公开(公告)号：CN106104202A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201580013650.2

申请日：2015-03-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 阿姆农·玛纳森 ,  安迪(安德鲁)·希尔 ,  阿维·阿布拉莫夫

IPC: G01B11/25

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01J1/0228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/2823 ,  G01N21/47 ,  G01N21/8851 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2201/06 ,  G03F7/70633

Abstract: 提供进行以下操作的方法及系统：相对于光谱范围及/或偏振而图案化计量目标的照明；用所述经图案化照明来照明计量目标；及通过在光瞳平面处将选定光瞳平面像素引导到相应单检测器而测量从所述目标散射的辐射，所述引导是通过将收集图案应用于所述光瞳平面像素而进行。单检测器测量(压缩感测)具有经增加光敏感性，其用于图案化所述照明且相对于预定义计量参数进一步增强所检测到的经散射辐射的信息量。

公开(公告)号：CN106066317A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610409306.1

申请日：2016-06-12

Applicant: 朱泽策

Inventor： 朱泽策

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6408 ,  G01N2201/06

Abstract: 一种将斩光器应用于光致发光测量的方法，可以用于延迟发光的测量，测量中有两条光路：光路一是激发光照射样品的光路；光路二是探测器探测样品发光的光路；该方法利用反光镜或者棱镜将其中一条或者两条光路反射或折射，使两条光路都通过同一个斩光器。这样就实现了同一个斩光器在测量中同时对激发光和被测样品的发光进行斩光，因而可以探测样品的延迟发光和激发态寿命。该方法可以用于光谱仪和荧光成像装置，并可以搭配任意的稳态光源使用，且无需再配备脉冲发生器、延迟发生器和快门附件等，简化了仪器装置并降低了成本。该方法也可以搭配大功率的近红外激光器，用于上转化材料或近红外发射材料的时间分辨的成像。

公开(公告)号：CN105784681A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610236252.3

申请日：2016-04-15

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 姜守望 ,  王欣 ,  万金龙 ,  何志平 ,  舒嵘 ,  王建宇

IPC: G01N21/71

CPC classification number: G01N21/718 ,  G01N2201/06

Abstract: 本发明涉及一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统，其主要特征在于：将一片施密特校正板插入主镜与被测物体的光路中，施密特校正板的一面设计成高次非球面，施密特校正板最主要的作用是校正主次镜产生的球差，其不仅使得激光聚焦光斑直径变得更小，还可以使得该LIBS系统具有光谱探测和显微成像的双重功能。

公开(公告)号：CN105738314A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610099661.3

申请日：2016-02-24

Applicant: 浙江大学

Inventor： 应义斌 ,  王陈 ,  谢丽娟 ,  黄宇新

IPC: G01N21/3586

CPC classification number: G01N21/3586 ,  G01N2201/06

Abstract: 本发明涉及一种便携式太赫兹谱检测装置及检测方法。目的是提供的便携式太赫兹谱检测装置和方法能够对不同厚度、不同吸收特性样品的太赫兹谱进行测量。技术方案是：一种便携式太赫兹谱检测装置，包括箱体及分光模块、相角补偿模块、探测光路模块、太赫兹产生模块、太赫兹探测模块以及太赫兹光路模块。一种太赫兹谱检测的方法，步骤如下：S1.采集时域波形Er(t)；S2.将样品中心位于太赫兹光束的束腰处；S3.测量样品的时域波形Es(t)；S4.分别进行傅里叶变换，得到两种信号的频域分布；S5.采用基于菲涅尔公式的数据处理模型；S6.重复S3到S5的操作，得到不同偏振方向下样品的太赫兹谱信号。

公开(公告)号：EP3222965A1

公开(公告)日：2017-09-27

申请号：EP16305349.9

申请日：2016-03-25

Applicant: Fogale Nanotech

Inventor： FRESQUET, Gilles ,  COURTEVILLE, Alain ,  GASTALDO, Philippe

IPC: G01B11/24 ,  G02B21/00 ,  G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01B11/24 ,  G01B2210/50 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0064 ,  H01L22/12

Abstract: The present invention concerns a confocal chromatic device for inspecting the surface of an object (10) such as a wafer, comprising a plurality of optical measurement channels with collection apertures (14) arranged for collecting the light reflected by the object (10) through a chromatic lens (13) at a plurality of measurement points (15), and a magnifying lens (31) arranged for introducing a variable or changeable scaling factor between the spatial repartition of the collection apertures (14) and the measurement points (15).
The present invention concerns also a method for inspecting the surface of an object (10) such as a wafer comprising tridimensional structures (11).

Abstract translation: 本发明涉及用于检查诸如晶片的物体（10）的表面的共焦彩色装置，其包括具有收集孔（14）的多个光学测量通道，所述收集孔布置成用于收集由物体（10）反射的光通过 在多个测量点（15）处具有多色透镜（13）;以及放大透镜（31），用于在收集孔（14）和测量点（15）的空间重新分布之间引入可变或可改变的比例因子。 本发明还涉及用于检查诸如包括三维结构（11）的晶片的物体（10）的表面的方法。

公开(公告)号：WO2015152717A1

公开(公告)日：2015-10-08

申请号：PCT/NL2015/050207

申请日：2015-03-31

Applicant: NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

Inventor： DE BOER, Bart Michiel ,  HARMSMA, Peter Johan ,  LO CASCIO, Dario Maria Rosario

IPC: G01N21/84

CPC classification number: G01N21/0303 ,  G01N21/05 ,  G01N21/552 ,  G01N21/7746 ,  G01N21/8483 ,  G01N2021/0321 ,  G01N2021/0367 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/0873 ,  G02B6/34 ,  G02B6/4225

Abstract: The present disclosure concerns an apparatus (10) and method for reading out an optical chip (20). A light source (13) is arranged for emitting single mode source light (S1) from its emitter surface (A1) towards an optical input (21) of the optical chip (20). A light detector (14) is arranged for receiving measurement light (S2) impinging onto its receiver surface (A2) from an optical output (22) of the optical chip (20), and measuring said received measurement light (S2). The emitted source light (S1) is aligned to enter the optical input (21) of the optical chip (20) and the measurement light (S2) is aligned back onto the receiver surface (A2). The receiver surface (A2) is larger than the emitter surface (A1) for facilitating the overall alignment.

Abstract translation: 本公开涉及用于读出光学芯片（20）的装置（10）和方法。 光源（13）被布置用于从其发射表面（A1）朝向光学芯片（20）的光学输入端（21）发射单模光源（S1）。 光检测器（14）被布置成用于接收从光学芯片（20）的光学输出端（22）入射到其接收器表面（A2）上的测量光（S2），并测量所接收的测量光（S2）。 发射源光（S1）对准以进入光学芯片（20）的光学输入（21），并且测量光（S2）对准回到接收器表面（A2）上。 接收器表面（A2）大于发射体表面（A1），以便于整体对准。

公开(公告)号：EP2820676B1

公开(公告)日：2018-12-26

申请号：EP13755695.7

申请日：2013-01-14

Applicant: Bio-rad Laboratories, Inc.

Inventor： HILLENDAHL, James W. ,  PEREZ, Evelio

IPC: G01N21/25 ,  G01N27/447 ,  G01N21/64

CPC classification number: F21V21/005 ,  F21V9/083 ,  F21V13/02 ,  G01N21/255 ,  G01N21/6452 ,  G01N21/6456 ,  G01N27/447 ,  G01N2021/6463 ,  G01N2021/6471 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/0626 ,  G01N2201/0635

Abstract: A planar sample, particularly of the type used in biological laboratories for detection and sometimes analysis of two-dimensional arrays of proteins, nucleic acids, or other biological species, is illuminated by epi-illumination using optically filtered line lights that are arranged along opposing parallel sides of a rectangle in which the sample array resides, with two coaxial line lights on each side of the rectangle, and the two on any given side being separated by a gap whose optimal width depends on the wavelength band transmitted by the optical filter. Surprisingly, the gap eliminates the peak in intensity at the center of the sample area and the decrease that occurs from the center outward that would otherwise occur with a single continuous filtered line light, producing instead a substantially uniform intensity along the direction parallel to the line lights.

公开(公告)号：EP1676124B1

公开(公告)日：2008-11-12

申请号：EP04774958.5

申请日：2004-09-21

Applicant: Staalkat International B.V.

Inventor： VAN SOEST, Robert

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N33/08

CPC classification number: G01N33/025 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/951 ,  G01N33/08 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/06126

Abstract: A device (1) for inspecting objects with a substantially spherical surface, such as for example eggs or fruit, comprises optical observation means (8) for observing the objects. The device has a supporting surface (10) for supporting the objects. There is a light source for illuminating the objects. The device also comprises a box (2) with reflective walls (3a, 4b and 4a shown) which is positioned above the supporting surface (11). The light source and the observation means (8) are accomadated in the box (2). A plurality of objects can be placed next to one another on the supporting surface (10) and can be illuminated equally well.

公开(公告)号：JP6424020B2

公开(公告)日：2018-11-14

申请号：JP2014119135

申请日：2014-06-09

Applicant: 株式会社キーエンス

Inventor： 孫 卓力

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/30 ,  G06T7/00 ,  G06T1/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N2201/06 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/0008 ,  G06T7/586 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/30164 ,  H04N13/207 ,  H04N13/254

公开(公告)号：WO2007092911A3

公开(公告)日：2007-10-04

申请号：PCT/US2007061815

申请日：2007-02-08

Applicant: GEN HOSPITAL CORP ,  YUN SEOK-HYUN

Inventor： YUN SEOK-HYUN

IPC: A61B5/00 ,  G01J3/44 ,  G01N21/17 ,  G01N21/63

CPC classification number: G01N21/4795 ,  A61B3/102 ,  A61B3/117 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073 ,  A61B5/0075 ,  A61B5/0084 ,  A61B5/0086 ,  A61B5/0095 ,  A61B5/0097 ,  A61B5/4088 ,  A61B5/412 ,  A61B5/413 ,  C07K14/70503 ,  C07K2319/30 ,  C07K2319/32 ,  C07K2319/70 ,  G01B9/02091 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/1717 ,  G01N21/636 ,  G01N2021/1725 ,  G01N2021/638 ,  G01N2201/06 ,  G01N2201/0612 ,  G01N2800/042 ,  G01N2800/387 ,  G01N2800/7023 ,  G01N2800/7028 ,  G02B21/0052

Abstract: Arrangements and methods are provided for obtaining information associated with an anatomical sample. For example, at least one first electro-magnetic radiation can be provided to the anatomical sample so as to generate at least one acoustic wave in the anatomical sample. At least one second electro-magnetic radiation can be produced based on the acoustic wave. At least one portion of at least one second electro-magnetic radiation can be provided so as to determine information associated with at least one portion of the anatomical sample. In addition, the information based on data associated with the second electro-magnetic radiation can be analyzed. The first electro-magnetic radiation may include at least one first magnitude and at least one first frequency. The second electro-magnetic radiation can include at least one second magnitude and at least one second frequency. The data may relate to a first difference between the first and second magnitudes and/or a second difference between the first and second frequencies. The second difference may be approximately between -100 GHz and 100 GHz, excluding zero.

Abstract translation: 提供了用于获得与解剖样品相关联的信息的安排和方法。 例如，可以向解剖样品提供至少一个第一电磁辐射，以便在解剖样品中产生至少一个声波。 可以基于声波产生至少一个第二电磁辐射。 可以提供至少一个第二电磁辐射的至少一部分，以便确定与解剖样品的至少一部分相关联的信息。 此外，可以分析基于与第二电磁辐射相关联的数据的信息。 第一电磁辐射可以包括至少一个第一幅度和至少一个第一频率。 第二电磁辐射可以包括至少一个第二幅度和至少一个第二频率。 数据可以涉及第一和第二幅度之间的第一差异和/或第一和第二频率之间的第二差异。 第二个差异可能在-100 GHz到100 GHz之间，不包括零。