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公开(公告)号：CN117405357A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202310874640.4
申请日：2023-07-17
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请案涉及一种用于半导体工艺的光学仪器的故障检测和操作就绪情况的系统和方法。本公开认识到，当光学仪器未正常工作时，与其用光学仪器作为工艺控制仪器/传感器来监测可控工艺，不如不开始监测所述工艺。因此，本公开涉及用于在光谱仪等光学仪器用于监测半导体工艺之前检查所述光学仪器是否正常工作的新颖特征。在一个方面中，本公开提供一种用于评估和验证光学仪器的操作状态的系统。在一个实例中，所述系统包含：(1)集成光源；(2)光学传感器，其用于收集来自所述集成光源的光；(3)控制器，其控制所述集成光源和所述光学传感器；以及(4)处理器，其用于处理从所述光获得的收集到的光学信号数据且导出指示所述操作状态的度量。
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公开(公告)号：CN108109938B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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公开(公告)号：CN108881746A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
CPC classification number: H01J49/022 , G01B11/06 , G01N21/00 , H01J49/025 , H01L21/67242 , H01L27/148 , H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/357 , H04N5/372 , H04N5/378
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113218935B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN113218935A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110490515.4
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN116721797A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310254522.3
申请日：2023-03-07
Applicant: 真实仪器公司
Abstract: 本公开涉及用于光谱仪的光纤电缆组合件及接口并提供一种经改进光纤电缆组合件，其可保护光谱仪免受外部噪声及放电源中的一或多者的影响。所述经改进光纤电缆组合件为所述光纤电缆组合件端接于其中的例如光谱仪的光学仪器提供了电隔离及/或绝缘EII保护物。所述EII保护物可包含至少部分地覆盖终端及护套的非导电护套、在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器、隔离罩以及接地系绳中的一或多者。在一个实例中，光纤电缆组合件包含：(1)终端；(2)护套；及(3)在所述终端与所述护套之间提供电隔离的电介质断路器。本发明还公开了一种具有经改进光纤电缆组合件的光纤耦合系统。
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公开(公告)号：CN108881746B
公开(公告)日：2021-05-21
申请号：CN201810298098.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 真实仪器公司
IPC: H04N5/347 , H04N5/355 , H04N5/3728
Abstract: 本发明提供多模式可配置光谱仪、操作多模式可配置光谱仪的方法及光学监测系统。在一个实施例中，所述多模式可配置光谱仪包含：(1)光学传感器，其经配置以接收光学输入且将所述光学输入转换成电信号，其中所述光学传感器包含用于将所述光学输入转换成所述电信号的多个有源像素区域；及(2)转换电路，其具有多个可选择转换电路，所述转换电路经配置以接收所述电信号且根据所述可选择转换电路中的所选择者将所述电信号转换成数字输出。
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公开(公告)号：CN108109938A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201711127994.3
申请日：2017-11-14
Applicant: 真实仪器公司
CPC classification number: G01N21/274 , G01J3/2823 , G01J3/443 , G01N21/66 , H01J37/32963 , H01J37/32972 , H01J2237/2482 , H01L21/681 , H01L22/26 , H05H1/0006
Abstract: 本申请案涉及一种光学校准装置及表征系统。本发明提供一种用于对与处理室相关联的光学信号进行室内校准的光学校准装置、一种用于等离子体处理室的表征系统、表征等离子体处理室的方法及一种室表征器。在一个实例中，所述光学校准装置包含：(1)外壳，(2)光学源，其位于所述外壳内且经配置以提供具有连续光谱的源光，及(3)光学塑形元件，其位于所述外壳内且经配置以在所述处理室内的操作期间将所述源光成形为近似于等离子体发射的校准光。
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