半导体存储器件
    31.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108206184B

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN201711337133.8

    申请日:2017-12-14

    Abstract: 本发明构思涉及一种半导体存储器件。一种半导体器件包括包含有源区域的衬底。位线结构延伸跨过有源区域。着落垫设置在有源区域的端部上。第一间隔物设置在位线结构与着落垫之间。第二间隔物设置在第一间隔物与着落垫之间。空气间隔物设置在第一间隔物与第二间隔物之间。盖图案设置在着落垫的侧壁与位线结构的侧壁之间。盖图案限定空气间隔物的顶表面并包括金属性材料。

    半导体存储器装置及其制造方法
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111354711A

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201910831000.9

    申请日:2019-09-04

    Abstract: 一种半导体存储器装置可包括:衬底;位线结构,其在衬底上在一个方向上延伸,位线结构包括侧壁;存储节点接触件,其位于位线结构的侧壁上;第一间隔件和第二间隔件,它们位于位线结构的侧壁与存储节点接触件之间,第一间隔件与第二间隔件通过第一间隔件与第二间隔件之间的空间分离;位线结构上的层间电介质层,层间电介质层包括底表面;间隔件封盖图案,其从层间电介质层的底表面朝着第一间隔件与第二间隔件之间的空间向下延伸;以及着陆焊盘结构,其穿过层间电介质层,着陆焊盘结构耦接至存储节点接触件。

    半导体装置
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111063734A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201910432864.3

    申请日:2019-05-23

    Abstract: 提供了一种半导体装置。该半导体装置包括:基底,包括第一区域和第二区域;埋入栅极结构,位于基底的第一区域中的第一凹部上;以及凹入栅极结构,位于基底的第二区域中的第二凹部上,其中,埋入栅极结构埋在基底中,凹入栅极结构的上部不埋在基底中,埋入栅极结构中的第一功函数调节层可以包括与凹入栅极结构的第二功函数调节层中包括的材料相同的材料。

    半导体存储器件
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110164867A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201910108496.7

    申请日:2019-02-03

    Abstract: 本发明提供半导体存储器件,该半导体存储器件可包括在衬底上的第一堆叠和第二堆叠以及在第一堆叠和第二堆叠上的第一互连线和第二互连线。第一堆叠和第二堆叠中的每个可包括垂直堆叠在衬底上的半导体图案、分别连接到半导体图案的导线以及邻近半导体图案并且沿着垂直方向延伸的栅电极。第一堆叠可包括第一导线和第一栅电极,第二堆叠可以包括第二导线和第二栅电极。第一导线和第二导线的下表面可以是共面的。第一互连线可以电连接到第一导线和第二导线中的至少一条。第二互连线可以电连接到第一栅电极和第二栅电极中的至少一个。

    半导体存储器件
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108206184A

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201711337133.8

    申请日:2017-12-14

    Abstract: 本发明构思涉及一种半导体存储器件。一种半导体器件包括包含有源区域的衬底。位线结构延伸跨过有源区域。着落垫设置在有源区域的端部上。第一间隔物设置在位线结构与着落垫之间。第二间隔物设置在第一间隔物与着落垫之间。空气间隔物设置在第一间隔物与第二间隔物之间。盖图案设置在着落垫的侧壁与位线结构的侧壁之间。盖图案限定空气间隔物的顶表面并包括金属性材料。

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