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公开(公告)号：CN108981917B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201811006601.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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公开(公告)号：CN108981917A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201811006601.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: H05B41/30 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J2003/1278 , G01N21/84 , G01N2201/061 , G01N2201/0696
Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统，其具有静态电连接到高电压电源的电容器，接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件，用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件，包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件，可以被布置在接近于闪光灯的光路中，例如多通道分配器如果存在的话，以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。
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公开(公告)号：CN101438126B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200680044391.0
申请日：2006-09-27
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 阿兰·阿南斯·艾
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B11/0675
Abstract: 本发明一种用于根据外差光学信号获取高精确的相位偏移信息的自参考外差反射计系统和方法，不用一个参考晶片来校正。该自参考外差反射计在外差反射(HR)模式和自参考(SR)模式之间快速转换，其中在HR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的s和p极化光束分量的HR光束，在SR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极化的p极化光束分量的SR光束。当两个测量快速连续的进行时，假设检测器中的温度感应噪声对两个测量是相同的。从HR光束中产生一个测量相位偏移δRef/film，从SR光束中产生一个参考相位偏移δRef/Sub。从HR光束的差拍信号产生的测量相位偏移δRef/film用于薄膜厚度测量。SR光束是p极化的，不会从薄膜表面产生显著的反射，并且不会携带任何属于薄膜的相位信息。从SR光束的差拍信号产生的参考相位偏移δRef/Sub等同于使用参考样本得到的信息。然后从测量相位偏移δRef/film和与温度造成的相位偏移无关的参考相位偏移δRef/Sub得到薄膜相位偏移信息。从薄膜相位偏移信息计算得到薄膜厚度。
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公开(公告)号：CN1817027B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200480018951.6
申请日：2004-03-09
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 库尼·安德鲁·威克斯
IPC: H04N3/14 , H04N5/335 , H04N5/235 , H04N5/238 , H01L27/148 , H01L29/768 , H01L27/00
CPC classification number: H04N5/347 , G01J3/2803 , H04N3/1525 , H04N3/155 , H04N3/1562 , H04N5/355 , H04N5/35563 , H04N5/3728
Abstract: 本发明涉及一种用于提高CCD传感器的动态范围而基本不会增大噪声的装置、方法和软件产品。一开始，将N×M像素CCD传感器的区域细分成两个区域，在每一列内具有(M-a)个像素的用于输出具有低噪声的大幅度信号的大区域，和在每一列内具有a个像素的用于输出动态范围提高的小幅度信号的较小区域。在累积时间内，通过经过a或M-a次垂直移位来移动像素内的电荷，来将一个区域的行内的电荷同时移至水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位将水平移位寄存器内的电荷移出该水平移位寄存器。接下来，通过经过另外a或M-a次垂直移位来移动像素电荷，来将CCD的区域内的剩余电荷读出到水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位来将那些电荷读出水平移位寄存器。在光谱仪应用中，两个区域的数据被以来自较大区域的行的大幅度通道的形式，以及来自较小区域的行的小幅度通道的形式读出。
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公开(公告)号：CN1817027A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN200480018951.6
申请日：2004-03-09
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 库尼·安德鲁·威克斯
IPC: H04N3/14 , H04N5/335 , H04N5/235 , H04N5/238 , H01L27/148 , H01L29/768 , H01L27/00
CPC classification number: H04N5/347 , G01J3/2803 , H04N3/1525 , H04N3/155 , H04N3/1562 , H04N5/355 , H04N5/35563 , H04N5/3728
Abstract: 本发明涉及一种用于提高CCD传感器的动态范围而基本不会增大噪声的装置、方法和软件产品。一开始，将N×M像素CCD传感器的区域细分成两个区域，在每一列内具有(M－a)个像素的用于输出具有低噪声的大幅度信号的大区域，和在每一列内具有a个像素的用于输出动态范围提高的小幅度信号的较小区域。在累积时间内，通过经过a或M－a次垂直移位来移动像素内的电荷，来将一个区域的行内的电荷同时移至水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位将水平移位寄存器内的电荷移出该水平移位寄存器。接下来，通过经过另外a或M－a次垂直移位来移动像素电荷，来将CCD的区域内的剩余电荷读出到水平移位寄存器内。然后通过N次水平移位来将那些电荷读出水平移位寄存器。在光谱仪应用中，两个区域的数据被以来自较大区域的行的大幅度通道的形式，以及来自较小区域的行的小幅度通道的形式读出。
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公开(公告)号：CN115552537B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202280004137.7
申请日：2022-04-13
Applicant: 真实仪器公司
IPC: G16C20/00
Abstract: 本公开通过识别表示光学数据的电数据中的异常信号来提供对所述光学数据的改进处理。所述改进处理还可包含修改所述经识别异常信号数据以提供对所述光学数据的更真实表示。所述经公开处理可被各种系统及设备用于处理对应于所述光学数据的光谱数据。所述改进处理可用来改进对半导体工艺的监测且因此改进总体半导体工艺。在一个实例中，一种处理光谱数据的方法包含：(1)接收时间上分离的光谱数据样本；以及(2)基于所述时间上分离的光谱数据样本中的至少一个前导者及至少一个后续者来识别所述光谱数据样本中的中间者中的一或多个异常信号。
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公开(公告)号：CN116721797A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310254522.3
申请日：2023-03-07
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本公开涉及用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口并提供一种经改进光纤电缆组合件，其可保护光谱仪免受外部噪声及放电源中的一或多者的影响。所述经改进光纤电缆组合件为所述光纤电缆组合件端接于其中的例如光谱仪的光学仪器提供了电隔离及/或绝缘EII保护物。所述EII保护物可包含至少部分地覆盖终端及护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩以及接地系绳中的一或多者。在一个实例中，光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。本发明还公开了一种具有经改进光纤电缆组合件的光纤耦合系统。
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公开(公告)号：CN110662339B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201910160394.X
申请日：2019-03-04
Applicant: 真实仪器公司
Inventor： 马克·A·梅洛尼
Abstract: 本发明提供一种等离子体源和一种用于激发等离子体的激发系统，和一种光学监测系统。在一个实施例中，所述等离子体源包含：(1)同轴谐振腔主体，其具有内长度且包含第一端、第二端、内电极和外电极，(2)射频信号接口，其沿着所述内长度在固定位置电耦合到所述内电极和所述外电极并且经配置以提供射频信号到所述同轴谐振腔主体，(3)窗口，其经定位在所述同轴谐振腔主体的所述第一端处，和(4)安装凸缘，其经定位靠近所述同轴谐振腔主体的所述第一端处的所述窗口且界定等离子体腔，其中所述窗口形成所述等离子体腔的一个侧且将所述同轴谐振腔主体与所述等离子体腔中的等离子体隔离。
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公开(公告)号：CN108881746B
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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