Abstract:
본발명은금속나노와이어(Nano wire); 및상기금속나노와이어와동일한금속인금속나노파티클(Nano particle)을포함하는박막으로써, 상기나노와이어와나노파티클은결합을형성하는것을특징으로하는나노와이어로강화된나노파티클박막을제공한다. 본발명에따른나노와이어로강화된나노파티클박막은나노와이어가지닌선형구조를통해전기적특성을향상시킬수 있으며, 동일한재료의나노파티클과혼합하여나노파티클박막을제조함으로써, 강한화학적결합을형성하게되고, 외부의인장하중에대해저항할수 있어기계적특성을향상시킬수 있다. 또한, 매우긴 나노와이어를사용하여횡방향의브리징효과뿐만아니라, 종방향의브리징효과를얻을수 있다.
Abstract:
칩 적층용 절연필름, 그 제조방법 및 이를 이용한 칩 적층방법이 제공된다. 본 발명에 따른 칩 적층용 절연필름은 절연층(110); 및 상기 절연층 내부에 구비되는 금속패턴(120)을 포함하며, 여기에서 상기 금속패턴은 칩 적층방향으로 연장되는 제 2 금속라인(122); 및 상기 제 2 금속라인으로부터 소정 길이만큼 수직 연장되는 복수 개의 제 1 금속라인(121)으로 이루어진 것을 특징으로 하며, 본 발명은 적층칩 층간의 전기적인 인터커넥션을 형성하기 위하여 금속 패턴이 형성된 절연필름을 이용하여 열압착본딩으로 적층하므로 생산성이 높은 장점이 있다. 또한, 패드의 신호선과 칩의 측면의 절연을 위한 절연층을 형성할 필요가 없기 때문에 적층 공정이 단순한 장점이 있으며, 패드의 크기 및 간격과 무관하게 적층 칩 사이의 층간 전기적인 인터커넥션을 형성하므로 공정의 적용 범위가 넓은 장점이 있다. 더 나아가, 본 발명에 따른 절연필름은 구조가 간단하여 필름 제작 공정이 간단한 장점이 있다.
Abstract:
PURPOSE: A conductive bump for connecting chips, a manufacturing method thereof, and a method for connecting the chips are provided to improve combination between chips by including the conductive bump on each substrate. CONSTITUTION: A seed layer(120) is laminated on a substrate. A photoresist layer(130) is laminated on the seed layer. The photoresist layer is patterned. A plurality of trench structures are formed on the patterned layer. A conductive bump is grown by electroplating the seed layer.
Abstract:
PURPOSE: A chip lamination method, a chip laminated with the same, an insulating film, and a manufacturing method thereof are provided to widen a range of application of a process by forming electrical interconnection to a lamination chip. CONSTITUTION: A plurality of metal patterns(120) is included inside an insulating layer(110). An insulating film is inserted into a separate space between chips as predetermined length. A chip pad is welded at the upper side of the chips. A metal pattern is composed of a metal line. One or more chip pads are commonly welded in the metal pattern with thermo-compression bonding method, an ultrasonic wave welding method, or a thermal ultrasonic wave welding method.