公开(公告)号：WO2016010185A1

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：PCT/KR2014/007152

申请日：2014-08-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  박화선 ,  정호균 ,  조성민 ,  유지범

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/06 ,  C23C16/30

CPC classification number: C23C16/06 ,  C23C16/30 ,  C23C16/44

Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로서, 기재가 로딩되는 기재 로딩부, 기재 로딩부에 결합되어 기재를 교번 이동시키는 기재 수송부, 및 기재 상에 박막을 증착하는 박막 증착부를 포함한다. 이때, 박막 증착부는 복수의 플라즈마 모듈을 포함하고, 각각의 플라즈마 모듈 사이에 배치되어 또는 하강하는 동작을 통해 서로 인접한 플라즈마 발생 모듈 하부의 공간을 연결 또는 차단시키는 격리부를 포함하며, 기재 수송부가 기재 로딩부를 교번 이동하여 기재상에 박막이 증착된다.

Abstract translation: 薄膜沉积装置技术领域本发明涉及一种薄膜沉积装置，包括：基板装载单元，其上装载有基板; 耦合到所述衬底装载单元以交替地移动所述衬底的衬底承载单元; 以及用于在基板上沉积薄膜的薄膜沉积单元。 这里，薄膜沉积单元包括：多个等离子体模块; 以及用于通过布置在等离子体模块之间或通过下降操作来彼此相邻的等离子体发生模块之间的空间连接或阻挡隔离部分，其中基板承载单元交替地移动基板加载单元，从而在基板上沉积薄膜 。

公开(公告)号：WO2015093699A1

公开(公告)日：2015-06-25

申请号：PCT/KR2014/004941

申请日：2014-06-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단 ,  주식회사 에프에스티 ,  삼성전자 주식회사

Inventor： 유지범 ,  김슬기 ,  김문자 ,  장명식 ,  유장동 ,  조상진

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/22

CPC classification number: G03F1/64 ,  G03F1/22 ,  G03F1/62

Abstract: 본원은 흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外光刻的防护薄膜，包括含石墨的薄膜。

公开(公告)号：WO2012008789A9

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：PCT/KR2011/005213

申请日：2011-07-15

Applicant: 성균관대학교산학협력단 ,  삼성테크윈 주식회사 ,  홍병희 ,  안종현 ,  유지범 ,  배수강 ,  정명희 ,  장호욱 ,  이영빈 ,  김상진

Inventor： 홍병희 ,  안종현 ,  유지범 ,  배수강 ,  정명희 ,  장호욱 ,  이영빈 ,  김상진

IPC: C01B31/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/50

Abstract: 본원은 그래핀의 저온 형성 방법, 및 이를 이용한 그래핀 직접 전사 방법 및 그래핀 시트에 관한 것으로서, 상기 그래핀의 저온 형성 방법은 기재 상에 형성된 그래핀 성장용 금속 촉매층에 탄소 소스-함유 가스를 공급하고 유도결합플라즈마 화학기상증착(ICP-CVD)에 의하여 500℃ 이하의 저온에서 그래핀을 형성하는 것을 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR101850406B1

公开(公告)日：2018-04-19

申请号：KR1020170134218

申请日：2017-10-16

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  신동욱 ,  남기봉 ,  엄민형

IPC: H04R7/02 ,  H04R31/00 ,  C01B32/182 ,  C08L101/00

Abstract: 일체형진동막을포함하는스피커장치및 상기일체형진동막의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR101832833B1

公开(公告)日：2018-02-28

申请号：KR1020160159583

申请日：2016-11-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  이정훈

IPC: D01D5/00 ,  D04H1/728 ,  D04H1/4242 ,  D01F9/22

Abstract: 섬유전구체고분자용액을토출하는노즐, 상기노즐의팁 말단에위치된컨버징코일(converging coil), 및상기노즐과이격되어위치된나선형콜렉팅코일(collecting coil)을포함하는나선형콜렉터(collector)를포함하는, 섬유번들(fiber bundle)의전기방사장치, 및상기전기방사장치에의해제조된연속적으로연결되고 1축정렬되어형성된섬유들을포함하는, 섬유번들및 탄소섬유에관한것이다.

公开(公告)号：KR101721413B1

公开(公告)日：2017-04-10

申请号：KR1020150130308

申请日：2015-09-15

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  김민규 ,  김동원

IPC: C08J5/18 ,  C08K7/24 ,  H01L21/02

Abstract: 무기물중공구-함유유무기복합체및 이의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 更具体地，涉及一种含有工具的有机 - 无机混合材料及其制造方法。

公开(公告)号：KR1020160142788A

公开(公告)日：2016-12-13

申请号：KR1020160069186

申请日：2016-06-03

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  김동원 ,  김민규

IPC: H01M4/36 ,  H01M4/38 ,  H01M4/13

CPC classification number: H01M4/366 ,  H01M4/13 ,  H01M4/38 ,  Y02E60/122

Abstract: 금속코어와전이금속디칼코게나이드쉘 사이에빈 공간이존재하는것을포함하는요크-쉘(yolk-shell) 구조체, 상기요크-쉘구조체의제조방법, 및상기요크-쉘구조체를포함하는이차전지음극재에관한것이다.

公开(公告)号：KR101639376B1

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：KR1020140101022

申请日：2014-08-06

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  이정훈 ,  홍지수

IPC: C08J3/20 ,  C08L101/00 ,  C08K7/00 ,  C08J5/22 ,  C08J9/00

Abstract: 나노채널폴리머복합체, 상기나노채널폴리머복합체의제조방법, 및상기나노채널폴리머복합체를포함하는멤브레인에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020160017647A

公开(公告)日：2016-02-16

申请号：KR1020150187853

申请日：2015-12-28

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 서상준 ,  조성민 ,  유지범 ,  정호균

IPC: C23C16/22 ,  C23C16/44 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/455

Abstract: 다중전구체를함유하는무기박막의제조방법및 상기무기박막의제조장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种含有多种前体的无机薄膜的制造方法和无机薄膜的制造装置。 本发明提供一种无机薄膜的制造方法，其特征在于，包括：使用原料气体和反应气体等离子体处理基材; 在原料气体的基础上形成无机薄膜，反应气体在原料的热分解温度以下的温度下加热，从而在基材的表面反应。

公开(公告)号：KR101465209B1

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：KR1020130066136

申请日：2013-06-10

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 유지범 ,  유성만

IPC: H01L31/04 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

Abstract: 본원은, Cu
2 ZnSn(S,Se)
4 박막을 함유하는 광흡수층 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种包含CZTSSe薄膜的光吸收层及其制造方法，特别涉及包含Cu2ZnSn（S，Se）4薄膜的光吸收层及其制造方法。 根据本发明的实施方案的方法包括以下步骤：在基材上沉积Cu 2 ZnSnSn薄膜; 热处理沉积的Cu2ZnSnS4薄膜; 并进行热处理Cu2ZnSnS4薄膜的硒化工艺。