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公开(公告)号:KR1019890003905B1
公开(公告)日:1989-10-10
申请号:KR1019860007438
申请日:1986-09-05
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/306
Abstract: The process method is to remove the lip happened in ethcing the insulation films. The lip is removed by using low temperature oxide film (4) with 2300-2700 A thickness when etching the double insulation films, each of which is composed of silicon oxide (1200 A) and silicon nitride film (2500 ∦ and negative photoresist (5) for adhering and controling the etching width (6) of oxide film, resulted in 0.5-3.8 m margin (10).
Abstract translation: 该方法是去除在绝缘膜上渗透发生的唇缘。 当蚀刻由氧化硅(1200A)和氮化硅膜(2500∦和负性光致抗蚀剂(5))组成的双重绝缘膜时,通过使用厚度为2300-2700A的低温氧化膜(4) )用于粘附和控制氧化膜的蚀刻宽度(6),导致0.5-3.8μm的余量(10)。
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公开(公告)号:KR100269249B1
公开(公告)日:2000-10-16
申请号:KR1019970071619
申请日:1997-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01M4/505 , C01G45/1242 , C01G51/006 , C01G51/42 , C01P2002/54 , C01P2006/40 , H01M4/131 , H01M4/525 , H01M10/052
Abstract: PURPOSE: A lithium-cobalt-manganese compound for anode material of rechargeable lithium battery is provided for achieving structural stability to reduce capacity decrease due to repeated recycling and to apply at high voltage when it used in the production of 5V grade lithium battery. CONSTITUTION: The lithium-cobalt-manganese compound (LiCoxMn2-xO4, wherein 0
Abstract translation: 目的:提供用于可再充电锂电池负极材料的锂钴锰化合物,用于实现结构稳定性,以减少由于反复回收引起的容量降低,并在用于生产5V级锂电池时用于高电压。 构成:作为锂电池的负极材料的锂钴锰化合物(LiCoxMn2-xO4,其中0
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公开(公告)号:KR100236971B1
公开(公告)日:2000-01-15
申请号:KR1019970046990
申请日:1997-09-12
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M10/05
CPC classification number: H01M10/052 , H01M10/0583
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
2차 전지의 형성 방법.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
리튬 폴리머 고분자 2차 전지의 제작시, 형태나 용량에 제한 받지 않을 수 있는 개선된 리튬 2차 전지의 형성 방법을 제공함을 그 목적으로 한다
3. 발명의 해결 방법의 요지
양전극/절연막/음전극을 포함하여 이루어지는 전지의 형성 방법에 있어서, 상기 양전극, 절연막, 음전극을 차례로 형성하는 제1단계; 상기 제1단계가 완료된 결과물을 적어도 80℃를 넘는 온도에서 열공정 하는 제2단계; 및 상기 제2단계가 완료된 결과물을 다수회 접는 제3단계를 포함하여 이루어진다.
4. 발명의 중요한 용도
리튬 고분자 2차 전지 제조 공정에 이용됨.-
公开(公告)号:KR100211020B1
公开(公告)日:1999-07-15
申请号:KR1019960062612
申请日:1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: B01D53/26
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
반도체 장치.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
인체에 유해하지 않으면서 제습효과가 뛰어남은 물론 재생이 가능하여 반영구적으로 사용할 수 있는 제습장치를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
분위기 제어를 위해 습기를 제거하기 위한 충전물 및 상기 충전물의 양단에 형성되어 상기 충전물이 외부의 기기나 장치를 오염시키는 것을 방지하기 위한 분리수단을 구비하는 제습장치에 있어서, 상기 충전물은 제오라이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 제습장치를 제공하고자 함.
4. 발명의 중요한 용도
분위기 제어를 위해 제습을 필요로 하는 기기 또는 실험장치에 설치되는 제습장치에 이용됨.-
公开(公告)号:KR100194616B1
公开(公告)日:1999-06-15
申请号:KR1019950051461
申请日:1995-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M10/04
Abstract: 본 발명은 리튬 고분자 2차전지의 제조방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 고체 고분자 전해질을 이용하여 새로운 구조를 지닌 리튬 고분자 2차전지를 간단한 공정에 의해 경제적으로 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명의 리튬 고분자 2차전지 제조방법은, 전극 지지체의 양단을 제외한 부분 상에 양전극 슬러리(slurry)를 도포하고 건조 및 프레싱하여 일단의 금속망을 절개하는 공정; 전기한 공정에 의해 얻어진 전극 지지체의 타단에 존재하는 전극 지지체의 일측에 탭(tap)를 부착하고 나머지 전극 지지체 부분을 절개하여 양전극을 제조하는 공정; 전기한 공정에 의해 얻어진 전극상에 고분자 지지체와 고체 고분자 전해질로 이루어진 고분자 전해막을 부착하고 라미네이팅(Laminating)하는 공정; 및, 상기한 양전극의 제조공정과 동일한 공정을 거쳐 제조된 음전극을 상기한 공정에서 얻어진 고분자 전해막 상에 라미네이팅하여 3층의 단위셀을 제조하는 공정을 포함한다.-
公开(公告)号:KR100194614B1
公开(公告)日:1999-06-15
申请号:KR1019950051459
申请日:1995-12-18
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M4/32
Abstract: 본 발명은 리튬 2차전지용 리튬-망간 산화물의 제조방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 입자크기가 증가되고 결정성이 증가되어 우수한 전극특성을 지닌 리튬 2차전지의 양극물질인 LiMn
2 O
4 를 고온고상반응법을 사용하여 제조하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 리튬 2차전지용 리튬-망간 산화물 제조방법은, 리튬 2차전지용 양극 활성물질인 리튬-망간 산화물을 제조함에 있어서, LiOH, LiCO
3 및 LiNO
3 로 부터 선택된 1종의 리튬 화합물과 망간 산화물을 혼합하여 840 내지 860℃의 온도에서 28 내지 32시간 동안 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 리튬-망간 산화물의 제조방법은 입자크기가 증가되고 결정성이 증가되어 우수한 전극특성을 지닌 리튬 2차전지의 양극물질인 리튬-망간 산화물을 제조할 수 있을 뿐 아니라, 제조량의 증가에 따른 전극특성의 열화를 방지할 수 있다는 것이 확인되었다.-
公开(公告)号:KR100149886B1
公开(公告)日:1999-04-15
申请号:KR1019940031730
申请日:1994-11-29
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 뒷면에 두 파장의 적외선을 조사할 때, 웨이퍼의 온도 변화에 따라 수반되는 두께 및 굴절율 변화로 인하여 발생하는 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 감지하여 웨이퍼의 온도를 측정하는 장치에 관한 것이다.
본 발명은 광원으로서 서로 다른 파장을 갖는 적외선을 각각 방출하는 제 1 및 제2 적외선 레이저와, 상기 적외선 레이저에서 방출된 적외선들을 웨이퍼가 장착된 진공챔버내로 입사시키기 위해 챔버벽에 형성된 광학창과, 이 광학창을 투과한 레이저빔이 웨이퍼 후면에 입사되도록 레이저 빔의 광경로를 조정하기 위한 프리즘과, 상기 광학창을 통하여 웨이퍼에서 반사된 빔을 반사시키기 위한 폴라라이저(polarizer)와, 상기 폴라라이저에서 반사된 빔을 파장별로 분리하기 위한 2색(dichroic) 빔 분리경과, 상기 2색빔 분리경을 통하여 분리된 적외선들을 각각 감지하기 위한 적외선 센서 및 상기 적외선 센서들에서 감지된 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 비교하는 위상 비교기(phase comparator)를 구비하여 웨이퍼 전면의 상태와 관계없이 공정중에 in-situ, � �접촉으로 웨이퍼 온도와 아울러 온도의 증, 감소 방향을 측정할 수 있다.-
公开(公告)号:KR1019980050458A
公开(公告)日:1998-09-15
申请号:KR1019960069281
申请日:1996-12-20
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01M4/58
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
리튬 2차전지
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
리튬 2차전지의 양극물질로 사용되는 바나듐계 산화물의 용량을 증가시키고 수명을 연장시키기 위해 몰리브덴을 치환시킨 바나듐산화물 및 그 제조 방법 3. 발명의 해결방법의 요지
아르곤 분위기의 건조상자 안에서 MoO
3 , V
2 O
3 와 V
2 O
5 를 정량적으로 섞은 다음 이를 실리카 튜브에 넣고 진공 봉입한 후 650℃의 온도에서 96~120시간 열처리함
4. 발명의 중요한 용도
리튬 2차전지의 양전극 물질 -
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