印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法

    公开(公告)号:CN101063817A

    公开(公告)日:2007-10-31

    申请号:CN200710104732.5

    申请日:2007-04-25

    Inventor: 金珍郁

    CPC classification number: G03F7/2018 G03F7/161

    Abstract: 本发明公开了一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法,其中,所述抗蚀剂被涂覆在印刷辊上,然后被依次转印在印刷板和基板上,其中,所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能,并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能,使得将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上,由此实现精确的抗蚀剂图形。

    软模及其制造方法
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1885168A

    公开(公告)日:2006-12-27

    申请号:CN200510127522.9

    申请日:2005-12-05

    CPC classification number: B29C33/38 B29C33/3857 B29C33/40

    Abstract: 本发明公开了一种软模及其制造方法。首先形成在基板上具有图案的母模。第一液态高聚物前体形成在母模上并随后被部分固化。具有高UV透射率的支撑膜粘接在部分固化的高聚物上。用连接剂处理粘接的支撑膜和部分固化的高聚物,并且在部分固化的高聚物和支撑膜上形成第二液态高聚物前体。第二液态高聚物前体和部分固化的高聚物被随后固化以形成模。完全固化的模从母模剥离以形成在一个表面上具有预定形状的软模。

    抗蚀溶液以及使用其制作薄膜图案和液晶显示器件的方法

    公开(公告)号:CN101196684A

    公开(公告)日:2008-06-11

    申请号:CN200710195638.5

    申请日:2007-12-04

    Inventor: 金珍郁

    CPC classification number: G03F7/0002 B82Y10/00 B82Y40/00 H01L27/1292

    Abstract: 本发明公开了一种制作薄膜图案的方法,其能够提高橡皮布的寿命、减少成本并提高形成薄膜图案的可靠性。所述方法包括将抗蚀溶液注入到印刷辊上的橡皮布中,其中所述抗蚀溶液包括印刷溶剂,所述印刷溶剂满足条件6>δ溶剂或δ溶剂>11,其中δ溶剂是所述溶剂的溶解参数,或满足条件6<δ溶剂<11并且μ<2(D),其中μ为所述溶剂的偶极矩;旋转所述印刷辊以将所述抗蚀溶液均匀涂覆在所述橡皮布上;在印版上滚动涂覆有所述抗蚀溶液的印刷辊以将对所述抗蚀溶液构图,由此形成抗蚀图案;将所述抗蚀图案从所述印刷辊转印至基板;硬化所述抗蚀图案;并且使用所述抗蚀图案在所述基板上形成所需薄膜图案。

    光固化有机材料及用其制造液晶显示器件阵列基板的方法

    公开(公告)号:CN101192003A

    公开(公告)日:2008-06-04

    申请号:CN200710194857.1

    申请日:2007-11-27

    Inventor: 金珍郁

    Abstract: 本发明公开了一种制造用于液晶显示器件的阵列基板的有机绝缘层的方法,包括:在基板上形成基材料层;在所述基材料层上形成具有第一液相聚合前体、第二液相聚合前体和光引发剂的光固化有机材料层,所述第一液相聚合前体具有单功能基团材料,第二液相聚合前体具有双功能基团材料和三功能基团材料至少其中之一;将具有突起部分的印模设置在所述光固化有机材料层的上方;移动所述基板和印模至少其中之一,从而使所述印模按压所述光固化有机材料层,其中在所述光固化有机材料层中形成暴露出部分所述基材料层并且对应于所述凸起部分的接触孔;固化具有所述接触孔的光固化有机材料层;以及将所述印模与固化的光固化有机材料层分离。

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