开的平面部分(Sp)；和以从平面部分(Sp)凹陷的方式形成，且与基板连接的凹部(Sc)，凹部(Sc)具有：从平面部分大致垂直地倾斜形成的垂直形成部分(Sv)；和从垂直形成部分(Sv)开始，以随着向基板(B1)侧前进而倾斜变缓的方式形成的部分(Sg)。
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公开(公告)号：CN101305308B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200680040120.8
申请日：2006-10-19
Applicant: 高通MEMS科技公司
CPC classification number: G02B26/001 , B81B3/0072 , B81B2201/047 , B81C1/00793 , B81C2201/0167
Abstract: 本文描述在MEMS装置中的金属层之间使用扩散阻挡层。所述扩散阻挡层防止两种金属的混合，所述混合可改变所要物理特征且使处理复杂化。在一个实例中，所述扩散阻挡层可用作干涉式调制器中的可移动反射结构的一部分。
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