压电元件、液体喷出头以及打印机

    公开(公告)号:CN112721450A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011144790.2

    申请日:2020-10-23

    Abstract: 本发明提供一种不使用镍酸镧作为取向控制层便能够控制包含钾、钠以及铌的压电体层的取向的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括被设置在基体上的第一电极、被设置在所述第一电极上且包括包含钾、钠以及铌的钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层、以及被设置在所述压电体层上的第二电极,所述第一电极是铂层,所述第一电极是(111)择优取向,所述第一电极的平均结晶粒径是200nm以上。

    压电元件及其制造方法、液体喷出头以及打印机

    公开(公告)号:CN110957414A

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201910903870.2

    申请日:2019-09-24

    Abstract: 本发明提供一种难以产生裂纹的压电元件及其制造方法、液体喷出头以及打印机。压电元件包括:第一电极,其被设置于基体的上方;第一压电体层,其与所述基体相接,并被设置成覆盖所述第一电极;第二压电体层,其被设置于所述第一压电体层上;第二电极,其被设置于所述第二压电体层的上方,所述第一压电体层具有包括钾以及铌且A位的主要成分为钾的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述第二压电体层具有包括钾、钠以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述第一压电体层与所述第二压电体层相比,钾的原子浓度(atm%)较高。

    压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法

    公开(公告)号:CN107053848B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201611224574.2

    申请日:2016-12-27

    Abstract: 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件,具备第1电极;压电体层,该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜,上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌,上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌;以及第2电极,该第2电极形成在压电体层上,压电体层是多个压电体膜的层叠体,第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度,分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度,在第1电极侧高,在第2电极侧低。

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