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21.发明专利
公开(公告)号：JP2008501966A
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：JP2007526415
申请日：2005-06-02
Applicant: ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・アンゲバンター・オプティック,オプトエレクトローニック,クバンテンエレクトローニック・ウント・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン , ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・アナリツィシェン・ビッセンシャフテン・アインゲトラーゲナー・フェアアイン
Inventor： オークルス，ミヒャエル , フロレック，シュテファン , ベーゼマン，ギュンター , ベッカー−ロス，ヘルムート
CPC classification number: G01J3/1809 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/0237 , G01J3/0286 , G01J3/0294 , G01J3/08 , G01J3/12 , G01J3/2803
Abstract: 本発明は、放射線源からの放射線の第１の波長帯域のスペクトルを検知器（４２）上に作成するスペクトロメータ（１４）から構成されるスペクトロメータ配置（１０）に関する。 この配置はまた、スペクトロメータ配置（１０）に差し込む放射線の主要分散方向（４６）へのスペクトル分解のためのエシェル格子（３６）と；放射線のスペクトル分解を用いて、エシェル格子（３６）の主要分散方向に対して角度をなす横分散方向（４８）に、複数の分離された程度（５２）を有する二次元スペクトル（５０）が作成されることができるように、程度を分離する分散体（３４）と；入射空隙（２０）を通ってスペクトロメータ配置（１０）に差し込む放射線を結像面（４０）に結像する結像光学素子（２４、３８）と；結像面（４０）内の複数の検知素子の二次元配置から構成される面検知器（４２）とから構成される。 発明的配置は、放射線源からの放射線の、第１の波長帯域と異なる第２の波長帯域のスペクトル（６８）を同一の検知器（４２）上に作成するために、少なくとももう１つの分散体（６４）および他の結像光学素子（６０、６６）から構成される他のスペクトロメータ（１２）が備えられることにより特徴づけられる。 スペクトルは検知器上で、空間的、もしくは時間的に分離される。
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公开(公告)号：JP2001264169A
公开(公告)日：2001-09-26
申请号：JP2000074153
申请日：2000-03-16
Applicant: KOMATSU MFG CO LTD
Inventor： SUZUKI TORU , WAKABAYASHI OSAMU
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscope capable of measuring a spectrum of an incident light at a high resolution and a large signal-to-noise ratio (S/N). SOLUTION: The spectroscope comprises a collimator lens 12 for converting a monochromatic ray passed through a slit 11 into parallel beams, an echelle grating 13 for diffracting the parallel beams in a predetermined direction, and a mirror 14 for totally reflecting the parallel beams emitted from the grating 13 toward the grating 13 to reciprocate the beams between the grating 13 and the mirror 14. In this case, the parallel beams reciprocated two times between the mirror 14 and the grating 13 are focused on a channel of a line sensor 15 via the lens 12.
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公开(公告)号：JP2001264168A
公开(公告)日：2001-09-26
申请号：JP2000079643
申请日：2000-03-22
Applicant: USHIO SOGO GIJUTSU KENKYUSHO
Inventor： TADA TERUSHI
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectroscope suitable for measuring a spectrum distribution of an excimer laser beam with a small size and a high performance capable of analyzing with a resolution of 0.1 pm or less similar to that of a large-sized spectroscope having a long focal length. SOLUTION: The spectroscope for measuring the spectrum distribution comprises an incident slit 3, a collimating optical system 2 for collimating a measured light passed through the slit 3, a diffraction grating 1 incident with a light collimated by the system 2 to diffract the light at a different diffraction angle in response to a wavelength, a focusing optical system 2 for converging a luminous flux diffracted by the grating 1, and an emitting slit or optical distribution detecting element 4 disposed at a focal surface of the system 2. In this case, a beam size enlarging optical system 5 for enlarging at least a diameter of the grating in a dispersing direction of the light collimated by the collimating optical system is disposed at least between the system 2 and the grating 1.
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公开(公告)号：JP2020008584A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2019128514
申请日：2019-07-10
Applicant: ウニベルシタ パラツケホ ベー オロモウツ , メオプタ − オプティカ、エス.エル.オー. , ゼブル エス.エル.オー.
Inventor： ヨセフ カピタン , ダニエル バキュラ , アントニン ポチリー , イジー キバルスキー , フランティセク ツェリンカ , ヤン ブルチェク
Abstract: 【課題】ゼロ次の回折格子をスペクトル検出のために利用するイメージング分光器を提供する。 【解決手段】本発明は、ゼロ次の回折格子2を利用し、入射開口0を含み、その後方にコリメート光学系1が放射の方向に配置され、その後方に一次集束光学系3に関連する一次回折格子2が配置され、その後方に一次放射検出器4が配置されるイメージング分光器に関する。二次回折格子5は、ゼロ次の一次回折格子2を通過した、および/またはゼロ次の一次回折格子2から反射され、一次集束光学系3の外側に向けられた放射の方向に配置され、それによって二次回折格子5は、二次集束光学系6に関連し、その後方に二次放射検出器(7)が配置される。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JPWO2004027493A1
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：JP2004538010
申请日：2003-09-22
Applicant: 日本板硝子株式会社 , 独立行政法人産業技術総合研究所
CPC classification number: G01J3/1804 , G01J3/0208 , G01J3/0218 , G01J3/18 , G01J3/24 , G02B5/1866 , G02B6/29311
Abstract: 複数の波長成分を含んでいてガウシアンビームで近似される光束を出射する入射側光導波路と、入射側光導波路の出射側に設置され、入射側光導波路から出射されたガウシアンビームで近似される光束を、略平行光束に変換するコリメートレンズとを有する光入射部と、コリメートレンズにより略平行光束に変換された光束が入射され、波長ごとに出射方向の異なる光束を出射することで光束を分光する、表面に溝を有する回折格子と、回折格子によって分光された各光束をそれぞれ集光する、複数の集光レンズを有する光出射部とを備えている。
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公开(公告)号：JP6177153B2
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：JP2014020652
申请日：2014-02-05
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G01J3/24
CPC classification number: G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/0294 , G01J3/18 , G01J3/1838 , G01J3/24 , G01J3/2803
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公开(公告)号：JP2000258249A
公开(公告)日：2000-09-22
申请号：JP6555999
申请日：1999-03-11
Applicant: SEIKO INSTR INC
Inventor： ITOU TETSUMASA , MATSUZAWA OSAMU
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a spectrum analyzer easily imaging all wave lengths at a two-dimensional detector at a low price to measure every wavelength. SOLUTION: In a spectrum analyzer comprising a diffraction grating 7 diffracting incident light and an order dispersing element 4 further dispersing the diffracted light by the grating 7 every diffraction order, the grating 7 is placed in a diffraction face 14 and rotatably with a straight line 16 vertical to an inscribing line of the channel of the grating 7 as an axis.
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公开(公告)号：JP2000097773A
公开(公告)日：2000-04-07
申请号：JP26598798
申请日：1998-09-21
Applicant: SHIMADZU CORP
Inventor： DAIHO KENSUKE
IPC: G01J3/24
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an echell spectroscope in which both elements can be analyzed accurately even when a mixture sample of a trace element and a high concentration element is analyzed. SOLUTION: This echell spectroscope comprises an echell diffraction grating 4 for dispersing light from a light source 1 into high order spectral beams, an element 7 for separating the spectral beam dispersed through the echell diffraction grating 4 into spectral beams of different orders, and an image detector 10 comprising a CCD for detecting the order separated spectral beam wherein the image detector 10 is coupled with an actuator 12 for displacing the light receiving face through rotation, movement, or the like.
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