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公开(公告)号：CN101677052B
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200910173061.7
申请日：2003-07-30
Applicant: 能源科学公司
Abstract: 本发明涉及采用粒子束处理材料的方法和如此处理的材料，具体而言涉及本文提供了采用粒子束加工装置处理材料的方法和由该方法制备的材料。根据一个说明性实施方案，提供了一种采用粒子束加工装置处理材料的方法，该方法包括：提供包括至少一个产生多个粒子的灯丝的粒子束产生组件；向灯丝施加大于约110kV的操作电压以产生所述多个粒子；使所述多个粒子穿过厚度为约10微米或更少的薄箔片；和采用所述多个粒子处理材料。
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公开(公告)号：CN1209788C
公开(公告)日：2005-07-06
申请号：CN01800867.4
申请日：2001-04-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J33/00
Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11)，其中，三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17)，以在第一扫描方向(Y)上移动电子束；方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16)，以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束；三角波发生器提供的三角波电流被调制，以消除扫描线圈的磁滞效应。此外，相对于三角波电流的峰值，方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期，以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。
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公开(公告)号：CN1366705A
公开(公告)日：2002-08-28
申请号：CN01800867.4
申请日：2001-04-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01J33/00
Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11),其中,三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17),以在第一扫描方向(Y)上移动电子束;方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16),以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束;三角波发生器提供的三角波电流被调制,以消除扫描线圈的磁滞效应。此外,相对于三角波电流的峰值,方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期,以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。
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公开(公告)号：CN110199374B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
Abstract: 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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公开(公告)号：CN110199374A
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201780081345.6
申请日：2017-12-15
Applicant: 不列颠哥伦比亚大学 , 小利兰·斯坦福大学董事会
Abstract: 提供一种电子束源，其包括形成腔室的容器、设置在腔室内的阴极、设置在腔室中的电极和腔室中的电子发射窗口，所述阴极包括具有各向异性受限导热率的低维导电材料，所述电极可连接到电源用于相对于阴极向电极施加正电压，用于在阴极被电磁(EM)辐射照射使得阴极热电子地发射自由电子时用于加速自由电子离开阴极以形成电子束，所述腔室中的电子发射窗口用于将产生的电子束传递出腔室。还提供了包含电子束源的电子显微镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109755086A
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201910058026.4
申请日：2019-01-22
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开了一种电子束出射窗口部件、电子束产生装置及电子束产生系统，电子束出射窗口部件包括：支撑片，所述支撑片形成有一出射开口；以及，位于所述支撑片一侧表面、且覆盖所述出射开口的非金属薄膜，其中，所述非金属薄膜为单个薄膜层或多个薄膜层的叠加层，且所述薄膜层为金刚石薄膜层、掺硼的金刚石薄膜层、石墨烯薄膜层或氮化硼薄膜层。由上述内容可知，在工作过程中电子束通过出射开口、并经过非金属薄膜后传输至工作环境中，其中，通过将非金属薄膜设置为电子束出射的窗口薄膜，进而减少了电子束在窗口薄膜上能量的沉积，改善了窗口薄膜发生形变甚至断裂的问题，保证电子束产生装置及系统的工作稳定性高。
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公开(公告)号：CN105122419B
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201480013604.8
申请日：2014-03-17
Applicant: 星火工业有限公司
Inventor： 罗博特·S.·斯特博 , 丹尼尔·P.·门特 , 迈克尔·J.·思科斯 , 布瑞恩·E.·尤尔奇克
IPC: H01J33/00
CPC classification number: H01J37/32009 , H05H1/02 , H05H1/46 , H05H3/06 , H05H2001/466 , H05H2001/4667
Abstract: 本文中描述用于将电磁(EM)能量从远程就位的初级天线耦合到等离子体离子源的系统和方法。EM能量由第一结构辐射通过中间的次级天线。本文描述的实施例能够相对于初级天线将等离子体离子源提升到高电势的偏置值，其中初级天线可保持在接地电势值或其接近值。
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公开(公告)号：CN103608889A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201280029537.X
申请日：2012-06-27
Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司
Inventor： 托妮·瓦贝尔
Abstract: 本发明涉及一种电子束发射器，其包括壳体和窗，所述壳体包绕能够在所述壳体内发射电子的阴极，所述窗使所发射的所述电子能够退出所述壳体，其中，所述壳体具有开口，所述开口适于至少部分地接合高电压连接器组件，所述组件适于将所述阴极连接到电源，所述电子束发射器还包括：冷却突缘（50），其围绕所述开口并具有在入口（56）和出口（58）之间延伸的内部通道（54），所述内部通道（54）用于接纳使所述高电压连接器组件（30）冷却的冷却流体。本发明还涉及冷却电子束装置的方法。
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公开(公告)号：CN102046209B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200980121177.4
申请日：2009-05-05
Applicant: 克朗斯股份有限公司
CPC classification number: H01J33/00 , A61L2/087 , A61L2202/23 , B65B55/08 , H01J33/04
Abstract: 本发明公开了一种用于消毒容器(10)的装置(1)，包括：具有电荷载体可以通过的出射窗(8)的处理头(5)，用于产生电荷载体的电荷载体产生源、设置在所述出射窗(8)上方并在所述出射窗(8)方向上加速所述电荷载体的加速装置(6)和用于冷却所述出射窗的冷却装置(30)。依据本发明，所述冷却装置(30)包括用于气体介质的供给开口(32)，该供给开口(32)设置在所述出射窗(8)下方，并至少部分地从下方将所述气体介质引导到所述出射窗(8)上。
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公开(公告)号：CN102005356A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010511765.3
申请日：2010-10-19
Inventor： 倪嘉仁
Abstract: 本发明公开了一种气体电离管，包含圆管基材、螺旋电感和两根外螺线，其中，所述圆管基材的外圆上设置有两条外螺线槽，所述外螺线分别缠绕在外螺线槽中，一根外螺线的一端接离子电源的电压输出端，另一根外螺线的一端接离子电源的接地端；所述螺旋电感置于圆管基材内部，所述螺旋电感由发热导线制成，所述螺旋电感的两端分别与加热电源的正、负极相连。本发明的气体电离管适用范围广，结构简单，成本低，空气净化效果好。
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