채널 도핑과 패시베이션을 동시에 수행하는 산화물 박막 형성 방법 및 산화물 박막 트랜지스터 제조 방법
    31.
    发明授权
    채널 도핑과 패시베이션을 동시에 수행하는 산화물 박막 형성 방법 및 산화물 박막 트랜지스터 제조 방법 有权
    用于形成氧化物薄膜的方法和用于制造氧化物薄膜晶体管的方法在一步中实现通道掺杂和钝化

    公开(公告)号:KR101465114B1

    公开(公告)日:2014-12-05

    申请号:KR1020130078510

    申请日:2013-07-04

    Abstract: 본 발명은 산화물 박막을 형성하는 방법 및 산화물 박막 트랜지스터를 제조하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 채널 도핑과 패시베이션을 동시에 수행하는 산화물 박막 형성 방법 및 산화물 박막 트랜지스터 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 산화물 박막 형성 방법은, 인듐을 포함하는 제 1 산화물 박막을 형성하는 단계; 상기 제 1 산화물 박막 위에 알루미늄, 지르코늄 및 하프늄 중 적어도 하나를 포함하는 제 2 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 산화물 박막 및 상기 제 2 산화물 박막을 열처리하는 단계;를 포함할 수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种形成氧化物薄膜的方法和一种制造氧化物薄膜晶体管的方法,更具体地,涉及一种形成氧化物薄膜的方法和一种制造氧化物薄膜晶体管的方法,所述氧化物薄膜晶体管进行沟道掺杂 并同时进行钝化。 根据本发明的实施方案的形成氧化物薄膜的方法可以包括以下步骤:形成含有铟的第一氧化物薄膜; 在所述第一氧化物薄膜上形成含有铝,锆和铪中的至少一种的第二氧化物薄膜; 对第一和​​第二氧化物薄膜进行热处理。

    액상공정을 이용한 박막 트랜지스터 및 그 제조방법
    34.
    发明授权
    액상공정을 이용한 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 有权
    使用液相工艺的薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:KR101372734B1

    公开(公告)日:2014-03-13

    申请号:KR1020120015171

    申请日:2012-02-15

    Abstract: 본 발명은 액상공정을 이용한 박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것으로, 채널층과, 상기 채널층의 양단에 각각 접촉되는 소오스 및 드레인과, 상기 채널층에 대응하는 게이트와, 상기 채널층과 상기 게이트 사이에 구비된 게이트 절연층을 포함하되, 상기 채널층은 상기 게이트 측으로부터 순차 배열되고, 액상공정으로 제조된 적어도 2개의 산화물 반도체층을 구비하며, 상기 게이트 측으로부터 먼 쪽에 구비된 산화물 반도체층 중 적어도 어느 하나의 산화물 반도체층은 상기 게이트 층에 인접한 산화물 반도체층보다 산소공공(oxygen vacancy) 억제물질의 함량이 높게 형성됨으로써, 기존의 단일 채널보다 박막의 밀도를 높여 소자 특성 및 신뢰성 향상을 도모할 수 있으며, 채널 상부 노출에 의한 외부 환경에 민감한 소자특성(누설 전류의 증가)을 효 과적으로 개선시킬 수 있다.

    산화물반도체 조성물 및 그 제조방법, 산화물반도체 박막 형성 방법, 전자소자 제조 방법 및 그에 따라 제조된 전자 부품
    36.
    发明公开
    산화물반도체 조성물 및 그 제조방법, 산화물반도체 박막 형성 방법, 전자소자 제조 방법 및 그에 따라 제조된 전자 부품 有权
    氧化物半导体的组合物,其制备方法,形成氧化物半导体薄膜的方法,形成电气装置的方法和形成的电子装置

    公开(公告)号:KR1020140006575A

    公开(公告)日:2014-01-16

    申请号:KR1020120073907

    申请日:2012-07-06

    Abstract: Provided are oxide semiconductor compositions, preparation methods thereof, methods for forming oxide semiconductor thin film using the same, and methods for forming electronic devices. The oxide semiconductor compositions include photosensitive agents and oxide semiconductor precursors. The photosensitive agents absorb light in an ultraviolet ray wavelength region of 200 to 450 nm. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S1000) Preparing compositions for an oxide thin film; (S1100) Coating the compositions for the oxide thin film; (S1200) Pre-thermal process; (S1300) Emitting lights; (S1400) Dipping; (S1500) Post-thermal process

    Abstract translation: 提供氧化物半导体组合物,其制备方法,使用其形成氧化物半导体薄膜的方法,以及用于形成电子器件的方法。 氧化物半导体组合物包括光敏剂和氧化物半导体前体。 感光剂吸收200〜450nm的紫外线波长区域的光。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S1000)制备用于氧化物薄膜的组合物; (S1100)涂覆氧化物薄膜的组合物; (S1200)预热处理; (S1300)发光灯; (S1400)浸渍; (S1500)后热处理

    아세톤을 첨가한 고전도성 유기박막 및 이를 이용한 유기 태양전지의 제조 방법
    37.
    发明公开
    아세톤을 첨가한 고전도성 유기박막 및 이를 이용한 유기 태양전지의 제조 방법 有权
    高导电性PEDOT:PSS薄膜添加ACETONE和有机太阳能电池使用它

    公开(公告)号:KR1020130130901A

    公开(公告)日:2013-12-03

    申请号:KR1020120054539

    申请日:2012-05-23

    CPC classification number: Y02E10/549 Y02P70/521 H01L51/42

    Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing organic solar cells using a PEDOT:PSS thin film in which acetone is added to manufacture high efficiency organic solar cells as a hole transport layer. An existing organic solar cell uses a mixture of P3HT and PCBM as a photoactive layer and manufactures the organic solar cell by using a PEDOT:PSS as the hole transport layer. However, electrons and positive holes generated in the photoactive layer causes the loss of photoconversion efficiency caused by low mobility of thin films. The present invention is capable of increasing the mobility of the positive hole generated in the photoactive layer by increasing the conductivity of the thin films as resistance is reduced by adding a solvent of the acetonein to the PEDOT:PSS. Furthermore, the loss of the hole transport layer can be reduced by using the method so that photoconversion efficiency of the organic solar cells can be increased.

    Abstract translation: 本发明涉及一种使用PEDOT:PSS薄膜制造有机太阳能电池的方法,其中加入丙酮以制造高效率有机太阳能电池作为空穴传输层。 现有的有机太阳能电池使用P3HT和PCBM的混合物作为光敏层,并通过使用PEDOT:PSS作为空穴传输层制造有机太阳能电池。 然而,在光敏层中产生的电子和正空穴导致由薄膜的低迁移率引起的光转换效率的损失。 本发明能够通过增加薄膜的导电性来增加在光活性层中产生的空穴的迁移率,因为通过向PEDOT:PSS中加入丙酮的溶剂来降低阻力。 此外,通过使用这样的方法可以减少空穴传输层的损耗,从而可以提高有机太阳能电池的光转换效率。

    산화물 박막 형성을 위한 조성물, 산화물 박막 제조방법 및 박막 트랜지스터 제조방법
    40.
    发明公开
    산화물 박막 형성을 위한 조성물, 산화물 박막 제조방법 및 박막 트랜지스터 제조방법 有权
    用于形成氧化物薄膜的材料,氧化物薄膜的形成方法和用于薄膜晶体管的制备方法

    公开(公告)号:KR1020130025703A

    公开(公告)日:2013-03-12

    申请号:KR1020110089180

    申请日:2011-09-02

    Abstract: PURPOSE: A composition for forming an oxide thin film, a method for manufacturing the oxide thin film, and a method for manufacturing a thin film transistor are provided to control an electric property of the oxide thin film by controlling the amount of light energy and/or the density of oxygenated water in precursor solutions. CONSTITUTION: Precursor solutions are made by mixing precursor materials with oxygenated materials(S110). The precursor solutions are coated on a substrate(S120). The substrate is thermally pre-processed to evaporate the solvents of the precursor solutions(S130). The substrate is thermally post-processed to form an oxide thin film(S140). [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S110) Forming precursor solution by mixing precursor materials with oxygenated materials; (S120) Coating the precursor solution on a substrate; (S130) Pre-process; (S140) Post-process; (S150) Supplying light energy

    Abstract translation: 目的:提供用于形成氧化物薄膜的组合物,氧化物薄膜的制造方法和薄膜晶体管的制造方法,以通过控制氧化物薄膜的光量和/ 或氧化水在前体溶液中的密度。 构成:前体溶液通过将前体材料与氧化材料混合制成(S110)。 将前体溶液涂布在基材上(S120)。 将基底热预处理以蒸发前体溶液的溶剂(S130)。 将衬底热后处理以形成氧化物薄膜(S140)。 (附图标记)(AA)开始; (BB)结束; (S110)通过将前体材料与含氧材料混合而形成前体溶液; (S120)将前体溶液涂布在基材上; (S130)预处理; (S140)后期处理; (S150)供应光能

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