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公开(公告)号：KR1020080085543A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：KR1020070027224
申请日：2007-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L23/544 , H01L22/34 , H01L2924/0002 , G03F7/70633 , H01L2223/54453 , H01L2924/00
Abstract: An overlay mark of a semiconductor device and a semiconductor device comprising the same overlay mark are provided which have three or more layers can be aligned with providing efficient space utilization, mis-registration(MR) can be measured with accuracy based on the influence of the aberrations. An overlay mark(100) comprises at least one reference mark(110,120, 130,140) in rectangular shape, in which fine pattern is formed on each side of the rectangle; and a comparative mark(115,125,135,145), provided in the same number as the reference mark and in a rectangular shape smaller than the reference mark, in which fine patterns are formed on all sides, wherein the reference mark and the comparative mark are formed on different thin layers on a semiconductor substrate to allow inspection of the alignment between respective thin layers on the semiconductor substrate, and influence due to aberrations of the patterns within a memory cell can be taken into account during mis-registration(MR) computation based on the fine patterns formed on the reference and comparative marks.
Abstract translation: 提供半导体器件的覆盖标记和包括相同覆盖标记的半导体器件，其具有三层或更多层可以与提供有效的空间利用相对准，可以基于以下因素的影响来精确地测量误配准（MR） 像差。 覆盖标记（100）包括矩形形状的至少一个参考标记（110,120,130,140），其中在矩形的每一侧上形成精细图案; 和比较标记（115,125,135,145），其与参考标记相同的数字，并且小于参考标记的矩形，其中在所有侧面上形成精细图案，其中参考标记和比较标记形成在不同的 在半导体衬底上的薄层可以考虑半导体衬底上的各个薄层之间的对准以及由于存储单元内的图案的像差引起的影响，可以基于精细的错误对准（MR）计算来考虑 图案形成在参考和比较标记上。
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公开(公告)号：KR1020070047535A
公开(公告)日：2007-05-07
申请号：KR1020050104384
申请日：2005-11-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 장비의 웨이퍼 관리 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 복수의 로딩 포트를 가지는 반도체 제조 장비에서 작업이 진행되는 웨이퍼의 상태를 실시간으로 모니터에 표시하는 반도체 제조 장비의 웨이퍼 관리 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체 제조 장비의 웨이퍼 관리 방법은 복수의 로딩 포트에 웨이퍼를 로딩하고, 순차적으로 상기 웨이퍼를 작업 챔버로 이송하여 상기 웨이퍼에 대한 작업을 실시하는 반도체 제조 장비의 웨이퍼 상태를 실시간으로 모니터에 표시하는 것으로서, 상기 웨이퍼가 로딩된 상기 로딩 포트의 위치에 따라 구별되게 상기 웨이퍼의 상태를 모니터에 표시하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 모니터 상에 웨이퍼가 로딩된 로딩 포트를 구분하여 웨이퍼를 표시하기 때문에 복수의 로딩 포트를 가지는 반도체 제조 장비에서 에러가 발생하는 경우 복수의 로딩 포트 사이에 웨이퍼가 섞이는 것을 방지하는 효과가 있다.
모니터, 로딩 포트, 웨이퍼, 관리 방법-
公开(公告)号：KR100669865B1
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：KR1020000042686
申请日：2000-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조정희
IPC: H01L21/304
Abstract: 이물질 세척장치를 구비한 반도체 제조 장치가 개시되어 있다. 상기 세척 장치는 스테퍼의 웨이퍼 운송 스테이지로 이송된 웨이퍼를 향해 에어를 분사하여 웨이퍼에 묻어있는 이물질을 상기 웨이퍼로부터 이탈시키는 에어 분사장치 및 상기 에어 분사장치에 의해 이탈된 이물질을 흡입하여 외부로 배출시키는 이물질 흡입장치를 구비한다. 상기 에어 분사장치는 에어 공급원으로부터 에어를 공급받으며, 공급되는 에어의 압력은 레귤레이터에 의해 조절된다. 상기 레귤레이터를 통과한 에어에 포함된 불순물을 여과시킬 수 있도록 필터가 설치되어 있으며, 상기 웨이퍼의 저부에는 상기 웨이퍼의 저면을 향해 에어를 분사하는 에어 샤워부가 배치된다. 상기 이물질 흡입장치는 상기 에어 샤워부에 인접 배치되어 웨이퍼로부터 이탈된 이물질을 흡입하는 진공 덕트를 구비한다. 상기 세척장치는 레티클 세척 스테이지에도 제공되어 레티클에 묻어있는 이물질을 제거한다. 사전 세척 효과로 인해 제품의 불량을 감소시킬 수 있으며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020000065491A
公开(公告)日：2000-11-15
申请号：KR1019990011828
申请日：1999-04-06
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조정희
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70591 , G03F1/44 , G03F1/70 , G03F7/7085 , G03F9/7084
Abstract: PURPOSE: A method is provided to correct a grid of an exposure apparatus by calculating an offset value between an expected value and a measured value of a grid pattern, which is obtained using an instrument instead of the exposure apparatus itself. CONSTITUTION: A method of correcting a grid of an exposure apparatus comprises forming a first exposed portion by exposing a center part of a semiconductor wafer, on which a photoresist film is coated, with the first pitch in an x-axis direction using a grid reticle. A second exposed portion is formed by exposing a part of the wafer, which is spaced apart from the first exposed portion in a y-axis direction, with the first pitch in the x-axis direction using the grid reticle. A plurality of first inspection patterns and a plurality of inspection patterns are formed by developing the first and second exposed portions. An optical error component of each of the first and second inspection patterns is corrected in an inspection machine which is capable of measuring the first and second inspection patterns. Positions of the first and second inspection patterns are measured by an interval of 5 mm by use of the inspection machine, and the exposure apparatus is corrected by calculating an offset value between the measured value and an expected value.
Abstract translation: 目的：提供一种通过计算使用仪器而不是曝光设备本身获得的网格图案的期望值和测量值之间的偏移值来校正曝光设备的网格的方法。 构成：对曝光装置的格栅进行校正的方法包括：通过使用栅格掩模版，在x轴方向上以第一间距曝光在其上涂覆有光致抗蚀剂膜的半导体晶片的中心部分来形成第一曝光部分 。 第二曝光部分通过使用栅格光栅将在第一曝光部分沿y轴方向与第一间距在x轴方向上间隔开的一部分晶片曝光而形成。 通过显影第一和第二曝光部分形成多个第一检查图案和多个检查图案。 在能够测量第一和第二检查图案的检查机中校正第一和第二检查图案中的每一个的光学误差分量。 通过使用检查机，以5mm的间隔测量第一和第二检查图案的位置，并且通过计算测量值和期望值之间的偏移值来校正曝光装置。
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公开(公告)号：KR1019990081286A
公开(公告)日：1999-11-15
申请号：KR1019980015135
申请日：1998-04-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조정희
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명의 오버레이 측정 장치의 데이터 처리 방법은 여러장의 웨이퍼를 한 번에 오버레이 측정 장치에서 오버레이 측정을 수행하는 단계와, 상기 오버레이 측정된 데이터를 오버레이 측정 장치의 구룹홈 디렉토리에 저장하는 단계와, 상기 그룹홈 디렉토리에 저장된 데이터를 가공하여 웨이퍼별로 분리하는 단계와, 상기 분리된 데이터들을 사용자가 원하는 데로 가공함과 동시에 상기 그룹홈 디렉토리에서 저장된 소오스 데이터를 삭제하고 개인 디렉토리로 이동시키는 단계를 포함한다. 이로써, 그룹홈 디렉토리에는 전 데이터의 소오스가 되는 파일인식 이름이 삭제되어 데이터의 혼돈을 방지할 수 있고 그룹홈 디렉토리를 잘 관리할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160034550A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：KR1020140125437
申请日：2014-09-22
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H03K19/0005 , H03K19/0013
Abstract: 스토리지컨트롤러는제1 온-다이터미네이션(on-die termination, 이하 ODT) 회로, 제2 ODT 회로및 ODT 제어회로를포함한다. 상기제1 ODT 회로는데이터스트로브신호가전달되는스트로브신호라인에제1 종단저항을제공한다. 상기제2 ODT 제어회로는데이터가전달되는적어도하나의데이터라인에제2 종단저항을제공한다. 상기 ODT 제어회로는상기제1 ODT 회로와상기제2 ODT 회로의활성화와비활성화를개별적으로제어한다.
Abstract translation: 本发明提供一种能够降低功耗的存储控制器。 存储控制器包括：向接收数据选通信号的选通信号线提供第一终端电阻的第一管芯内端子（ODT）电路; 向接收数据的至少一个数据线提供第二终端电阻的第二ODT电路; 以及分别控制第一ODT电路和第二ODT电路的激活和去激活的ODT控制电路。
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公开(公告)号：KR1020150062811A
公开(公告)日：2015-06-08
申请号：KR1020130147830
申请日：2013-11-29
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04W52/0264 , H04M2001/0204 , H04W52/0251 , H04W52/0261 , H04W52/0277 , Y02D70/00 , Y02D70/142 , Y02D70/144 , Y02D70/164 , Y02D70/166
Abstract: 사용자로하여금모바일단말기의잔여전력을효율적으로관리할수 있도록상기사용자에게안내하는모바일단말기및 그의전력관리방법을제공한다. 본발명에따른전력관리방법은, 전력관리모드가실행되면, 잔여전력량이기준전력이하인지여부를판단하는과정과, 상기잔여전력량이기준전력이하인경우, 상기잔여전력량을기초로사용자에게제공할가이드데이터를생성하는과정과, 상기가이드데이터를표시하는과정을포함한다.
Abstract translation: 提供了一种用于引导用户以使得用户能够有效地管理移动终端的剩余电力的移动终端，以及用于管理该电力的方法。 根据本发明的方法包括以下步骤：当执行电力管理模式时，确定剩余电量是否等于或小于标准电力; 当剩余电量等于或小于标准电力时，基于剩余电量产生要提供给用户的指导数据; 并显示指南数据。
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公开(公告)号：KR1020140144439A
公开(公告)日：2014-12-19
申请号：KR1020130066374
申请日：2013-06-11
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A47L9/1683
Abstract: 청소기는 청소기 본체, 개구가 형성된 집진케이스와, 개구를 개폐하는 배출커버와, 배출커버 일단에 돌출된 걸림부재를 갖고, 청소기 본체에 결합되어 공기중의 오물을 집진하는 집진장치, 집진케이스 일측에서 배출커버를 선택적으로 구속하여 개구의 개폐를 제어하는 레버를 갖는 개폐유닛을 포함하고, 레버는, 집진케이스와 레버힌지축을 중심으로 힌지결합되어 힌지회동하는 레버몸체, 레버몸체에 마련되어 걸림부재를 구속하는 고정돌기, 레버몸체에 마련되어 고정돌기가 걸림부재의 구속을 해제시 걸림부재를 밀어내는 푸싱돌기를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성으로 손쉽게 집진장치를 개폐할 수 있고, 배출커버가 집진케이스에 걸려서 열리지 않는 것을 방지할 수 있다.
Abstract translation: 吸尘器包括：主吸尘器主体; 具有形成开口的集尘箱; 打开和关闭所述开口的排出盖; 在所述排出盖的一端突出的锁定构件; 一个集尘器，耦合到主吸尘器主体以收集大气中的污染物; 开闭单元，其具有选择性地从所述集尘箱的一侧限制所述排出盖以控制所述开口的打开和关闭的杠杆，其中所述杠杆包括通过铰链相对于所述收集壳体联接到所述集尘箱的杠杆体， 杠杆铰链轴旋转; 固定突起，其设置在所述杠杆体上以约束所述锁定构件; 以及当所述固定突起停止约束所述锁定构件时，设置在所述杆体上的推动突起以推动所述锁定构件。 因此，集尘器可以容易地打开和关闭; 并且防止了由于锁定在集尘箱上而使排出盖未打开的情况。
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公开(公告)号：KR1020060070001A
公开(公告)日：2006-06-23
申请号：KR1020040108616
申请日：2004-12-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조정희
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70616 , G03F7/2022 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 제조 방법은 반도체 웨이퍼 상에 포토레지스트 막을 형성한 후, 상기 반도체 웨이퍼의 에지 부위 및 중심 부위를 각각 노광 및 현상하여 상기 포토레지스트 막을 선택적으로 제거한다. 오버레이 계측 설비에서 상기 반도체 웨이퍼의 층간 오버레이 및 상기 반도체 웨이퍼의 에지 폭을 인시튜로 측정한다. 따라서 상기 반도체 웨이퍼의 에지 폭 측정을 위한 별도의 설비 없이 상기 웨이퍼 에지 폭을 정확하게 측정할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060061501A
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：KR1020040100276
申请日：2004-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 조정희
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70633 , G03F9/7034
Abstract: 본 발명은 정확한 오버레이 측정 및 보상을 위한 오버레이 측정 시스템 및 오버레이 측정방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 오버레이 측정 시스템은. 얼라인 여부를 판단하기 위해 오버레이를 측정하고, 측정된 값에 따라 얼라인 여부를 판단하여 이를 보상하는 오버레이 측정부와; 상기 오버레이 측정부에서 오버레이를 측정하기 전에 오버레이 마크의 틸트 성분을 측정하고 이를 분석하여 틸트 발생 여부를 판단하고 이를 보상하기 위한 오토 레벨링부를 구비한다. 본 발명에 따르면, 오버레이 측정의 신뢰도를 개선할 수 있으며, 공정불량을 방지 또는 최소화할 수 있다.
오버레이, 틸트, 보상, 마크
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