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公开(公告)号:CN102180011A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201110003856.0
申请日:2011-01-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供液体喷头和液体喷射装置以及压电元件,其中液体喷头具有不含铅且绝缘性高能够抑制泄漏电流发生的压电元件。该液体喷头具备压力发生室和压电元件,其中上述压力发生室与喷嘴开口连通,上述压电元件具备:第1电极、形成在上述第1电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层、形成在上述压电体层上的第2电极,上述压电体层还含有钛。
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公开(公告)号:CN110957414B
公开(公告)日:2023-05-30
申请号:CN201910903870.2
申请日:2019-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/50 , H10N30/853 , H10N30/057 , H10N30/093 , B41J2/14
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公开(公告)号:CN112721450A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011144790.2
申请日:2020-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/01 , H01L41/09 , H01L41/047 , H01L41/18
Abstract: 本发明提供一种不使用镍酸镧作为取向控制层便能够控制包含钾、钠以及铌的压电体层的取向的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括被设置在基体上的第一电极、被设置在所述第一电极上且包括包含钾、钠以及铌的钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层、以及被设置在所述压电体层上的第二电极,所述第一电极是铂层,所述第一电极是(111)择优取向,所述第一电极的平均结晶粒径是200nm以上。
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公开(公告)号:CN110957414A
公开(公告)日:2020-04-03
申请号:CN201910903870.2
申请日:2019-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/187 , H01L41/277 , H01L41/39 , B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种难以产生裂纹的压电元件及其制造方法、液体喷出头以及打印机。压电元件包括:第一电极,其被设置于基体的上方;第一压电体层,其与所述基体相接,并被设置成覆盖所述第一电极;第二压电体层,其被设置于所述第一压电体层上;第二电极,其被设置于所述第二压电体层的上方,所述第一压电体层具有包括钾以及铌且A位的主要成分为钾的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述第二压电体层具有包括钾、钠以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述第一压电体层与所述第二压电体层相比,钾的原子浓度(atm%)较高。
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公开(公告)号:CN106229405B
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201610191495.X
申请日:2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备:第1电极(60);通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70);设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80),将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时,在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75),各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中,最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。
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公开(公告)号:CN107053848B
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201611224574.2
申请日:2016-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件,具备第1电极;压电体层,该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜,上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌,上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌;以及第2电极,该第2电极形成在压电体层上,压电体层是多个压电体膜的层叠体,第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度,分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度,在第1电极侧高,在第2电极侧低。
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公开(公告)号:CN108206237A
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201711094954.3
申请日:2017-11-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1873 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备,该压电元件在含Mn的KNN类压电材料中,明确了作为添加物而被包含在结晶中的Mn的价数的最佳状态,并且实现了压电体层的结晶取向性的提高,具有优异的绝缘性。该压电元件具备:第一电极,其被形成于基板上;压电体层,其被形成于所述第一电极上,并由含有钾(K)、钠(Na)、铌(Nb)以及锰(Mn)的钙钛矿结构的复合氧化物构成;第二电极,其被形成于所述压电体层上,其中,锰包括二价的锰(Mn2+)、三价的锰(Mn3+)、四价的锰(Mn4+),二价的锰相对于三价的锰与四价的锰之和的摩尔比(Mn2+/(Mn3++Mn4+))为1以上且10以下,且钾相对于钠的摩尔比(K/Na)为1.1以下。
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公开(公告)号:CN107053848A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201611224574.2
申请日:2016-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
CPC classification number: H01L41/27 , B41J2/14233 , B41J2/14274 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/0472 , H01L41/0805 , H01L41/083 , H01L41/1873 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件,具备第1电极;压电体层,该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜,上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌,上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌;以及第2电极,该第2电极形成在压电体层上,压电体层是多个压电体膜的层叠体,第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度,分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度,在第1电极侧高,在第2电极侧低。
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公开(公告)号:CN104253207B
公开(公告)日:2017-06-30
申请号:CN201410120033.X
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/06 , B41J2/045 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2202/03 , C04B35/462 , C04B35/4682 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3215 , C04B2235/3234 , C04B2235/3236 , C04B2235/3255 , C04B2235/3298 , C04B2235/441 , C04B2235/76 , C04B2235/765 , C04B2235/768 , H01L41/187 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H01L41/1878 , H02N2/001 , H02N2/181
Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置,上述压电材料可减少环境负担,在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高,并且居里温度也高。上述压电材料含有:第1成分,由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第2成分,由为菱面体以外的晶体的且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成;第3成分,由为与上述第2成分相同的晶系且居里温度为Tc3的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成,上述Tc1比上述Tc2高,上述Tc3为上述Tc1以上。
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公开(公告)号:CN106486595A
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201610740490.8
申请日:2016-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/045
Abstract: 一种压电元件,具备第1电极,利用溶液法形成于上述第1电极上且由含有钾、钠及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层,以及设置在上述压电体层上的第2电极,上述压电体层在通过θ-2θ测定得到的X射线衍射图案中具有来自(200)面的峰和来自(002)面的峰。
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