薄膜的制造方法和制造装置

    公开(公告)号:CN103392025A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201280009160.1

    申请日:2012-01-23

    Abstract: 一种薄膜的制造装置(100A),具备真空槽(22)、成膜源(9)(蒸发源)、输送系统(40)和涂布机(11)。成膜源(9)是为在真空槽(22)内的成膜区域(31)在基板(21)的第1主面上形成薄膜而使用的。输送系统(40)承担下述作用:沿着输送路径将基板(21)从卷出辊(23)(送出位置)向卷绕辊(26)(回收位置)输送,所述输送路径被设定为基板(21)在成膜区域(31)通过。利用涂布机(11)对基板(21)的第2主面赋予基板冷却材料(10),所述基板冷却材料(10)能够利用在形成薄膜时对基板(21)施加的热而蒸发。

    薄膜的制造方法
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102037155A

    公开(公告)日:2011-04-27

    申请号:CN200980118186.8

    申请日:2009-05-21

    Abstract: 本发明提供一种如下的薄膜的制造方法:通过预测在基板产生的孔缺陷和裂缝的扩大来防止基板断裂,提高生产数量。薄膜的制造方法包括:一边在第1辊和第2辊之间进行基板的卷取行进,一边在蒸镀区域将蒸镀材料蒸镀在基板表面,形成薄膜的工序;在第1辊和第2辊之间,在蒸镀区域之前和/或之后的地点,对基板表面的预定地方照射电磁波或粒子射线,检测透过基板或从基板反射的电磁波或粒子射线的工序;存储与检测出的电磁波或粒子射线以及预定地方相关的信息的工序;基于检测出的电磁波或粒子射线,判定在预定地方的基板的缺陷是否增加的判定工序;根据在判定工序判定的结果实行基板的切断防止措施的防止工序。

    蒸镀膜的形成方法
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101932748A

    公开(公告)日:2010-12-29

    申请号:CN200980103569.8

    申请日:2009-02-06

    CPC classification number: C23C14/225 C23C14/562 H01M10/0525 H01M10/058

    Abstract: 本发明提供一种同时形成锂二次电池的集电引线形成部和电极活性物质部、批量生产性优异的真空蒸镀装置。在将闸门(12a、12b)关闭的状态下,将卷绕于第一辊(3)的基板(4)送出,向第二辊(8)搬送,直至到达第一和第二能够蒸镀区域(60a、60b)时停止。在此,打开闸门(12a),使蒸发源(9)的坩埚内的蒸镀原料蒸发,向位于第一能够蒸镀区域(60a)的基板(4)的表面供给。由此,在基板(4)的表面形成第一层蒸镀膜。以规定时间在基板(4)进行蒸镀之后,关闭闸门(12a)。接着再次搬送基板(4),使在第一能够蒸镀区域(60a)蒸镀形成的部分停止于第二能够蒸镀区域(60b)的位置。打开闸门(12a、12b),再次进行蒸镀,在第一能够蒸镀区域(60a)形成第一层,并且在第二能够蒸镀区域(60b),在第一层之上形成与第一层成长方向不同的第二层蒸镀膜。

    蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法

    公开(公告)号:CN101542008A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200880000483.8

    申请日:2008-03-10

    Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置,是通过在腔室(2)内以卷轴到卷轴的方式使片状的基板(4)移动,由此在基板(4)上连续形成蒸镀膜的蒸镀装置(100),具有:使蒸镀原料蒸发的蒸发源(9);包括卷绕保持基板(4)的第1及第2卷轴(3、8)和对基板(4)进行引导的引导部的输送部;配置在上述能够蒸镀的区域的、形成来自蒸发源(9)的蒸镀原料不能到达的遮蔽区域的遮蔽部,并且,蒸镀区域(60a~60d)包括按照使基板(4)的被蒸镀原料照射的面成为平面的方式输送基板(4)的平面输送区域,在除了遮蔽区域之外的能够蒸镀的区域中,按照使蒸镀材料不从基板(4)的法线方向入射到基板(4)的方式相对于蒸发源(9)配置输送部。

    电池
    38.
    发明公开
    电池 失效

    公开(公告)号:CN101167203A

    公开(公告)日:2008-04-23

    申请号:CN200680014346.0

    申请日:2006-04-21

    CPC classification number: H01M10/0583 H01M2/263 H01M2/30 H01M4/70

    Abstract: 本发明的电池具有带状电极群。上述电极群由第一电极、第二电极及介于它们之间的隔离物组成。上述第一电极具有带状的第一集电体及负载于其一个面上的第一活性物质层,上述第一活性物质层面对上述隔离物。上述第二电极具有带状的第二集电体及负载于其一个面上的第二活性物质层,上述第二活性物质层面对上述隔离物。上述电极群曲折地折叠,构成叠层体,其具有多个平坦部、位于上述多个平坦部的第一端部侧且上述第一集电体位于最外周侧的至少一个的第一弯曲部、位于与上述第一端部侧相反一侧的第二端部侧且上述第二集电体位于最外周侧的至少一个的第二弯曲部,上述叠层体具有连接到上述至少一个第一弯曲部的第一端子及连接到上述至少一个第二弯曲部的第二端子。

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