플러렌을 전구체로 이용하는 대면적 그래핀의 제조방법
    36.
    发明公开
    플러렌을 전구체로 이용하는 대면적 그래핀의 제조방법 审中-实审
    使用富勒烯作为前体的大面积石墨烯的制造方法

    公开(公告)号:KR1020170109938A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:KR1020160034183

    申请日:2016-03-22

    Abstract: 본발명은플러렌(C)을전구체로이용하는대면적그래핀의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는실리콘기판표면의이산화실리콘막상에스퍼터법으로금속촉매인니켈박막을적층하는단계; 플러렌을전구체로사용하여진공열증착법으로상기니켈박막상에분해된플러렌의박막을적층하는단계; 및상기적층된구조체를어닐링하여다층의시트형그래핀을얻는단계;를포함함으로써, 종래의식각공정및 전이공정을거치지않으므로공정이단순하고친환경적이며, 조각형태의그래핀이아닌대면적시트형그래핀을효과적으로제조할수 있는장점이있다.

    Abstract translation: 本发明包括:沉积镍金属催化剂的薄膜的步骤,涉及使用富勒烯(C)作为前体产生的区域的石墨烯haneundae的方法,并且更具体地,涉及在硅衬底表面上形成二氧化硅膜的溅射方法; 使用富勒烯作为前体,通过真空热蒸镀在镍薄膜上沉积分解的富勒烯薄膜; 并获得通过退火多层的片状石墨烯,所述堆叠结构;通过包括,并且因此通过常规蚀刻工艺和过渡过程去,这个过程是简单的和环境友好的,在是的非针大型片状石墨的形式的片 可以有效地制造。

Patent Agency Ranking