-
公开(公告)号：KR1020110061242A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090117833
申请日：2009-12-01
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/0008
Abstract: PURPOSE: A deposition device and method for manufacturing organic light emitting element using the same are provided to improve the deposition property and deposition film uniformity by using a vacuum deposition method. CONSTITUTION: A deposition device comprises a base(101), a thermal insulating layer(102), a heating layer(103) and a partition wall(104). The thermal insulating layer is formed on the base. A heating layer is formed on the thermal insulating layer as stripe pattern in order to heat the depositing target material. The partition wall is formed on the thermal insulating layer and performs patterning the space which can arrange the depositing material on the heating layer. The thermal insulating layer comprises one selected from the group consisting of ZrO2, SiO2 and Al2O3. The thermal insulating layer is formed on the surface of which the base faces to the heating layer. The heating layer has a plurality of stripe patterns.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造使用其的有机发光元件的沉积装置和方法，以通过使用真空沉积方法来提高沉积性能和沉积膜均匀性。 构成：沉积装置包括基底（101），绝热层（102），加热层（103）和分隔壁（104）。 绝热层形成在基座上。 在绝热层上形成加热层作为条纹图案，以加热沉积靶材。 分隔壁形成在绝热层上，并且对可以将沉积材料布置在加热层上的空间进行图案化。 绝热层包括选自ZrO 2，SiO 2和Al 2 O 3的一种。 绝热层的基面朝向加热层的表面形成。 加热层具有多个条纹图案。
-
公开(公告)号：KR1020110016379A
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：KR1020100014273
申请日：2010-02-17
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , H01L51/0021
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition apparatus having a deposition mask is provided to minimize the phenomenon that the deposition material is deposited on a non-deposition area of a substrate by installing a deposition mask on an interval. CONSTITUTION: A first nozzle(120) is installed in front of an evaporation source(110). A first blocking assembly(130) is installed in front of the first nozzle. A second blocking assembly(140) is installed in front of the first blocking assembly. A second nozzle(150) is installed in front of the second blocking assembly. A substrate(160) is installed in front of the second nozzle.
Abstract translation: 目的：提供具有沉积掩模的薄膜沉积设备，以通过在间隔上安装沉积掩模来最小化沉积材料沉积在基底的非沉积区域上的现象。 构成：第一喷嘴（120）安装在蒸发源（110）的前面。 第一阻挡组件（130）安装在第一喷嘴的前面。 第二阻塞组件（140）安装在第一阻塞组件的前面。 第二喷嘴（150）安装在第二阻挡组件的前面。 衬底（160）安装在第二喷嘴的前面。
-
公开(公告)号：KR1020100132430A
公开(公告)日：2010-12-17
申请号：KR1020100012406
申请日：2010-02-10
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: B08B7/0035 , B08B7/0042 , B08B7/0057 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/67028 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A method for cleaning an organic and a cleaning system are provided to increase the preventive maintenance cycle of a deposition process by cleaning a mask while an organic deposition process is implemented. CONSTITUTION: A mask and a substrate are arranged in a deposition chamber(a1). An organic deposition process with respect to the substrate is repeatedly implemented(a2). The mask is transferred to a stock chamber. An organic accumulated on the mask is cleaned in the stock chamber(b). A scanning process is implemented along the boundary of a slot formed in the mask(c).
Abstract translation: 目的：提供清洁有机和清洁系统的方法，以在实施有机沉积过程时通过清洁面罩来增加沉积过程的预防性维护周期。 构成：掩模和衬底被布置在沉积室（a1）中。 重复实施相对于基板的有机沉积工艺（a2）。 面罩转移到储存室。 在坯料室（b）中清洁面罩上积聚的有机物。 沿着形成在掩模（c）中的槽的边界实现扫描处理。
-
公开(公告)号：KR1020100126126A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：KR1020090045201
申请日：2009-05-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L51/56 , H01L21/203
Abstract: PURPOSE: An apparatus for thin layer deposition is provided to improve the recycling ratio of deposition material by easily implementing the recycling work of deposition material by separating a first shielding wall from a second shielding wall assembly and a second nozzle. CONSTITUTION: A first nozzle(120) is arranged on a side facing a substrate(160) in an evaporation source(110). A second nozzle(150) is arranged to face the evaporation source. A first shielding assembly(130) comprising a first shielding wall(131) is arranged on one side of the first nozzle. A second shielding wall assembly(140) comprising a second shielding wall(141) is arranged on one side of the first shielding wall assembly.
Abstract translation: 目的：提供一种用于薄层沉积的装置，通过将第一屏蔽壁与第二屏蔽壁组件和第二喷嘴分开来容易地实现沉积材料的再循环工作来提高沉积材料的再循环率。 构成：第一喷嘴（120）布置在蒸发源（110）中面向衬底（160）的一侧。 第二喷嘴（150）布置成面对蒸发源。 包括第一屏蔽壁（131）的第一屏蔽组件（130）布置在第一喷嘴的一侧。 包括第二屏蔽壁（141）的第二屏蔽壁组件（140）布置在第一屏蔽壁组件的一侧上。
-
公开(公告)号：KR101127583B1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020100012406
申请日：2010-02-10
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 유기물 패턴을 증착하는 유기물 증착 공정에 사용되는 마스크의 세정 주기를 늘림으로써, 증착 공정의 PM 주기를 늘릴 수 있는 유기물 세정 방법 및 세정 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면은, 기판에 유기물 패턴을 증착하는데 사용되는 마스크의 표면에 축적된 유기물을 세정하는 방법으로서, (a) 증착원이 구비된 증착 챔버에서 복수 개의 슬롯이 구비된 마스크를 이용하여 상기 기판에 유기물 패턴을 증착하는 단계; (b) 상기 증착 챔버와 인접하며 진공이 유지되는 스톡 챔버로 상기 마스크를 이송하는 단계; 및 (c) 상기 스톡 챔버에서 상기 마스크에 구비된 슬롯의 경계면을 따라 상기 슬롯의 경계면에 축적된 유기물을 부분 세정하는 단계;를 포함하는 유기물 세정 방법을 제공한다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101117721B1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020090061152
申请日：2009-07-06
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: C23C14/24
Abstract: 본발명은증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 일방향을따라복수개의제1 슬릿들이형성되는제1 노즐; 상기증착원과대향되게배치되고, 상기일 방향을따라복수개의제2 슬릿들이형성되는제2 노즐; 상기제1 노즐과상기제2 노즐사이의공간을구획하도록상기일 방향을따라배치된복수개의차단벽들을구비하는차단벽어셈블리; 및상기차단벽어셈블리상에증착된상기증착물질을회수하는증착물질회수장치를포함하는박막증착장치및 박막증착방법을제공한다.
-
公开(公告)号：KR101097327B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020100001311
申请日：2010-01-07
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: B23K26/073 , B23K26/206 , C03C27/06 , H01L51/448 , H01L51/5246 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 본발명의일 측면은, 제1 기판과제2 기판사이에배치된밀봉부에레이저빔을조사하여상기제1 기판및 상기제2 기판을밀봉하는데사용되는레이저빔 조사장치에있어서, 상기레이저빔의중앙부는, 빔중앙부로갈수록빔 세기(beam intensity)가증가하는제1 빔프로파일(beam profile)을가지고, 상기레이저빔의주변부는, 상기제1 빔프로파일이조사되는영역에그 중심이포함되고, 상기제1 빔프로파일주변부에대칭적으로분포되며, 각각의빔 세기가동일한복수개의제2 빔프로파일들(beam profiles)을가지며, 상기제1 빔프로파일과상기복수개의제2 빔프로파일들은전체적으로상기제1 빔프로파일의중심점에대하여대칭적분포를이루면서상호동조화되어움직이는것을특징으로하는레이저빔 조사장치를제공한다.
-
公开(公告)号：KR101084254B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020100005976
申请日：2010-01-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L51/52
Abstract: 유기 발광 소자가 형성된 제1 기판과, 제1 기판에 합착되는 제2 기판을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 장치에 있어서, 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 하나의 기판에 장착되어, 적어도 하나의 기판과의 사이에 밀폐 공간을 형성하는 캐비티 부재와, 캐비티 부재에 연결되어 밀폐 공간의 압력을 조절하는 압력 조절 부재를 포함한다.
-
公开(公告)号：KR1020110120700A
公开(公告)日：2011-11-04
申请号：KR1020100040231
申请日：2010-04-29
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/04
Abstract: PURPOSE: A mask frame assembly is provided to stably make a minute patterning using for a vapor deposition by preventing a wrinkle even if a mask is stretched and is fixed on a frame. CONSTITUTION: A mask frame assembly comprises a frame, a mask(10) and a tension applying unit(12). The mask equips a deposition pattern and is extendedly installed in the frame in a first direction(A). The tension applying unit is installed in the mask in order that the tension is acted to the first direction and the second direction. The tension applying unit adds a tension to the mask in the second direction(B) through the tension of first direction. The tension applying unit is a negative Poisson's ratio member.
Abstract translation: 目的：提供一种面罩框架组件，用于通过防止皱纹即使荫罩被拉伸并固定在框架上来稳定地进行用于气相沉积的微小图案化。 构成：面罩框架组件包括框架，面罩（10）和张力施加单元（12）。 掩模配备沉积图案，并沿第一方向（A）延伸安装在框架中。 张力施加单元安装在面罩中，以使张力作用于第一方向和第二方向。 张力施加单元通过第一方向的张力向第二方向（B）向掩模增加张力。 张力施加单位是负泊松比构件。
-
公开(公告)号：KR101074807B1
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：KR1020090122538
申请日：2009-12-10
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/5246 , H01L2251/558
Abstract: 본발명은기판; 상기기판상에배치되는디스플레이부; 상기디스플레이부상부에배치되는봉지기판; 및상기기판과상기봉지기판을접합시키며, 그내부에필러(filler)를포함하는실런트를포함하고, 상기실런트의두께(t)가상기필러의크기(d)보다크도록형성되는것을특징으로하는유기발광디스플레이장치를제공한다.
Abstract translation: 基板本发明涉及基板， 显示单元，设置在基板上; 设置在显示器升降单元上的封装基板; 以及在基板和密封基板中包括填充物的密封剂，其中密封剂的厚度t大于虚拟基底填充物的尺寸d。 提供了一种有机发光显示装置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
62
records
(took 0.023 seconds)
