公开(公告)号：CN116330847A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202211639956.7

申请日：2022-12-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰 ,  酒井朋裕 ,  清水稔弘 ,  中山雅夫

IPC: B41J2/14

Abstract: 提供一种维持压电特性良好的同时抑制漏电流的压电元件及液体喷射头。压电元件包括：第一电极；氧化物层，形成在所述第一电极上；压电体层，形成在所述氧化物层上，并含有钾、钠以及铌；以及第二电极，形成在所述压电体层上，其中在所述第一电极和所述第二电极之间施加10V的电位差时，在以所述第一电极为高电位的情况下和在以所述第二电极为高电位的情况下，漏电流的电流密度相差10,000倍以上。

公开(公告)号：CN104075813B

公开(公告)日：2017-08-08

申请号：CN201410105589.1

申请日：2014-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 米村贵幸 ,  野田贵史 ,  土屋泰 ,  滨田泰彰

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/24

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34

Abstract: 本发明提供能够提高红外线传感器的灵敏度的红外线传感器和热检测元件。上述红外线传感器具备基于电阻值的变化来检测热的热检测元件，该热检测元件具备第1电极6、第2电极7以及设置于第1电极6和第2电极7之间且至少含有Bi和Fe的电介质膜8。

公开(公告)号：CN104250098A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410119623.0

申请日：2014-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  北田和也 ,  酒井朋裕 ,  滨田泰彰 ,  一色铁也 ,  木村里至 ,  伊藤彰雄 ,  半田恒雄

IPC: C04B35/462 ,  C04B35/495 ,  H01L41/187 ,  B41J2/045

CPC classification number: H01L41/16 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  C04B35/475 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  G10K9/122 ,  H01L41/047 ,  H01L41/08 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/187 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1878 ,  H02N2/001 ,  H02N2/181

Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，该压电材料降低环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，并且居里温度也高。其含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成，第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；上述Tc1与上述Tc2之差的绝对值｜Tc1-Tc2｜为50℃以下。

公开(公告)号：CN104249561A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410119238.6

申请日：2014-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  北田和也 ,  酒井朋裕 ,  滨田泰彰 ,  一色铁也 ,  木村里至 ,  伊藤彰雄 ,  半田恒雄

IPC: B41J2/045

CPC classification number: H01L41/183 ,  B41J2/055 ,  B41J2/14201 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3274 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/768 ,  C04B2237/76 ,  C04B2237/765 ,  G01H11/08 ,  H01L41/047 ,  H01L41/187 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1878 ,  H02N2/001 ,  H02N2/186

Abstract: 提供压电材料以及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，其减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，居里温度也高。含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度Tc1的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体晶以外的晶体且居里温度Tc2的钙钛矿型结构复合氧化物构成；第3成分，由为菱面体晶但与上述第1成分不同且居里温度Tc3的钙钛矿型结构复合氧化物构成，Tc2比Tc1高，Tc3为Tc2以上，（0.1×Tc1＋0.9×Tc2）的值为280℃以下。

公开(公告)号：CN104075813A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410105589.1

申请日：2014-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 米村贵幸 ,  野田贵史 ,  土屋泰 ,  滨田泰彰

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/24

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34

Abstract: 本发明提供能够提高红外线传感器的灵敏度的红外线传感器和热检测元件。上述红外线传感器具备基于电阻值的变化来检测热的热检测元件，该热检测元件具备第1电极6、第2电极7以及设置于第1电极6和第2电极7之间且至少含有Bi和Fe的电介质膜8。

公开(公告)号：CN102044628B

公开(公告)日：2014-03-12

申请号：CN201010517412.4

申请日：2009-04-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰 ,  木岛健

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/08 ,  B41J2/045

CPC classification number: H01L41/18 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1645 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明提供一种特性良好的非铅系压电材料。尤其是能够提高以Bi(Fe、Mn)O3及Ba(Zr、Ti)O3为基础的压电材料的特性。本发明的压电元件的特征在于，具有：第一电极(6)、配置于所述第一电极上的压电体膜(9)、配置于所述压电体膜上的第二电极(11)，其中，构成所述压电体膜的压电材料为由Bi(Fe、Mn)O3和Ba(Zr、Ti)O3的混合晶构成的压电材料，并由组成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3表示，且0＜x＜0.40、0.01＜y＜0.1及0≤u＜0.16。根据这样的构成，能够维持Bi(Fe1-yMny)O3的自发极化量及高居里温度，通过Ba(ZruTi1-u)O3能够实现压电特性的提高。

公开(公告)号：CN102189793A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110049735.X

申请日：2011-02-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 滨田泰彰

IPC: B41J2/045 ,  H01L41/083

CPC classification number: B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明提供对环境友好的液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。所述液体喷射头设有压电元件，所述压电元件具备压电体层和设置在上述压电体层的电极，该压电体层由含有以具有钙钛矿构造的铁酸锰酸铋作为主成分的钙钛矿型化合物和SiO2的压电材料形成。

公开(公告)号：CN100449688C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200610172525.9

申请日：2003-10-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木岛健 ,  滨田泰彰 ,  名取荣治 ,  大桥幸司

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/82 ,  H01L41/22

Abstract: 一种强电介质电容器的制造方法，包括：在所定的基体上形成下部电极的工序；在所述下部电极上形成由含有Pb、Zr、Ti和Nb作为构成元素的PZTN复合氧化物构成的强电介质膜的工序；在所述强电介质膜上形成上部电极的工序；形成保护膜，以覆盖所述下部电极、强电介质膜和上部电极的工序；和至少在形成所述保护膜之后，进行用于使所述PZTN复合氧化物结晶的热处理的工序。

公开(公告)号：CN100390100C

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200510134113.1

申请日：2005-12-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木岛健 ,  岩下节也 ,  滨田泰彰

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/632 ,  C04B35/624 ,  C09K11/02 ,  H01B3/12 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供一种含有用于形成铁电体的前驱体的前驱体组合物，上述铁电体用通式AB1-XCXO3表示，A元素至少由Pb构成，B元素由Zr、Ti、V、W和Hf中的至少一种构成，C元素由Nb和Ta中的至少一种构成，上述前驱体至少含有上述B元素和C元素，而且局部含有酯键，上述前驱体溶解或分散于有机溶剂中，上述有机溶剂至少含有第1醇、以及沸点和粘度比该第1醇高的第2醇。由此，采用液相法提供具有良好的组成控制性且使铅等金属成份的再利用成为可能的铁电体形成用前驱体组合物、该前驱体组合物的制造方法、和使用了前驱体组合物的铁电膜的制造方法。

公开(公告)号：CN1266746C

公开(公告)日：2006-07-26

申请号：CN200410028749.3

申请日：2004-03-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木岛健 ,  滨田泰彰 ,  名取荣治

IPC: H01L21/31 ,  H01L21/469 ,  C23C16/00 ,  H01L27/10

CPC classification number: H01L21/02197 ,  C23C16/409 ,  C30B25/02 ,  C30B29/32 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/31691 ,  H01L27/11502 ,  H01L27/11507 ,  H01L28/55

Abstract: 一种强电介质膜的形成方法，利用有机金属气相生长法，用来在由Pt构成的金属膜上形成由PZT系复合氧化物构成的强电介质膜，其中，首先开始供给Pb原料，在上述金属膜上形成Pb与Pt的合金膜；接着开始供给Ti原料，在上述合金膜上形成由PbTiO3构成的复合氧化物的初期结晶核；然后开始供给Zr原料，在上述初期结晶核的上部形成PZT系复合氧化物的结晶生长层。