유기막 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법
    31.
    发明公开
    유기막 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법 审中-实审
    用于抛光有机层的CMP组合物和使用组合物形成半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR1020150010570A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:KR1020140056408

    申请日:2014-05-12

    CPC classification number: C09K3/1409 H01L21/31051 H01L21/31058

    Abstract: 본 발명은 유기막 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법을 제공한다. 이 CMP 슬러리 조성물은 산화물 연마입자를 0.001~5 중량%로; 산화제를 0.1~5 중량%로; 연마조절제를 0~5 중량%로; 계면활성제를 0~3 중량%로; pH 조절제를 0~3 중량%로; 그리고 탈이온수를 79~99.889 중량%로 포함한다. 이 CMP 슬러리 조성물은 산화막에 대하여 6:1 이상의 우수한 선택비로 실리콘을 포함하지 않는 유기막을 연마할 수 있다.

    Abstract translation: 在本发明中提供了一种用于抛光有机层的CMP浆料组合物和使用其的半导体器件的制造方法。 CMP浆料组合物包含0.001-5重量%的氧化物抛光颗粒; 0.1-5重量%的氧化剂; 0-5重量%的抛光控制剂; 0-3重量%的表面活性剂; 0-3重量%的pH控制剂; 和79-99.889重量%的去离子水。 对于氧化层,CMP浆料组合物可以以优选的6:1或更高的选择比来抛光不含硅氧烷的有机层。

    연마용 슬러리 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법
    32.
    发明公开
    연마용 슬러리 및 이를 이용하는 반도체 장치의 제조 방법 无效
    抛光浆和使用其制造半导体器件的方法

    公开(公告)号:KR1020120019242A

    公开(公告)日:2012-03-06

    申请号:KR1020100082541

    申请日:2010-08-25

    CPC classification number: H01L21/3212 C09G1/02 C09K3/1409 C09K3/1463

    Abstract: PURPOSE: Polishing slurry is provided to prevent the corrosion of an aluminum film, to minimize the surface scratch, and to reduce the abrasion ratio of an aluminum film to an insulation film, thereby preventing the dishing or the settlement of an aluminum foil generated during a damascene process, etc. CONSTITUTION: Polishing slurry comprises an abrasive, an oxidizer, an antti-corrosive agent, and an anionic compound as a abrasion speed reducing agent, which has negative charge in the slurry. A manufacturing method of the semiconductor device comprises: a step of forming an insulative layer having trench inside on a substrate; a step of forming an aluminum layer arranged on the insulative layer with burying the trench; and a step of polishing the aluminum film to expose the insulative layer by using the slurry.

    Abstract translation: 目的:提供抛光浆料以防止铝膜的腐蚀,最小化表面划痕,并降低铝膜与绝缘膜的磨损率,从而防止铝箔产生的凹陷或沉积 镶嵌工艺等。构成:抛光浆料包括研磨剂,氧化剂,抗腐蚀剂和作为减磨剂的阴离子化合物,其在浆料中具有负电荷。 半导体器件的制造方法包括:在衬底上形成具有沟槽内部的绝缘层的步骤; 在所述绝缘层上形成布置在所述沟槽上的铝层的工序; 以及通过使用该浆料来抛光铝膜以使绝缘层露出的步骤。

    냉장고 및 그 제어방법
    35.
    发明公开
    냉장고 및 그 제어방법 无效
    其制冷机及其控制方法

    公开(公告)号:KR1020070053939A

    公开(公告)日:2007-05-28

    申请号:KR1020050111786

    申请日:2005-11-22

    CPC classification number: F25B49/025 F25B2600/021 Y02B30/741

    Abstract: 본 발명은 냉장고 및 그 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 압축기를 갖는 냉장고는, 상기 압축기를 구동시키는 모터와; 상기 모터에 전원을 공급하는 모터구동부와; 상기 모터구동부에 제2지령속도에 대한 제어신호를 출력하고, 상기 모터구동부의 구동온/오프비가 기설정된 기준구동온/오프비 이하의 값으로 소정의 기준시간 동안 유지되는 경우, 상기 제2지령속도보다 높은 제1지령속도에 대한 제어신호를 상기 모터구동부에 출력하는 제어부를 포함한다. 이에 의해 과부하 또는 저전압 조건에서 압축기를 안정적이고 용이하게 구동시킬 수 있는 냉장고 및 그 제어방법이 제공된다.

    모터 제어 장치, 그 제어방법 및 인버터부의 고장검출장치
    36.
    发明公开
    모터 제어 장치, 그 제어방법 및 인버터부의 고장검출장치 无效
    电机控制器及其控制方法及逆变器缺陷检测装置

    公开(公告)号:KR1020070021573A

    公开(公告)日:2007-02-23

    申请号:KR1020050075945

    申请日:2005-08-18

    CPC classification number: H02H7/0833 H02H3/04 H02H7/093 H02P2205/01

    Abstract: 본 발명은 모터 제어 장치 및 그 제어방법과 인버터부의 고장검출장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 모터 제어 장치는, 직류전압을 공급하는 전원공급부와; 상기 직류전압을 교류전압으로 변환하여 상기 모터에 공급하는 인버터부와; 상기 전원공급부와 상기 인버터부를 연결하는 션트저항과; 경고 메세지를 표시하기 위한 표시부와; 상기 모터를 구동하도록 상기 인버터부에 제어신호를 인가한 후 상기 션트저항의 양단전압의 크기가 소정의 제1기준값보다 작다고 판단하는 경우 상기 인버터부의 고장발생을 상기 표시부에 표시하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 인버터부의 단선 또는 단락 등의 고장 여부를 보다 용이하고 정확하게 검출할 수 있다.

    BLDC모터 제어장치 및 그 제어방법
    37.
    发明公开
    BLDC모터 제어장치 및 그 제어방법 无效
    BLDC电动机控制器及其控制方法

    公开(公告)号:KR1020060118877A

    公开(公告)日:2006-11-24

    申请号:KR1020050041297

    申请日:2005-05-17

    CPC classification number: H02P6/182 H02M7/48 H02P6/08 H02P6/10 H02P6/17

    Abstract: A BLDC motor controller and a control method thereof are provided to minimize torque ripple by adjusting phase change time of a BLDC motor. In a BLDC motor controller having a stator and a rotor, an inverter part(10) converts a DC voltage into an AC voltage and then supplies the AC voltage to a BLCD motor(50). A position detection part(20) detects rotation position of the rotor. A storing part(30) stores a plurality of delay angles. A control part(40) judges rotation speed of the rotor and reference time according to the detection result of the position detection part, and controls the inverter part in order to change the phase of the AC voltage at the time delayed as much as a delay angle corresponding to a duty ratio of a PWM signal.

    Abstract translation: 提供BLDC电动机控制器及其控制方法,通过调整BLDC电动机的相变时间来最小化转矩脉动。 在具有定子和转子的BLDC电动机控制器中,逆变器部(10)将直流电压转换为交流电压,然后将交流电压提供给BLCD电动机(50)。 位置检测部(20)检测转子的旋转位置。 存储部(30)存储多个延迟角。 控制部(40)根据位置检测部的检测结果来判定转子的旋转速度和基准时间,并且控制逆变器部,以便在延迟多达延迟的时间改变AC电压的相位 对应于PWM信号的占空比的角度。

    샘플링 회로와 광감지 장치
    39.
    发明公开
    샘플링 회로와 광감지 장치 有权
    采样电路,采样方法和照相检测装置

    公开(公告)号:KR1020120059713A

    公开(公告)日:2012-06-11

    申请号:KR1020100121106

    申请日:2010-12-01

    Abstract: PURPOSE: A sampling circuit, a sampling method, and an optical sensing apparatus are provided to minimize interference due to offset in case a signal of a unit cell is weak. CONSTITUTION: An offset compensation reference signal generating unit(30a) inputs a first signal including offset information. The offset compensation reference signal generating unit compensates for the offset information of a reference signal. The offset compensation reference signal generating unit generates the compensated reference signal. A comparing unit(21) inputs a second signal including data information.

    Abstract translation: 目的:提供采样电路,采样方法和光学感测装置,以在单元的信号较弱的情况下最小化由于偏移引起的干扰。 构成:偏移补偿参考信号生成单元(30a)输入包括偏移信息的第一信号。 偏移补偿参考信号生成单元补偿参考信号的偏移信息。 偏移补偿基准信号生成部生成补偿基准信号。 比较单元(21)输入包括数据信息的第二信号。

    3상 BLDC 모터의 제어장치 및 3상 BLDC모터의제어방법
    40.
    发明授权
    3상 BLDC 모터의 제어장치 및 3상 BLDC모터의제어방법 有权
    三相BLDC电动机控制器及其控制方法

    公开(公告)号:KR100774006B1

    公开(公告)日:2007-11-08

    申请号:KR1020050056626

    申请日:2005-06-28

    CPC classification number: H02P6/182 H02P6/15

    Abstract: 본 발명은 3상 BLDC 모터의 제어장치 및 3상 BLDC 모터의 제어방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3상 BLDC 모터의 제어방법은, 상기 3상 중 어느 두개의 상에 전류가 흐르도록 하여 상기 3상 BLDC 모터 회전자를 정렬하는 단계와; (b) 상전환을 통해 상기 회전자를 회전시키는 단계와; (c) 비여자상에서 상기 회전자의 회전에 따라 발생하는 유도기전압의 부호가 최초로 바뀌는 위치검출시점을 검출하는 단계와; (d) 상기 위치검출시점에 검출되는 상기 비여자상의 유도기전압의 크기를 측정하고, 측정된 상기 유도기전압의 크기에 기초하여 상기 회전자의 회전속도를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여 3상 BLEC 모터의 초기 구동시에 회전자의 회전 속도를 판단하기 위한 회전자의 위치검출시점을 정확하게 검출할 수 있고, 정확한 위치검출시점에 검출된 비여자상의 유도기전압을 기초로 회전자의 정확한 회전속도를 산출할 수 있다.

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