公开(公告)号：WO2005059972A2

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：PCT/JP2004/019443

申请日：2004-12-17

Applicant: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED ,  IKUTA, Yoshiaki ,  AGATA, Noriyuki

Inventor： IKUTA, Yoshiaki ,  AGATA, Noriyuki

IPC: H01L21/00

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/36 ,  Y02P40/57

Abstract: A synthetic quartz glass for an optical member which is free from compaction and rarefaction is obtained. A synthetic quartz glass for an optical member to be used for an optical device employing a light having a wavelength of at most 400 nm and at least 170 nm as a light source, which contains substantially no oxygen excess defects, dissolved oxygen molecules nor reduction type defects, which has a chlorine concentration of at most 50 ppm and a OH group concentration of at most 100 ppm, and which contains oxygen deficient defects within a concentration range of at most 5 ~10¿14? defects/cm¿3? and at least 1 ~10¿13? defects/cm¿3?. The fluorine concentration is preferably at most 100 ppm.

Abstract translation: 得到不含压实和稀释的用于光学构件的合成石英玻璃。 用于光学构件的合成石英玻璃，其用于使用波长最多为400nm且至少170nm的光作为光源的光学元件，其基本上不含氧过剩缺陷，溶解的氧分子或还原型 缺陷，其氯浓度最多为50ppm，OH基浓度为至多100ppm，并且在氧浓度范围内至多为5〜10×14×缺陷/ cm 3的含氧缺陷。 至少1〜10〜13？ 缺陷/cm¿3?. 氟浓度优选为100ppm以下。

公开(公告)号：WO2004083141A1

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：PCT/EP2004/002882

申请日：2004-03-19

Applicant: HERAEUS TENEVO AG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. ,  GANZ, Oliver ,  SATTMANN, Ralph ,  VYDRA, Jan

Inventor： GANZ, Oliver ,  SATTMANN, Ralph ,  VYDRA, Jan

IPC: C03B37/018

CPC classification number: C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1469 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01892 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  Y10T428/13

Abstract: Ein bekanntes Rohr aus synthetischem Quarzglas für die Herstellung einer Vorform, weist eine Innenbohrung mit werkzeugfrei im Schmelzfluss erzeugter Oberflächenschicht sowie einen Innenbereich auf. Damit das Rohr keine OH-Gruppen an die Umgebung abgibt, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen dass die Overchenschicht (30) eine Stärke von 10µm und darin einem mittleren OH-Gehalt von aximal5 Gew.-ppm sowie eine mittlere Oberflächenrauigkeit R a von maximal 0,1 µm, aufweist, und dass der an der Oberflächenschicht (30) beginnende und 10 pm vor der Außenwandung endende Innenbereich (34) einen mittleren OH Gehalt von maximal 0,2 Gew.-ppm aufweist. Ein einfaches und kostengünstiges Verfahren zur Herstellung eines derartigen Quarzglasrohres besteht darin, dass in einem Vertikalziehverfahren aus einer erweichten Quarzglasmasse kontinuierlich ein Rohrstrang gezogen wird, durch dessen Innenbohrung ein Spülgas im Durchfluss geleitet wird, das einen Wassergehalt von weniger als 100 Gew.­ppb hat, und wobei das vordere Ende des Rohrstrangs (19) von einem für das Spülgas durchlässigen Strömungshindernis (26) verschlossen ist, der den Durchfluss des Spülgases (23) vermindert.

Abstract translation: 合成石英玻璃制造的预成型体的公知管具有没有在熔体流动表面层和内部区域中产生工具的内孔。 因此，管不发射OH基团到周围环境中，本发明提出，Overchenschicht（30）具有厚度为10微米的，并在其中按重量计aximal5 ppm的平均OH含量和至多0.1微米的平均表面粗糙度Ra， ，并且，在开始和在该外壁的内部分（34）的前面结束晚上10点的表面层（30）具有按重量计至多0.2 ppm的平均OH含量。 用于制造这样的石英玻璃管的简单和便宜的方法是，管柱在垂直拉伸过程连续地通过其内孔绘制从软化的石英玻璃质量，净化气体中的流动，其具有小于100 wppb的水含量被传递，并 其中所述管柱（19）的前端由一可渗透的封闭的吹扫气体流动障碍（26）减小了吹扫气体（23）的流动。

公开(公告)号：WO2004005206A1

公开(公告)日：2004-01-15

申请号：PCT/EP2003/007233

申请日：2003-07-07

Applicant: HERAEUS TENEVO AG ,  SCHMIDT, Richard ,  BRÄUER, Karsten

Inventor： SCHMIDT, Richard ,  BRÄUER, Karsten

IPC: C03B37/014

CPC classification number: H05H1/30 ,  C03B37/01426 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12

Abstract: Es ist ein Verfahren zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels eines plasmaunterstützten Abscheideverfahrens bekannt, bei dem einem mehrdüsigen Abscheidebrenner ein wasserstofffreier Medienstrom enthaltend ein Glasausgangsmaterial und ein Trägergas zugeführt wird, das Glasausgangsmaterial mittels des Abscheidebrenners in eine Plasmazone eingebracht und darin unter Bildung von SiO 2 -Partikeln oxidiert wird, und die SiO 2 -Partikel auf einer Ablagerungsfläche abgeschieden und dabei direkt verglast werden. Um hiervon ausgehend die Abscheideeffizienz zu erhöhen, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass der Medienstrom mittels des Abscheidebrenners (1) in Richtung auf die Plasmazone (4) fokussiert wird. Ein zur Durchführung des Verfahrens geeigneter mehrdüsiger Plasmabrenner, der mit einer Mediendüse für die Zufuhr eines Medienstroms zu der Plasmazone versehen ist, zeichnet sich dadurch aus, dass die Mediendüse (7) fokussierend in Richtung auf die Plasmazone (4) ausgebildet ist. Die Fokussierung geschied mittels einer Verjüngung (6) der Mediendüse (7).

Abstract translation: 它是用于通过等离子体辅助沉积法的装置是已知的，其中的多喷射沉积，无氢的媒体流包括进料至玻璃原料和载气的制造合成石英玻璃的预成型体被引入的方法，该玻璃原料，通过在等离子区中的沉积的装置和在其中形成的SiO < SB> 2 粒子被氧化，并且在沉积表面在SiO 2 颗粒沉积和直接玻璃化。 为了它们的开始来增加沉积效率，根据它提出了通过在朝向等离子区（4）沉积用燃烧器（1）的装置中的媒体流被聚焦本发明。 一种用于执行该方法，该方法设置有媒体喷嘴用于媒体流提供给等离子区的供给适当mehrdüsiger等离子体焰炬，其特征在于，所述媒体喷嘴（7），聚焦在等离子体区的方向（4）形成。 由媒体喷嘴（7）的锥（6）的装置的聚焦geschied。

公开(公告)号：WO03091171A2

公开(公告)日：2003-11-06

申请号：PCT/EP0304412

申请日：2003-04-28

Applicant: HERAEUS TENEVO AG ,  SCHMIDT SVEN ,  ROSELIEB KNUT

Inventor： SCHMIDT SVEN ,  ROSELIEB KNUT

IPC: C03B20/00 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC classification number: C03B19/1453 ,  C03B37/01446 ,  C03B37/0146 ,  C03B2201/04 ,  Y02P40/57

Abstract: According to a previously known method for producing a cylindrical quartz glass body having a low OH content, first an elongate, porous soot body is produced on a rotating support by flame-hydrolyzing a silicon-containing compound and removing layers of SiO2 particles, whereupon said soot body is subjected to a dehydration treatment and is vitrified in a vitrification furnace. The aim of the invention is to create a simple method which is based on said method and makes it possible to produce a quartz glass cylinder having a low OH content while evenly distributing the OH concentration without additional technical complexity. Said aim is achieved by subjecting the soot body to a pretreatment in protective gas and/or a vacuum in the vitrification furnace following the dehydration treatment but prior to the vitrification thereof, the soot body being heated to a temperature ranging between 100 DEG C and 1350 DEG C in a heating area.

Abstract translation: 在制造圆筒状的石英玻璃体具有低OH含量的已知方法的细长的多孔烟灰体首先通过的火焰水解生成的上制备并进行此进行脱水，然后在玻璃熔炉玻璃化一个旋转支承化合物和SiO 2个颗粒的逐层沉积含硅 ， 要指定此基础上的简单方法，该方法允许在没有结构成本低OH含量和OH浓度的相同的均匀分布的石英玻璃圆柱体的制造中，根据提出的发明，所述烟灰体的脱水处理后和在保护气体之前其玻璃化至预处理下和 其中它是在一个加热区加热至在100℃至1350℃的范围内的温度进行/或下，在玻璃化炉真空。

公开(公告)号：WO2003080526A1

公开(公告)日：2003-10-02

申请号：PCT/JP2003/003759

申请日：2003-03-26

Applicant: 科学技術振興事業団 ,  旭硝子株式会社 ,  細野 秀雄 ,  梶原 浩一 ,  平野 正浩 ,  生田 順亮 ,  菊川 信也

Inventor： 細野 秀雄 ,  梶原 浩一 ,  平野 正浩 ,  生田 順亮 ,  菊川 信也

IPC: C03C3/06

CPC classification number: G03F7/70958 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/21 ,  C03C3/06 ,  C03C23/0025 ,  C03C2201/21 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/50 ,  G02B1/02 ,  Y02P40/57

Abstract: 波長１５０～１９０ｎｍの紫外線を光源とする装置に用いられ、波長１５０～１９０ｎｍの紫外光に対する耐紫外線性に優れた合成石英ガラスの提供を目的とする。　波長１５０～２００ｎｍの光に使用される合成石英ガラスにおいて、合成石英ガラス中のＯＨ基濃度が１ｐｐｍ未満であり、酸素過剰型欠陥濃度が１×１０ 16 個／ｃｍ 3 以下、水素分子濃度が１×１０ 17 分子／ｃｍ 3 未満、かつキセノンエキシマランプ光を照度１０ｍＷ／ｃｍ 2 で３ｋＪ／ｃｍ 2 照射した後、またはＦ 2 レーザ光をエネルギー密度１０ｍＪ／ｃｍ 2 ／パルスで１０ 7 パルス照射した後の非架橋酸素ラジカルの濃度が１×１０ 16 個／ｃｍ 3 以下であることを特徴とする合成石英ガラス。

Abstract translation: 用于使用150〜190nm波长的紫外线作为光源的单位的合成石英玻璃，其对紫外线的耐紫外线性优异，为150〜190nm。 用于150〜200nm波长的合成石英玻璃，其特征在于，在合成石英玻璃中，OH基浓度小于1ppm，氧过剩型缺陷的浓度为1×10 16个缺陷/ cm 3以下，氢分子的浓度小于1×10 17分子/ cm 3，非交联氧自由基的浓度在用氙准分子灯3kJ / cm 2照射后表现出 在10mW / cm 2的照射强度下，或以10mJ / cm 2 /脉冲的能量密度用F 2激光束进行10 <7>脉冲照射后的光为1×10 16 自由基/ cm 3以下。

公开(公告)号：WO02093795A3

公开(公告)日：2003-08-07

申请号：PCT/US0222072

申请日：2002-03-11

Applicant: CORNING INC

Inventor： BICKHAM SCOTT R ,  DALGOUTTE DAVID G ,  GROCHOCINSKI JAMES M ,  VASILYEV MICHAEL

IPC: G02B6/036 ,  C03B37/014 ,  G02B6/34 ,  G02F1/35 ,  H01S3/10 ,  H01S3/30 ,  H04B10/02 ,  H04B10/18 ,  H04B10/17

CPC classification number: G02B6/0285 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/04 ,  G02B6/02019 ,  G02B6/02261 ,  G02B6/0228 ,  G02B6/03677 ,  G02B6/29377 ,  H04B10/25253 ,  Y02P40/57

Abstract: An apparatus for transporting an optical signal is provided. The apparatus includes sections of optical fiber span with at least one section negative dispersion, negative slope fiber positioned at a distance from the output. A pump light emitting device optically coupled to the optical fiber span near the output is provided for generating an amplification signal.

Abstract translation: 提供一种用于传输光信号的装置。 该装置包括具有至少一个部分负色散的光纤跨段，负斜率光纤位于离输出一段距离处。 提供光学耦合到输出附近的光纤跨距的泵浦发光装置，用于产生放大信号。

公开(公告)号：WO0027767B1

公开(公告)日：2000-07-27

申请号：PCT/EP9908539

申请日：1999-11-08

Applicant: HERAEUS QUARZGLAS ,  SHINETSU QUARTZ PROD ,  SHIMADA ATSUHI ,  KATO TOSHIYUKI ,  SUZUKI MASANORI ,  WATABE YUTAKA

Inventor： SHIMADA ATSUHI ,  KATO TOSHIYUKI ,  SUZUKI MASANORI ,  WATABE YUTAKA

IPC: C03B37/012 ,  C03C13/04 ,  G02B6/00

CPC classification number: C03B37/01211 ,  C03B37/01205 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31

Abstract: An object of the present invention is to provide a quartz glass tube for optical fiber preforms capable of producing optical fiber preforms having high dimensional precision, excellent distribution of refraction index, and yet free from degradation and the like of working environment. The object above is accomplished by a quartz glass tube for use in the production of optical fiber preforms, characterized in that the high temperature viscosity thereof is varied in the wall thickness direction, and that the high temperature viscosity in the inner layer side is lower than that of the outer layer side. It is shown how the viscosity and the refractive index are influenced by different doping agents to optimize producing parameters for the optical fiber preform and the distribution of refraction index of the optical fiber preform obtained. A method for producing an optical fiber preform comprising inserting a core glass rod into said quartz glass tube and melt welding them together is also disclosed.

Abstract translation: 本发明的一个目的是提供一种用于光纤预制棒的石英玻璃管，其能够生产尺寸精度高，折射率分布优异并且没有工作环境劣化等的光纤预制棒。 上述目的通过一种用于生产光纤预制棒的石英玻璃管来实现，其特征在于，其高温粘度在壁厚方向上是变化的，并且内层侧的高温粘度低于 即外层侧。 显示了粘度和折射率如何受不同掺杂剂影响，以优化光纤预制棒的生产参数和获得的光纤预制棒的折射率分布。 还公开了一种制造光纤预制棒的方法，该方法包括将芯玻璃棒插入所述石英玻璃管并将它们熔融焊接在一起。

公开(公告)号：KR101645663B1

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：KR1020147031698

申请日：2014-03-25

Applicant: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤

Inventor： 야마가타,시게루

IPC: C30B15/10 ,  C03B19/09 ,  C30B29/06 ,  C30B35/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: C03B19/095 ,  C03B2201/03 ,  C03B2201/04 ,  C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  C30B35/002 ,  Y10T117/1032

Abstract: 본발명은, 직동부, 만곡부, 및저부를갖는단결정실리콘인상용실리카용기에있어서, 용기외측이기포를함유하는불투명실리카유리로이루어지고, 용기내측이투명실리카유리로이루어지고, 적어도상기직동부의내측표층부분에있어서, 결정질실리카분말이용융된상과비정질실리카분말이용융된상이입상으로혼재하는혼합실리카층을갖는단결정실리콘인상용실리카용기이다. 이에따라, 고온도하에서의실리카용기중의실리콘융액의탕면진동을억제할수 있는단결정실리콘인상용실리카용기가제공된다.

公开(公告)号：KR1020090127300A

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：KR1020097020258

申请日：2008-02-21

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 발라크리쉬난,지텐드라 ,  칸나,사미르 ,  오누,추쿠웨메카비 ,  라니,소냐엠 ,  탠돈,푸쉬카

IPC: C03B37/014 ,  C03B37/018

CPC classification number: C03B37/01853 ,  C03B37/0124 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/01807 ,  C03B37/027 ,  C03B2201/04 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/50 ,  C03B2203/22 ,  C03B2207/90

Abstract: According to an embodiment of the invention a method of manufacturing optical fiber cane comprises the steps of: (i) providing a core rod manufactured of relatively low viscosity glass; (ii) depositing SiObased soot around the core rod to form a soot preform, the soot being of relatively high viscosity material such that the softening point of the low viscosity glass is at least 200°C lower than the viscosity of the high viscosity outer core region; and (iii) consolidating the soot of the soot perform by exposure to hot zone at temperatures of 1000°C-1600°C. The soot is consolidated by heating the outer portion of the soot perform at a relatively fast heating rate, the heating rate being sufficient to densify the soot, so as to render the densified material with enough rigidity to confine the heated core rod and to prevent the heated core rod from puddling.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，制造光纤手杖的方法包括以下步骤：（i）提供由相对低粘度的玻璃制成的芯棒; （ii）在芯棒周围沉积SiO基烟灰以形成烟炱预制件，该烟炱是相对高粘度的材料，使得低粘度玻璃的软化点比高粘度外核的粘度低至少200℃ 地区; 和（iii）通过在1000℃-1600℃的温度下暴露于热区来整合烟灰的烟灰。 烟炱通过以相对较快的加热速率加热烟灰的外部部分而被固结，加热速率足以使烟灰致密，以使致密材料具有足够的刚度以限制加热的芯棒并防止 加热芯棒从搅拌。

公开(公告)号：KR100731835B1

公开(公告)日：2007-06-25

申请号：KR1020057015829

申请日：2004-02-20

Applicant: 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 ,  헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지

Inventor： 오하마야수오 ,  마쯔이히로시

IPC: C30B15/10

CPC classification number: C03B19/095 ,  C03B2201/04 ,  C30B15/10

Abstract: 본 발명은, 기포가 없는 투명한 내층과 기포를 함유하는 불투명한 베이스 몸체 또는 외층을 포함하는 적어도 2층 구조를 가지며, 적어도 상기 베이스 몸체는 0.0005~0.0065[kg/kg(건조가스)]의 수분혼합비를 갖는 가스 내에서 유지된 실리카 분말에 의해 형성됨을 특징으로 하는 실리콘 단결정 인상용 석영유리 도가니 제조방법과, 상기 제조방법으로 제조된 석영유리 도가니에 관한 것이다. 상기 얻어진 도가니는 50ppm 이하의 평균 OH 기 농도를 가지며 실리콘 단결정 인상중에 발생하는 진동을 억제할 수 있다. 또한 상기 얻어진 도가니는 상기 실리콘 단결정 인상시 도가니의 변형에 따른 어려움에 빠지지 않는다.
석영유리 도가니, 내층, 외층, 수분혼합비, OH 기 농도