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公开(公告)号：CN111599705B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202010102501.6
申请日：2020-02-19
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各自具有形成所述光纤线缆的共同端面的出口端，其中所述光纤线缆以旋转方式和平移方式与所述OAP镜对准，使得共同面垂直于所述OAP镜的所述光轴且以所述光轴为中心，且与所述焦点相距固定距离，且其中所述第一和第二光纤的光轴共同成角度地与所述折叠平面对准，且所述第一和第二光纤的所述光轴偏离与所述光轴的平行不超过0.15度。
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公开(公告)号：CN111599705A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010102501.6
申请日：2020-02-19
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请涉及一种对信号从晶片反射后的角驱动变化灵敏度降低的光纤耦合测量系统。公开一种具有OAP镜准直仪的光学系统，其具有外壳、位于所述外壳内且具有光轴、折叠平面和焦点的OAP镜。光纤线缆耦合到所述外壳且具有第一和第二光纤，所述第一和第二光纤各自具有形成所述光纤线缆的共同端面的出口端，其中所述光纤线缆以旋转方式和平移方式与所述OAP镜对准，使得共同面垂直于所述OAP镜的所述光轴且以所述光轴为中心，且与所述焦点相距固定距离，且其中所述第一和第二光纤的光轴共同成角度地与所述折叠平面对准，且所述第一和第二光纤的所述光轴偏离与所述光轴的平行不超过0.15度。
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公开(公告)号：CN108109938B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108881746A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
CPC classification number: H01J49/022 , G01B11/06 , G01N21/00 , H01J49/025 , H01L21/67242 , H01L27/148 , H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/357 , H04N5/372 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN108881746B
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN108109938A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: G01N21/274 , G01J3/2823 , G01J3/443 , G01N21/66 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01J2237/2482 , H01L21/681 , H01L22/26 , H05H1/0006
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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公开(公告)号：CN113218935B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN113218935A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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