公开(公告)号：CN1184671C

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：CN00137392.7

申请日：2000-12-07

Applicant: 日本派欧尼股份株式会社

Inventor： 高松勇吉 ,  米山岳夫 ,  石滨义康 ,  浅野彰良

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/02 ,  B01J4/00 ,  C23C16/44

CPC classification number: B01D19/0031 ,  B01D19/0005

Abstract: 这里公开了一种供应液体原材料的方法，其中除去液体原材料中的气体，并从液体原材料容器向液流控制部分供应液体原材料，该方法包括：使通过第一惰性气体的压力从液体原材料容器供应的液体原材料，在透气合成树脂管中通过，使对合成树脂管的渗透率比第一惰性气体低的第二惰性气体沿所说合成树脂管的外表面通过，从而溶于液体原材料的第一惰性气体能够渗透到合成树脂管外，然后将液体原材料供应到液流控制部分。还公开了一种用于该方法的供应液体原材料的设备。本发明可以保证利用液体原材料的半导体制造期间，可以容易且有效地去除溶于液体原材料中的惰性气体。

公开(公告)号：CN1357639A

公开(公告)日：2002-07-10

申请号：CN01138492.1

申请日：2001-11-14

Applicant: 日本派欧尼股份株式会社

Inventor： 大塚健二 ,  岛田孝 ,  大杉实 ,  川口敬

IPC: C22B3/06 ,  B01J20/34 ,  B01D53/96 ,  C22B15/00

CPC classification number: C22B3/44 ,  B01J23/92 ,  B01J23/94 ,  B01J38/60 ,  B01J38/68 ,  C22B7/009 ,  C22B15/00 ,  Y02P10/214 ,  Y02P10/234

Abstract: 本发明提供了从包含氧化铜的、或包含碱式碳酸铜的、或包含氢氧化铜的、或包含氧化铜和氧化锰的、已用于与有害气体相接触脱除有害气体中膦有害成分的净化剂中回收铜成分或锰成分的方法。本发明也提供了从包含碱式碳酸铜的、或包含氢氧化铜的、或包含氧化铜和氧化锰的、已用于与有害气体相接触脱除有害气体中硅烷有害成分的净化剂中回收铜成分或锰成分的方法。根据本发明,可从净化剂中有效地回收能重复使用的铜成分和/或锰成分。