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21.发明公开
公开(公告)号：EP1472512A1
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：EP03737282.8
申请日：2003-01-28
Applicant: Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. (G O S) , GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER SPEKTROCHEMIEUND ANGEWANDTEN SPEKTROSKOPIE E.V.
Inventor： FLOREK, Stefan , BECKER-ROSS, Helmut , HEITMANN, Uwe
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0229 , G01J3/08 , G01J3/14 , G01J3/1809 , G01J3/28 , G01J2003/1208 , G01J2003/2866
Abstract: The invention relates to a spectrometer assembly (10) containing: a radiation source (11) with a continuous spectrum; a pre-monochromator (2) for generating a spectrum with relatively little linear dispersion, from which a spectral segment can be selected, whose spectral bandwidth is less than or equal to the bandwidth of the free spectral range of the order in the echelle spectrum, for which the mean wavelength of the selected spectral segment can be measured with a maximum blaze efficiency; an echelle spectrometer (4) comprising means for wavelength calibration; an entry slit (21) on the pre-monochromator (2) and an intermediate slit assembly (3) comprising an intermediate slit and a local resolution radiation receiver (5) on the exit plane of the spectrometer for detecting wavelength spectra. The assembly is characterised in that the width of the intermediate slit (3) is greater than the monochromatic image of the entry slit generated by the pre-monochromator at the location of the intermediate slit and that means are provided for calibrating the pre-monochromator, by means of which the radiation that is reproduced in the detector of the radiation source with a continuous spectrum can be calibrated to a reference position.
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22.发明公开
公开(公告)号：EP0469083A4
公开(公告)日：1992-06-03
申请号：EP90907995
申请日：1990-04-20
Applicant: LEHIGH UNIVERSITY
Inventor： KIM, YONG, W.
IPC: G01J3/443 , G01J3/02 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/28 , G01N21/17 , G01N21/69 , G01N21/71 , G01N21/73 , G01J3/36 , G01N21/63
CPC classification number: G01J3/1809 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01J3/04 , G01J3/28 , G01J3/2889 , G01J2003/1828 , G01N21/718 , G01N2021/695
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23.发明专利
公开(公告)号：JP2008528953A
公开(公告)日：2008-07-31
申请号：JP2007551610
申请日：2006-01-19
Applicant: カール ツァイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト
Inventor： イー． オハラ、キース , エム．エム． ホルン、ヨッヘン
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01J3/14 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/18 , G01J3/1809 , G01J3/2803 , G01N21/4795
Abstract: 交差分散分光計を使用したスペクトル領域光コヒーレンス断層放射線写真システムが開示される。 干渉した光信号が回折格子によって複数の回折次数に分散され、これらの回折次数が追加分散光学エレメントによって分離される。 スペクトル・インタフェログラムが、１組の線形検出器アレイによって、あるいは２次元検出器アレイによって記録される。
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公开(公告)号：JP2005500527A
公开(公告)日：2005-01-06
申请号：JP2003521302
申请日：2002-07-25
Applicant: サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
Inventor： アレクサンダー アイ エルショフ , リチャード エル サンドストロム , スティーヴン ハース , トーマス ホフマン
IPC: G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/18 , G01J3/22 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/36 , G01J9/02
CPC classification number: G01J3/26 , G01J1/4257 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/12 , G01J3/1809 , G01J3/22 , G01J3/28 , G01J9/02
Abstract: 本発明は、レーザーの帯域幅が分光計のスリット関数に比べて大きくない環境の下で、分光計を使って得られた帯域幅データに基づいて、超狭帯域レーザービームの帯域幅データを計算するための、簡単で信頼でき、使い易い方法を提供する。 分光計のスリット関数が求められる（２０）。 レーザービームのスペクトルデータは、分光計を使って測定され、レーザービームのスペクトルと分光計のスリット関数のコンボルーションを表す、測定されたレーザービームのスペクトルを作る（７６）。 この測定されたレーザースペクトルは、次に、分光計のスリット関数と数学的にコンボルブされ、二重にコンボルブされたスペクトルが作られる。 真のレーザー帯域幅を表す帯域幅値は、測定されたレーザースペクトルと二重にコンボルブされたスペクトルから求められる。 真のレーザー帯域幅は、「測定されたレーザー帯域幅の２倍」と、対応する「二重にコンボルブされた帯域幅」の間の差を求めることによって算定されるのが望ましい。 本方法は、「測定されたレーザー帯域幅の２倍」が２つのレーザー帯域幅と２つの分光計のスリット関数帯域幅とを表し、「二重にコンボルブされた帯域幅」が１つのレーザー帯域幅と２つの分光計のスリット関数帯域幅とを表すので、真のレーザー帯域幅を上手く見積もることができる。 而して、この差が、真のレーザー帯域幅を表すことになる。 好適な実施形態では、測定された帯域幅のパラメータは、半値全幅帯域幅と９５％の積分帯域幅である。
【選択図】図１-
25.发明专利
公开(公告)号：JP5274843B2
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：JP2007551610
申请日：2006-01-19
Applicant: カール ツアイス メディテック アクチエンゲゼルシャフト
Inventor： エム．エム． ホルン、ヨッヘン , イー． オハラ、キース
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01J3/14 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/18 , G01J3/1809 , G01J3/2803 , G01N21/4795
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2005517172A
公开(公告)日：2005-06-09
申请号：JP2003566507
申请日：2003-01-28
Applicant: ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・アンゲバンター・オプティック,オプトエレクトローニック,クバンテンエレクトローニック・ウント・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン , ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・スペクトロヒェミー・ウント・アンゲバンテン・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン
Inventor： ハイトマン，ウーベ , フローレック，シュテファン , ベッカー−ロス，ヘルムート
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0229 , G01J3/08 , G01J3/14 , G01J3/1809 , G01J3/28 , G01J2003/1208 , G01J2003/2866
Abstract: スペクトロメータアセンブリ（１０）は、連続スペクトルを有する光源（１１）と、スペクトル部分が選択可能な比較的小さな線分散を有するスペクトルを生じるためのプレモノクロメータとを含み、このようなスペクトル部分のスペクトル帯域幅は、エシェルスペクトルにおけるこのような次数のスペクトル範囲の帯域幅よりも狭いまたは等しく、選択されたスペクトル間隔の中心波長は、最大ブレーズ効率で、波長較正のための手段を有するエシェルスペクトロメータ（４）、プレモノクロメータ（２）での入口スリット（２１）、中間スリット（３）を有する中間スリットアセンブリ（５０）および波長スペクトルの検出のためのスペクトルの出口面における空間解像光検出器（５）で測定可能である。 このアセンブリは、中間スリット（３）の幅が中間スリットの位置でのプレモノクロメータによって生成された入口スリットの単色画像よりも広く、かつ検出器上の連続スペクトルを有する光源の光を参照位置へ較正するようにされたプレモノクロメータを較正するための手段が与えられる。
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公开(公告)号：WO2014159544A1
公开(公告)日：2014-10-02
申请号：PCT/US2014/024111
申请日：2014-03-12
Inventor： SMITH, Malcolm C.
CPC classification number: G01J3/1809 , G01J3/0272 , G01J3/28 , G01J3/2846 , G01J3/44 , Y10T29/49 , Y10T29/49826
Abstract: A spectrometer includes: a collimating element configured for collimating a beam of light into a first one of a cross-dispersing element and an echelle grating, the grating in optical communication with the cross-dispersing element; a focusing element for receiving the light from a second one of the cross-dispersing element and the echelle grating and focusing wavelengths of the light onto a spatial light modulator; the spatial light modulator configured for selectively directing the wavelengths onto a detector for detection. A method of use and the method of fabrication are provided.
Abstract translation: 光谱仪包括：准直元件，其被配置用于将光束准直到交叉分散元件和电梯片格栅中的第一个中，所述光栅与交叉分散元件光学连通; 聚焦元件，用于接收来自所述交叉分散元件和所述梯形光栅中的第二个的光，并将所述光的波长聚焦到空间光调制器上; 所述空间光调制器被配置用于将波长选择性地引导到检测器上用于检测。 提供了一种使用方法和制造方法。
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公开(公告)号：WO2010086283A3
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：PCT/EP2010050774
申请日：2010-01-25
Applicant: LEIBNIZ INST FUER ANALYTISCHE WISSENSCHAFTEN ISAS E V , BECKER-ROSS HELMUT , FLOREK STEFAN , OKRUSS MICHAEL
Inventor： BECKER-ROSS HELMUT , FLOREK STEFAN , OKRUSS MICHAEL
CPC classification number: G01J3/1809 , G01J3/02 , G01J3/0213 , G01J3/2803 , G01J2003/1828
Abstract: An echelle spectrometer arrangement (10) with internal order separation contains an echelle grating (34) and a dispersing element (38) for order separation so that a two-dimensional spectrum having a plurality of separate orders (56) can be generated, an imaging optical system (18, 22, 28, 46), a flat-panel detector (16), and predispersion means (20) for predispersing the radiation into the direction of traverse dispersion of the dispersion element (38). The arrangement is characterized in that the predispersion means (20) comprise a predispersion element which is arranged along the optical path behind the inlet spacing (12) inside the spectrometer arrangement. The imaging optical system is designed in such a manner that the predispersed radiation can be imaged onto an additional image plane (24) which does not have any boundaries in the predispersion direction and which is arranged along the optical path between the predispersion element (20) and the echelle grating (34). Optical means (20, 68) in the area of the predispersed spectrum are arranged to influence the spatial and/or the spectral beam density distribution on the detector (16).
Abstract translation: 中阶梯光谱仪装置（10）具有内部顺序分离包含该订单的分离的阶梯光栅（34）和分散元件（38），从而产生与多个单独的命令（56）的二维频谱，成像光学系统（18 ，22，28，46），一个表面检测器（16），和Vordispersionsmittel（20）（在分散体38）的横向分散体的方向上的辐射的预分散体。 该装置的特征在于，所述Vordispersionsmittel（20）包括其沿着光谱仪组件内的入口狭缝（12）的后面的光路布置在vordispergierendes元件，所述成像光学器件被配置为使得在一个附加的预分散辐射 在Vordispersionsrichtung限制自由图像平面（24）可以被成像，这是沿着vordispergierendem元件（20）之间的光路设置与阶梯光栅（34）和光学装置（20，68）在预分散的频谱的用于影响的空间位置和 /或设置在检测器（16）上的光谱辐射亮度分布。
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公开(公告)号：WO0239077A3
公开(公告)日：2002-10-17
申请号：PCT/EP0112750
申请日：2001-11-03
Applicant: GES ZUR FOERDERUNG ANGEWANDTER OPTIK OPTOELEKTRONIK QUANTENELEKTRONIK & SPEKTROSKOPIE EV , GES FOERDERUNG SPEKTROCHEMIE , FLOREK STEFAN , OKRUSS MICHAEL , BECKER-ROSS HELMUT
Inventor： FLOREK STEFAN , OKRUSS MICHAEL , BECKER-ROSS HELMUT
CPC classification number: G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/06 , G01J3/1809 , G01J3/28 , G01J2003/2866
Abstract: A method for the wavelength calibration of echelle spectra, in which the wavelengths are distributed across number of orders is characterised by the steps: recording of a line-rich reference spectrum with known wavelengths for a number of the lines, determination of the position of a number of peaks of the reference spectrum in the recorded spectrum, selection of at least two first lines of known order, position and wavelength, determination of a wavelength scale for the order in which the known lines lie, by means of a fit function gamma m (x), determination of a provisional wavelength scale gamma (x) for at least one neighbouring order m 1, by means of addition/subtraction of a wavelength difference gamma FSR which corresponds to a free spectral region, according to gamma m 1(x) = gamma m (x) gamma FSR with gamma FSR= gamma m(x)/m, determination of the wavelengths of lines in said neighbouring order m 1, by means of the provisional wavelength scale gamma 1(x), replacement of the provisional wavelength of at least two lines by the reference wavelength for said lines as obtained in step (a) and repeat of steps (d) to (g) for at least one further neighbouring order.
Abstract translation: 一种用于Echellespektren的波长校准方法，其分布在多个订单的波长，其特征在于以下步骤：接收具有已知波长的富线参考频谱的多条线，确定在所述捕获的多个参考光谱的峰的位置 光谱，选择至少两个第一线与已知的顺序，位置和波长。 确定的波长尺度对于其中已知线的顺序，通过拟合函数的λM（X），确定临时波长标度的λ米+/- 1（x）的至少一个相邻的m阶由加/减的波长差+/- 1 通过拉姆达米+/- 1（x）的对应于自由光谱范围DELTA拉姆达FSR =拉姆达M（X）+/- DELTA拉姆达FSR，与DELTA拉姆达=拉姆达FSR M（X）/米。 通过临时波长标度的λm表示，确定线路的波长在该相邻的m阶+/- 1 +/- 1（x）时，由下面的步骤替换至少两行的临时波长（a）中规定的Refernzwellenlänge图像此线，并重复步骤 （d）至（g）对于至少一个另外的相邻顺序。
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公开(公告)号：WO02039077A2
公开(公告)日：2002-05-16
申请号：PCT/EP2001/012750
申请日：2001-11-03
CPC classification number: G01J3/2803 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/06 , G01J3/1809 , G01J3/28 , G01J2003/2866
Abstract: A method for the wavelength calibration of echelle spectra, in which the wavelengths are distributed across number of orders is characterised by the steps: recording of a line-rich reference spectrum with known wavelengths for a number of the lines, determination of the position of a number of peaks of the reference spectrum in the recorded spectrum, selection of at least two first lines of known order, position and wavelength, determination of a wavelength scale for the order in which the known lines lie, by means of a fit function gamma m (x), determination of a provisional wavelength scale gamma (x) for at least one neighbouring order m 1, by means of addition/subtraction of a wavelength difference gamma FSR which corresponds to a free spectral region, according to gamma m 1(x) = gamma m (x) gamma FSR with gamma FSR= gamma m(x)/m, determination of the wavelengths of lines in said neighbouring order m 1, by means of the provisional wavelength scale gamma 1(x), replacement of the provisional wavelength of at least two lines by the reference wavelength for said lines as obtained in step (a) and repeat of steps (d) to (g) for at least one further neighbouring order.
Abstract translation: 一种用于Echellespektren的波长校准方法，其分布在多个订单的波长，其特征在于以下步骤：接收具有已知波长的富线参考频谱的多条线，确定在所述捕获的多个参考光谱的峰的位置 光谱，选择至少两条已知次序，位置和波长的第一行。 确定的波长尺度对于其中已知线的顺序，通过拟合函数的λM（X），确定临时波长标度的λ米+/- 1（x）的至少一个相邻的m阶由加/减的波长差+/- 1 DELTAλFSR，其对应于根据λm +/- 1（x）=λm（x）+/-ΔλFSR的自由光谱范围，其中ΔλλFSR =λm（x）/ m。 通过临时波长标度的λm表示，确定线路的波长在该相邻的m阶+/- 1 +/- 1（x）时，由下面的步骤替换至少两行的临时波长（a）中规定的Refernzwellenlänge图像此线，并重复步骤 （d）至（g）进行至少一个另外的相邻订单。
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