公开(公告)号：KR101685367B1

公开(公告)日：2016-12-12

申请号：KR1020150187853

申请日：2015-12-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: C23C16/22 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455

Abstract: 다중전구체를함유하는무기박막의제조방법및 상기무기박막의제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种含有多种前体的无机薄膜的制造方法和无机薄膜的制造装置。 本发明提供一种无机薄膜的制造方法，其特征在于，包括：使用原料气体和反应气体等离子体处理基材; 在原料气体的基础上形成无机薄膜，反应气体在原料的热分解温度以下的温度下加热，从而在基材的表面反应。

公开(公告)号：KR101685366B1

公开(公告)日：2016-12-12

申请号：KR1020150187842

申请日：2015-12-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/22

Abstract: 무기박막의고속증착방법및 상기무기박막의고속증착을위한제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及无机薄膜的高效率沉积方法和无机薄膜的高速沉积的制造装置。 本发明提供一种无机薄膜的制造方法，其特征在于，包括：使用原料气体和反应气体等离子体处理基材; 在基材上形成无机薄膜作为原料气体，反应气体在基材的表面上反应。

公开(公告)号：KR1020150090866A

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：KR1020150014611

申请日：2015-01-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정호균 ,  조덕수 ,  김대경 ,  조성민 ,  채희엽 ,  윤대호

IPC: H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/5262 ,  H01L51/56

Abstract: 차세대유연고체조명을위한기능성입자층및 상기기능성입자층의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于下一代柔性固态照明的功能性颗粒层和功能性颗粒层的制造方法。 功能性粒子层包括在粘合性聚合物层中形成的粒子层，其中，粒子包括荧光体，非荧光体，或荧光体与非荧光体的混合物。

公开(公告)号：KR101491762B1

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：KR1020140089854

申请日：2014-07-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  박화선 ,  정호균 ,  조성민 ,  유지범

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/06 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/30 ,  C23C16/44

Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 기재가 로딩되는 기재 로딩부, 기재 로딩부에 결합되어 기재를 교번 이동시키는 기재 수송부, 및 기재 상에 박막을 증착하는 박막 증착부를 포함한다. 이때, 박막 증착부는 복수의 플라즈마 모듈을 포함하고, 각각의 플라즈마 모듈 사이에 배치되어 또는 하강하는 동작을 통해 서로 인접한 플라즈마 발생 모듈 하부의 공간을 연결 또는 차단시키는 격리부를 포함하며, 기재 수송부가 기재 로딩부를 교번 이동하여 기재상에 박막이 증착된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种薄膜沉积装置。 用于薄膜的装置包括：基本材料装载单元，其中装载基本材料; 与基本材料装载单元结合的基本材料运输单元，交替地转移基础材料; 以及将薄膜沉积在基材上的薄膜沉积单元。 薄膜沉积单元包括多个等离子体模块和布置在每个等离子体模块之间的隔离单元，并且通过下降运动连接或阻挡彼此相邻的等离子体发生模块的下部。 当基本材料运输单元交替地传送基本材料装载单元时，薄膜沉积在基本材料上。

公开(公告)号：KR101473464B1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：KR1020140097414

申请日：2014-07-30

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/314

CPC classification number: H01L21/02271 ,  C23C16/22 ,  C23C16/455 ,  H01L21/324

Abstract: 무기박막의 제조방법 및 상기 무기박막의 제조장치에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及无机薄膜的制造方法和装置。 根据本发明的实施方式的无机薄膜的制造方法包括以下步骤：使用硅源和反应性气体交替地处理具有等离子体的基材; 以及通过使所述基材的表面与所述硅源和所述反应性气体反应而在所述基材上形成所述无机薄膜。 硅源包括硅前体和惰性气体。

公开(公告)号：KR1020140130016A

公开(公告)日：2014-11-07

申请号：KR1020140015730

申请日：2014-02-11

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 조성민 ,  정호균 ,  채희엽 ,  서상준 ,  서승우

IPC: H01L51/00

Abstract: 본원은, 초극유연성 다층 봉지 박막, 상기 다층 봉지 박막의 제조 방법, 및 상기 다층 봉지 박막의 제조 장치에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种超柔性封装薄膜。 更具体地说，本发明涉及超柔性封装薄膜以及制造超柔性封装薄膜的方法。 根据本发明的实施方案的超柔性封装薄膜包括在基板上形成的金属氧化物的无机薄膜和包含在无机薄膜上形成的聚合物的有机薄膜。 根据本发明实施例的多层封装薄膜包括由无机薄膜和有机薄膜组成的层。 根据本发明的实施方案，无机薄膜的单层具有0.1nm至20nm的厚度。

公开(公告)号：KR1020140056117A

公开(公告)日：2014-05-09

申请号：KR1020130131982

申请日：2013-11-01

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 정호균 ,  조덕수 ,  김봉성 ,  조성민 ,  유민선

IPC: H01L51/50 ,  H01L51/56

CPC classification number: H01L51/56 ,  H01L51/0024 ,  H01L51/5012

Abstract: A method for manufacturing an organic light emitting device (OLED) arranges at least one surface of an OLED and an inorganic phosphor to contact each other, joins the OLED and the inorganic phosphor together through a roll-to-roll process, and obtains the OLED having the inorganic phosphor as a color conversion layer. Reliability can be enhanced by reducing the influence of external factors by joining the OLED and the inorganic phosphor through the roll-to-roll process.

Abstract translation: 有机发光器件（OLED）的制造方法将OLED和无机荧光体的至少一个表面配置成彼此接触，通过卷对卷方法将OLED和无机荧光体连接在一起，并获得OLED 具有无机磷光体作为颜色转换层。 可以通过降低外部因素的影响来增强可靠性，方法是通过卷对卷方法连接OLED和无机磷光体。