公开(公告)号：CN102067036A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123604.2

申请日：2009-07-23

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 吉成俊雄 ,  安住美菜子 ,  木村幸泰

IPC: G03F1/14 ,  C03C3/06

CPC classification number: C03B19/1469 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/42 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/50

Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。

公开(公告)号：CN101333069A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810098675.9

申请日：2008-06-06

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 每田繁 ,  大塚久利

IPC: C03C3/06 ,  C03C3/078 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

Abstract: 本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在0℃和250℃之间具有－300～300ppb/℃的CTE和25℃下最高为100ppb/℃的CTE分布，适合用作纳米压印模具。

公开(公告)号：CN1636904A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410101917.7

申请日：2004-12-20

Applicant: 肖特公开股份有限公司

Inventor： 约亨·阿尔克马佩尔 ,  约尔格·舒马赫尔 ,  乌尔里希·波伊赫特

IPC: C03C3/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076

CPC classification number: C03C3/112 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/115 ,  C03C3/118 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  G03F1/24 ,  G03F1/60

Abstract: 本发明公开了一种掺氟的至少三元硅酸盐玻璃，该硅酸盐玻璃尤其包含TiO2。它可以有利地用作具有低热膨胀的材料，其中在－50℃至100℃的温度范围内热膨胀系数的斜率为±2×10－9/K2。这种材料特别适合用于微石印术，尤其是用于EUV－石印术。

公开(公告)号：CN1345295A

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：CN00805475.4

申请日：2000-03-07

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： E·M·德利索 ,  C·E·莱西 ,  D·L·玛拉蒂

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/26 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/46

Abstract: 一种使用氟掺杂剂气体控制折射率的方法,它使用CF4作为掺杂剂气体,使用CF4掺杂粉末预制棒(12),掺杂的时间和温度足以使最靠近与CF4接触的表面具有低的氟掺杂量。预制棒(12)安装在手柄(11)上,该手柄熔合到手柄(14)上并且组件(20)在马弗炉膛(15)中加热。CF4如箭头(17)所示流过炉膛(15),它较好含有稀释气体如氦。在多个实例中任选的由氦组成的中央气体(16)可流过轴线孔(18)。多孔预制棒(12)的顶端可任选地包括毛细管(19)以防止炉膛气体(17)进入预制棒。

公开(公告)号：CN1248561A

公开(公告)日：2000-03-29

申请号：CN99118655.9

申请日：1999-09-02

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王策 ,  董林 ,  张亚红 ,  付立民 ,  宋利珠

IPC: C04B35/624 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03C1/006 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/27

Abstract: 本发明是一种复合本体溶胶—凝胶制备方法。本发明是在常温下制备具有光学性能的高纯度二氧化硅单块材料。其制备路线简单,操作方便,流程短(2天左右),得到的二氧化硅形状可控(如:条状、片状、菱形、八角型、圆形、球形等),无龟裂,体积收缩小。

公开(公告)号：CN104395248B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201380034214.4

申请日：2013-06-27

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 吉成俊雄 ,  齐藤忠彦

IPC: C03B8/04 ,  C03B11/00 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B11/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B19/1476 ,  C03B19/1492 ,  C03B23/0013 ,  C03B23/0496 ,  C03B32/005 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/04 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/52

Abstract: SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。

公开(公告)号：CN102060432B

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201010546665.4

申请日：2010-11-16

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC: C03B20/00

CPC classification number: G03F1/22 ,  C03B19/1423 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/42 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明涉及氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件及其制造方法。特别地，提供了氧化钛和硫共掺杂的石英玻璃部件。由于氧化钛和硫的共掺杂，石英玻璃部件在一定温度下经历零膨胀并且在宽温度范围内经历低热膨胀，因此，石英玻璃部件适于用在可商购的EUV光刻工具中。还提供了用于EUV光刻的制备方法和光学部件。

公开(公告)号：CN105189377A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480008373.1

申请日：2014-02-07

Applicant: 贺利氏石英玻璃有限两合公司

Inventor： 海因茨·费边 ,  斯蒂芬·托马斯

IPC: C03B19/14

CPC classification number: C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

Abstract: 用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO2原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105)，以产生气态SiO2原料气(107)；(C)蒸发液态TiO2原材料(205)，以产生气态TiO2原料气(207)；(D)分别将SiO2原料气(107)和TiO2原料气转化为SiO2颗粒和TiO2颗粒；(E)将所述SiO2颗粒和TiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO2烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO2烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO2浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO2原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO2原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO2原料气(107)。

公开(公告)号：CN102583974B

公开(公告)日：2015-12-16

申请号：CN201110372600.7

申请日：2011-09-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 毎田繁 ,  大塚久利 ,  关泽修 ,  柳泽直树

IPC: C03B20/00 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/12 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/64 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/42

Abstract: 本发明涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。通过以下方法制备适合作为EUV光刻部件的所述掺杂二氧化钛的石英玻璃：通过燃烧器喷嘴供给提供硅的反应气体和提供钛的反应气体以及氢气和氧气，使反应气体氧化或火焰水解以形成合成氧化硅-二氧化钛精细颗粒，在旋转靶上沉积二氧化硅-二氧化钛精细颗粒，及同时熔化和玻璃化该沉积的颗粒以生长掺杂二氧化钛的石英玻璃锭。缩回靶以保证锭生长前沿距离燃烧器喷嘴至少250mm。

公开(公告)号：CN104743887A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201410486801.3

申请日：2014-09-22

Applicant: 巨石集团有限公司

Inventor： 曹国荣 ,  邢文忠 ,  章林 ,  顾桂江

IPC: C03C13/00

CPC classification number: C03C3/087 ,  C03C3/095 ,  C03C13/00 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3423 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2213/00

Abstract: 本发明提供一种玻璃纤维组合物及其玻璃纤维和复合材料。玻璃纤维组合物含有各组分的含量以重量百分比表示如下：SiO2为58-63％，Al2O3为13-17％，CaO为6-11.8％，MgO为7-11％，SrO为3.05-8％，Na2O+K2O+Li2O为0.1-2％，Fe2O3为0.1-1％，CeO2为0-1％，TiO2为0-2％，所述重量百分比的比值C1＝(MgO+SrO)/CaO大于1。该玻璃纤维组合物大幅改善了玻璃的折射率，能够显著阻挡对人体有害的射线，并进一步降低玻璃的析晶风险和生产成本，使该玻璃纤维组合物更适于大规模池窑生产。