公开(公告)号：CN102818792B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201210109429.5

申请日：2012-04-13

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 小田龙太郎

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/31 ,  G01N30/74

CPC classification number: G01N21/31 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/024 ,  G01J3/027 ,  G01J3/06 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4406 ,  G01J2003/2869 ,  G01N21/274 ,  G01N21/64 ,  G01N2021/6417

Abstract: 本发明提供一种光谱测量装置，包括：数据存储器，用于存储第一和第二荧光光谱，第一荧光光谱是通过使用不包含目标组分的溶剂作为上述试样而得到的，第二荧光光谱是通过使用包含目标组分的溶剂作为上述试样而得到的，第一和第二荧光光谱中的每一个都是通过在预定的波长范围内改变激发波长得到的；最佳波长确定器，用于根据第一和第二荧光光谱计算目标组分在各波长上的荧光强度的值，根据第一荧光光谱计算各波长上因溶剂引起的噪声量的估计值，以及根据目标组分的荧光强度的值和噪声量的估计值确定在各波长上的灵敏度指数。

公开(公告)号：CN102265140B

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN200980152349.4

申请日：2009-12-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 原田邦男 ,  足立作一郎 ,  山崎功夫

IPC: G01N21/59 ,  G01N35/04

CPC classification number: G01N21/59 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/10 ,  G01N21/0332 ,  G01N2201/062

Abstract: 在检测在试样中包含的成分量的分析系统中，使光度计小型、低价格化，并且在系统全体中可以同时测定大量样本。使用发热少、寿命长的LED作为光源，通过使光轴不为一条直线地弯曲来进行小型化，通过共用弯曲光轴的部件和在为了确保光量而聚光中使用的部件来减少部件个数，同时，通过小型化减少部件个数以及一体化，容易进行光轴调整，实现高精度的测量。

公开(公告)号：CN103913807A

公开(公告)日：2014-07-09

申请号：CN201410003320.2

申请日：2014-01-03

Applicant: 株式会社理光

Inventor： S.什洛夫 ,  K.伯克纳

IPC: G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  G01J3/28

CPC classification number: H04N5/2353 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/32 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/1213 ,  G01J2003/1221 ,  G01J2003/1243 ,  G01N21/27 ,  G01N2021/1797 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/332

Abstract: 提供一种可调节的多模式光场成像系统。非均匀的滤镜模块定位在该光场成像系统的光瞳平面上并提供多模式性能。该滤镜模块能够相对于该成像系统被移动而相应地调节曝光条件，从而能够调节该多模式性能。

公开(公告)号：CN103808409A

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201310553498.X

申请日：2013-11-08

Applicant: 通用电气航空系统有限责任公司

Inventor： T.B.塞巴斯蒂安 ,  S.C.M.斯托茨 ,  E.D.比勒 ,  B.T.奥基平蒂

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01N21/255 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/08 ,  G01J3/26 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/36 ,  G01J2003/2826 ,  G02B26/0816 ,  G02B27/1013 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/332

Abstract: 一种多光谱凝视阵列，其中包括：至少两个传感器，其中每个传感器适于以不同的预定光谱感光度检测图像；用于聚焦捕获光谱带的第一透镜；透镜和传感器之间的光谱滤波器，用于细分入射光谱带；以及第二透镜，用于将细分的入射光谱带引导和聚焦到每个传感器上。

公开(公告)号：CN103727880A

公开(公告)日：2014-04-16

申请号：CN201310478380.5

申请日：2013-10-14

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 辻井敦 ,  千田直道 ,  西田和史

IPC: G01B11/02 ,  G01J3/42 ,  G01J3/46

CPC classification number: G01B11/14 ,  G01B11/026 ,  G01B11/0608 ,  G01B2210/50 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/42 ,  G01J3/50

Abstract: 本发明公开了光谱特性测量设备、颜色测量设备、平面测量对象质量监控设备、位移测量方法、光谱特性测量方法和颜色测量方法。位移传感器包括：光源单元，其被构造为将具有不同的多个波长的光以倾斜的方向施加于平面测量对象的测量区域；分光镜，其被构造为测量被测量区域反射的光的光谱分布；特征量提取模块，其被构造为提取光谱分布的特征量；以及位移计算模块，其被构造为基于所提取的特征量以及预先获取的位移与特征量之间的关系来计算测量区域的位移。

公开(公告)号：CN103718007A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280038297.X

申请日：2012-06-07

Applicant: 株式会社隆创

Inventor： 川端秀树 ,  木岛明良

IPC: G01J3/50 ,  A61B5/055 ,  A61B6/00 ,  A61B6/03

CPC classification number: G06T7/408 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/0264 ,  G01J3/027 ,  G01J3/0278 ,  G01J3/0289 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/50 ,  G01J3/513 ,  G06T7/90

Abstract: 本发明的目的在于准确地对齐将要测量的多个物体的对应测量点，并且根据两个测量点处的测量的结果评估将要测量的物体。测量系统（100）设置有测量装置（10）和PC（20），并且测量装置（10）设置有测量将要测量的物体的测量点的分光部（12）和用于实时地对测量点的周边进行拍摄的摄像头（16）。PC（20）在显示部（22）的显示画面上显示由测量装置（10）的摄像头（16）拍摄并且显示的评估介质的连续图像信息的评估图像以重合在已经由摄像头（16）拍摄并且存储在存储器（24）中的基准介质的静止图像信息的基准图像上。通过在通过在两个图像彼此几乎完全重叠时测量评估图像中的测量点获得的测量数据与存储器（24）中存储的基准图像中的测量点的测量数据之间执行比较，能够容易地执行对齐并且执行测量数据的比较。

公开(公告)号：CN103424187A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310359016.7

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  H·泰希曼 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块（1）中，由于本体部（2）为板状，因而能够通过本体部（2）的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部（2）为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块（1）。即，通过对作为多个本体部（2）的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部（3）、衍射层（4）、反射层（6）以及光检测元件（7）设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块（1）。如此，能够容易地大量生产分光模块（1）。

公开(公告)号：CN102269622B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201010270454.2

申请日：2010-09-02

Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司

Inventor： 李国光 ,  严晓浪 ,  马铁中 ,  艾迪格·基尼欧 ,  刘涛

IPC: G01J3/42 ,  G01J3/02 ,  G01B11/24 ,  G01N21/25

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01N21/21

Abstract: 本发明提供一种垂直入射光谱仪。该垂直入射光谱仪包括光源、分光元件、聚光单元、第一平面反射元件和探测单元，其中：分光元件设置于聚光单元和探测单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过第一平面反射元件和聚光单元的光束并将该光束反射至探测单元；聚光单元用于通过分光元件接收来自光源的光束并使该光束变成会聚光束；第一平面反射元件用于接收会聚光束并将会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过第一平面反射元件、聚光单元和分光元件的光束。该垂直入射宽带光谱仪结构简单，不仅易于调节聚焦，还可实现无色差，且可保持探测光束偏振状态。

公开(公告)号：CN102338662B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201110147474.5

申请日：2011-06-02

Applicant: 北京智朗芯光科技有限公司

Inventor： 刘涛 ,  李国光 ,  艾迪格·基尼欧 ,  马铁中 ,  严晓浪

IPC: G01J3/447 ,  G01J3/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01N21/21 ,  G01N21/25

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0224 ,  G01N21/21

Abstract: 本发明提供了一种易于调节聚焦的、可实现无色差的、可保持偏振特性的、且结构简单的斜入射宽带光谱仪。该斜入射宽带光谱仪包含至少两个偏振器、至少一个相位补偿元件、至少两个曲面反射元件和至少两个平面反射元件的斜入射宽带光谱仪。斜入射宽带光谱仪利用平面反射元件改变光束传播方向，并且可补偿因反射聚光单元引起的偏振变化，使得光束经相位补偿元件后的偏振特性在斜入射并会聚于样品表面时保持不变。本发明的斜入射宽带光谱仪，能够高精确度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌。

公开(公告)号：CN102007389B

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN200980113172.7

申请日：2009-03-30

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 井崎雄三 ,  鹤冈政义

IPC: G01J3/36

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/2803

Abstract: 测光装置(2)的受光部(4)包括配置在与由截止滤光器(26)阻隔的短波长一侧的光线对应的位置上的受光元件(4a)，配置在与截止滤光器(26)阻隔的短波长一侧的光线对应的位置上的受光元件(4a)的输出作为暗电流输出来使用。在运算电路(6)中设置有修正电路(30)，该修正电路(30)使用暗电流输出来修正配置在与相较于被阻隔的短波长一侧的光线而言的长波长一侧的波长的光线相对应的位置上的各受光元件(4a)产生的测光输出。