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公开(公告)号:CN103759882B
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201310738252.X
申请日:2013-12-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及超高速飞行器深空探测装置压力测试领域,具体是一种高温、高压恶劣环境下压力参数的测试装置。解决了目前由于在高温环境的冲击下,传感器材料弹性性能特性退化和引线传热导致的温度性能限制,降低数据采集传输系统可靠性和传感器的压力敏感性甚至使传感器失效,压力参数获取困难的问题;本发明所述高温环境下高速飞行器空间外压测试装置结构合理,通过一种HTCC高温压力传感器精准采集高温环境下的压力信号,通过发送天线透过无屏蔽信号传输层将压力信号给高温一体防护模体内部的接收天线,进而传输给采编器,实现数据的采集、编帧以及存储。另外本发明采用高温防护网以及高温防护膜,保证整个测试装置的准确性、可靠性、稳定性。
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公开(公告)号:CN103698021B
公开(公告)日:2019-01-18
申请号:CN201310631237.5
申请日:2013-12-02
Applicant: 中北大学
IPC: G01J5/12
Abstract: 本发明涉及热电堆红外探测器,具体是一种基于TiN反射层的热电堆红外探测器。进一步改进了现有热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括:1、在SOI衬底正面加工内、外两个隔离槽,划分出各加工区;2、加工SiO2介质支撑膜;3、加工构成热电偶的P/N型多晶硅条;4、加工下层SiO2隔离层及后续加工用金属连接加工孔;5、完成金属连接;6、加工上层SiO2隔离层;7、加工TiN反射层;8、加工SiN导热层;9、加工热辐射吸收层;10、形成后续加工用释放孔;11、将SiO2介质支撑膜下的热电偶加工区及热辐射吸收区空腔化;12、实现纳米森林结构的热辐射吸收层。本发明结构设计合理,制作工艺易于实现,成品性能提高明显,具有良好的发展前景。
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公开(公告)号:CN105846647B
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201610243435.8
申请日:2016-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: H02K35/04
Abstract: 本发明提供一种线圈悬浮型振动驱动电磁式能量采集器,包括顶盖、顶部弹簧、底部外壳、圆形永磁铁、平面螺旋线圈保护盖、平面螺旋线圈、线圈绕柱、斥力永磁铁、斥力永磁铁定位底盘、线圈悬浮腔。本发明依靠悬浮线圈中磁通量的改变完成振动能和电能的转换,线圈主要依靠小型斥力永磁铁与固定的圆形永磁铁之间的斥力完成悬浮,小型斥力永磁铁的磁场范围较小,不超出整体外壳范围,如此,小型斥力永磁体不与外界振动机器产生磁力作用。同时,线圈悬浮运动摩擦力小,在电磁阻尼与本身重力的相互作用下往复运动,迅速持久,从而可对机器振动能量做多次高效采集。
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公开(公告)号:CN109091135A
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201810784684.7
申请日:2018-07-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B5/0402 , A61B7/02
Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器,包括壳体,壳体上固定有透声帽,壳体内设有支撑板,支撑板上安装有MEMS声传感器微结构,MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成;壳体的外围套装有一圈心电电极,心电电极的外围套装有一圈吸盘;心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底,柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器,本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体,进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断,具有灵敏度高,体积小,可批量加工,低成本等优点。
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公开(公告)号:CN104635301B
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201510070081.7
申请日:2015-02-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B6/28
Abstract: 本发明涉及基于LTCC的高Q值光学微腔耦合系统的封装结构和封装方法,其结构包括光学微腔,耦合器,两层封装体;所述的封装体第一层由包容整个光学微腔、耦合器的光学透明封装材料凝固构成,提高了系统的抗震能力,第二层是由陶瓷材料所做的上中下分立结构,第一层封装体整个结构通过技术操作完全内嵌于中间层,上下两层在高温下通过粘合剂与中间层紧密粘合,控制了第一层封装材料易受环境温度影响的缺点,提高温度稳定性。利用折射率低于光学微腔耦合系统折射率的光学透明封装材料,用来包容整个光学微腔和耦合器所构建的耦合结构,外部再加一层特殊结构的陶瓷材料控制环境温度变化带来的误差。这种封装结构和封装方法使光学微腔耦合系统更加稳定。
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公开(公告)号:CN105232080B
公开(公告)日:2017-10-31
申请号:CN201510589217.5
申请日:2015-09-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明提供了一种全新的电子听诊器,具体是一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器,其包括聚氨酯透声帽、壳体和盖体,壳体内灌满绝缘硅油,壳体内固定有MEMS声传感器微结构及充满绝缘硅油,壳体的壳底外表面上设有信号处理电路板仓和锂电池仓,盖体上设有液晶显示屏和若干功能选择按键,信号处理电路板仓内安装有信号处理电路板,信号处理电路板上设有各控制模块,信号处理电路板与液晶显示屏及MEMS声传感器微结构连接。本发明听诊器具有体积小、可视化、检测灵敏、低成本、可批量加工,无线传输到电脑端显示波形的优点,比传统听诊器检测心率更准确、更直观、更方便。
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公开(公告)号:CN107271724A
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201710350290.6
申请日:2017-05-18
Applicant: 中北大学
CPC classification number: G01P15/18 , B81C1/00015 , G01P15/123 , G01P2015/0877
Abstract: 本发明公开了一种单片集成的压阻式三轴加速度计,包括基片,所述基片的中心刻蚀出质量块(3)和四个矩形梁(2),所述质量块(3)上部边缘四边通过分别矩形梁(2)与基片边框(1)一体连接,即质量块(3)右边通过梁L1与基片边框(1)连接、其上边通过梁L2与基片边框(1)连接、其左边通过梁L3与基片边框(1)连接、其下边通过梁L4与基片边框(1)连接;所述基片边框(1)四角留有未刻蚀的限位模块(7),所述限位模块(7)与矩形梁(2)、质量块(3)边缘之间均留有XY向抗过载间隙(9)。本发明在四梁四边框的基础上,通过改变边框形状,以及增加上下盖板来限制质量块在笛卡尔坐标系中X、Y、Z三个方向上的位移,从而实现抗过载功能。
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公开(公告)号:CN107063438A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201710144004.0
申请日:2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器,包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块,同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极;柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上,中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处,且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜,压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极;同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度,宽工作频带的优点。
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公开(公告)号:CN106966356A
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201710208013.1
申请日:2017-03-31
Applicant: 中北大学
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0037 , B81B2203/0118 , B81C1/00158 , B81C1/00349 , B81C2201/0101 , B81C2201/0174
Abstract: 本发明属于微机电系统领域,具体为一种悬臂梁式薄膜压力发电结构,包括框型基底,框型基底开口正对的梁上设有悬空在框型基底内的硅悬臂梁,硅悬臂梁的自由端固定有质量块,框型基底开口正对的梁上方还设有二氧化硅绝缘层,二氧化硅绝缘层上设有底电极层,底电极层上朝框型基底开口侧延伸有位于硅悬臂梁上方的条状底电极层,质量块上设有PZT压电层,PZT压电层朝二氧化硅绝缘层方向延伸有位于条状底电极层上方的条状PZT压电层,条状PZT压电层上方设有顶电极层。当系统处于振动环境中时,外界环境中的振动能传递到系统内,引起硅悬臂梁振动并弯曲变形,使硅悬臂梁储存机械能,从而引起压电层的伸缩进而产生电信号,实现了机械能到电能的转换。
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