公开(公告)号：DE102014105364A1

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：DE102014105364

申请日：2014-04-15

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： BEER GOTTFRIED ,  MAIER DOMINIC ,  METZGER-BRUECKL GERHARD ,  LEUSCHNER RAINER

IPC: H01L21/66 ,  H01L23/522

Abstract: Die Kapazität oder Induktivität von elektrischen Schaltungen wird durch Messen von Induktivitäts- oder Kapazitätswerten von passiven Bauteilen, die auf einem ersten Substrat hergestellt sind, Speichern von individuellen Zusammenhängen zwischen den passiven Bauteilen und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile und Bestimmen von elektrischen Verbindungen für die passiven Bauteile auf der Basis der gespeicherten individuellen Zusammenhänge zwischen den passiven Bauteilen und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile eingestellt. Ein entsprechendes System umfasst ein Testgerät, das betriebsfähig ist, um Induktivitäts- oder Kapazitätswerte der passiven Bauteile, die auf dem ersten Substrat hergestellt sind, zu messen, ein Speichersystem, das betriebsfähig ist, um die individuellen Zusammenhänge zwischen den passiven Bauteilen und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile zu speichern, und eine Verarbeitungsschaltung, die betriebsfähig ist, um die elektrischen Verbindungen für die passiven Bauteile auf der Basis der gespeicherten individuellen Zusammenhänge zwischen den passiven Bauteilen und den jeweiligen Messwerten der passiven Bauteile zu bestimmen.