公开(公告)号：CN102645295B

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201210099852.1

申请日：2012-04-06

Applicant: 王伟中

Inventor： 王伟中 ,  黄吉宏 ,  宋泊锜 ,  陈维仁 ,  赖冠廷

IPC: G01L1/24

CPC classification number: G01L1/24 ,  G01L1/241 ,  G01N21/23

Abstract: 一种量化材料未知应力与残余应力的装置，用于量化一待测物的未知应力与残余应力，该装置包括：一光源、一偏光镜、一第一四分之一波片、一标准试片、一第二四分之一波片、一检光镜、一施载单元、一光谱仪及一检测模块；该光源用于产生多波长或单波长之光；该偏光镜设置于该光源前方，且其一面面对该光源以使光产生偏振；该第一四分之一波片设置于该偏光镜前方，且其一面面对该光源以使光产生圆偏振；本发明还揭露量化材料未知应力与残余应力的方法。

公开(公告)号：CN101730838A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200780053714.7

申请日：2007-07-09

Applicant: ABB研究有限公司

Inventor： F·卡舒贝克 ,  A·克拉梅 ,  K·博内特 ,  H·布雷德勒

IPC: G01L1/24 ,  G01L11/02

CPC classification number: G01L11/025 ,  G01L1/241

Abstract: 公开了具有至少一个光学感测元件(10)的压力传感器(18)，通过至少一个光束(2、21)的透射来读出所述压力传感器的双折射特性的压力导致的变化。特别地，所述压力传感器(18)的特征在于，其包括：至少一个单一材料透明体(10)，所述单一材料透明体(10)在至少两个不同的区中经由至少两个压力舱(8、9)经受至少两个不同的压力(p1、p2)，其中所述透明体(10)被平行的或最小发散的光束透射，而不会在所述体(10)中全反射，以使得该光束(22)的线性偏振分量之间的相应差动相移和压力导致的双折射依赖于不同压力(p1、p2)的差。

公开(公告)号：KR1020160018485A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：KR1020157032576

申请日：2013-06-05

Applicant: 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하

Inventor： 포바짜이,보리스 ,  페익,안툰

IPC: G01L1/24 ,  G01L1/25 ,  G01L5/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01L1/242 ,  G01L1/24 ,  G01L1/241 ,  G01L1/247 ,  G01L1/25 ,  G01L5/0047 ,  G01L9/0076 ,  G01L11/02 ,  G01N23/046 ,  G01N2021/1787 ,  G01N2223/419 ,  G06F3/0325 ,  G06F3/041 ,  G06F3/042 ,  G06F3/0421 ,  G06F3/0423 ,  G06F3/0428 ,  G06F2203/04109 ,  H01L22/12

Abstract: 본발명은제1 가압체(5)와제2 가압체(6) 간적어도하나의측정층(3)으로의압력의적용동안압력맵을결정하기위한측정장치와관련되며, 다음을포함한다: - 상기측정층(3)을통과하는제1 신호루트및 상기측정층(3)을통과하는그 밖의다른적어도하나의신호루트를따라전자파의형태로신호(9)를발산하기위해측정층(3)의하나의둘레에지(3u) 상에위치하는적어도하나의송신기(7), - 제1 신호루트및 그밖의다른신호루트의신호(9)의수신을위해둘레에지(3u) 상에위치하는적어도하나의수신기(8, 8') - 상기신호는송신기(7)에의해측정층(3)을통해전송되며압력이가해질때 변경될수 있음 - . 또한본 발명은대응하는방법과관련된다.

公开(公告)号：KR101447833B1

公开(公告)日：2014-10-13

申请号：KR1020130113985

申请日：2013-09-25

Applicant: 경북대학교 산학협력단

Inventor： 김지식 ,  손기선 ,  장일영

IPC: G01L1/24 ,  G01N3/00

CPC classification number: G01L1/24 ,  G01B11/16 ,  G01L1/241 ,  G01N3/068

Abstract: According to an embodiment of the present invention, a method of measuring a stress intensity factor may include applying acrylic resin type mechanoluminescent paint to a structure; measuring the mechanoluminescent strength at a crack tip of the structure; determining effective stress in accordance with the mechanoluminescent strength; and calculating the stress intensity factor of the structure.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，测量应力强度因子的方法可以包括将丙烯酸树脂型机械发光涂料施加到结构上; 测量结构裂纹尖端的机械发光强度; 根据机械发光强度确定有效应力; 并计算结构的应力强度因子。

公开(公告)号：KR1020160048926A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：KR1020167008219

申请日：2014-08-28

Applicant: 코닝 인코포레이티드

Inventor： 리우,안핑 ,  로우세브,로스티스라브뱃체브 ,  샤우트,로버트안토니

IPC: G01L1/24 ,  G01N21/41 ,  G01N21/23

CPC classification number: G01L1/24 ,  G01L1/241 ,  G01N21/23 ,  G01N21/4133

Abstract: 곡선부들을특징짓는프리즘커플링시스템및 방법이개시된다. 커플링프리즘의커플링표면은커플링접촉부를정의하기위해곡선부의곡선외부표면과접촉된다. 측정광은커플링프리즘을통하여상기접촉에지향되고, 이때측정광은 3 mm 이하의폭을가진다. 상기접촉으로부터반사된 TE 및 TM 모드스펙트럼들은디지털방식으로캡쳐링된다. 이러한모드스펙트럼들은곡선부의적어도하나의특징, 예를들면, 응력프로파일, 압축응력, 층깊이, 굴절률프로파일및 복굴절을결정하기위해처리된다.

公开(公告)号：KR1020120098730A

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：KR1020127013058

申请日：2010-11-19

Applicant: 고쿠리츠켄큐카이하츠호진 상교기쥬츠 소고켄큐쇼

Inventor： 사카이카즈후미 ,  노나카카즈히로 ,  야마구치신스케

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9505 ,  G01L1/241 ,  G01N21/21 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 광원 장치(7)로부터의 광에 편광기(8)에 의해 편광을 주어 피검사체 W에 대해 비스듬한 방향으로 입사시키고, 그 산란광을 암시야에 배치되고 편광 분리 소자(12)를 가지는 CCD 촬상 장치(10)로 촬상하고, 얻어진 P편광 성분 화상과 S편광 성분 화상에 대해 편광 성분 광강도와 이들의 비로서의 편광 방향을 구한다. 피검사체에 응력을 인가하고 있지 않은 상태와 피검사체에 정하중을 부가하여 피검사체의 광조사측의 면에 있어서 인장 응력으로 되는 정응력을 인가한 상태에서의 촬상에 의해 얻어진 화상으로부터 편광 성분 광강도, 편광 방향을 구하고, 소정의 문턱값과 대비함으로써 결함의 검출, 분류를 행한다. 피검사체에 있어서의 내부 석출물, 공동 결함, 표면의 이물질 내지 스크래치, 표층의 크랙의 결함을 정밀도 좋게 검출하고, 결함의 종류를 특정하여 결함을 분류할 수가 있다. 반도체 소자 제작용 웨이퍼에 대해 결함을 검사하고, 품질관리를 행함으로써 불량품을 현격하게 감소시키게 된다.

公开(公告)号：KR1020030078930A

公开(公告)日：2003-10-08

申请号：KR1020037010975

申请日：2001-02-28

Applicant: 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼

Inventor： 다니구치요시후미 ,  이치하시미키오 ,  고구치마사나리

IPC: H01L21/66 ,  B82Y35/00

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01L1/241 ,  G01L5/0047 ,  G01N23/20 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/2251 ,  H01J37/2955 ,  H01J2237/24585 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/2813 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 본 발명은 고분해능으로, 또한 고감도로, 계측위치 정합성이 높은 응력·왜곡의 2차원적인 분포의 실시간 계측을 가능하게 하는 미소영역 물성 계측방법 및 장치이다. 가늘게 조절된 전자선(22, 26)을 주사하면서 시료에 조사하여, 회절 스폿 (32, 33)의 위치의 변위를 2차원 위치 유감형 전자검출기(13)로 계측한다. 변위량은 전압값으로서 출력되기 때문에, 나노 디플렉션방식의 원리에 따라 응력·왜곡의 크기로 변환하여, 시료상의 위치신호와 동기하여 화상 표시한다.

公开(公告)号：WO2017215426A1

公开(公告)日：2017-12-21

申请号：PCT/CN2017/085842

申请日：2017-05-25

Applicant: 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

Inventor： 张晓晋 ,  于成生 ,  谢蒂旎

IPC: G01L1/24

CPC classification number: G01L1/241 ,  G01L1/24 ,  G01L1/247 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04105

Abstract: 一种光谐振装置（10），包括：发光层（1），反射层（2），以及半透半反层（3）。发光层（1）被配置为产生光；反射层（2）设置于发光层（1）的一侧，被配置为反射发光层（1）产生的光；半透半反层（3）设置于发光层（1）的另一侧，被配置为透射发光层（1）产生的光的一部分，并且反射发光层（1）产生的光的一部分。还提供一种力测量装置（20），包括：光谐振装置（10），至少一个光学传感器（8），受力单元（9）以及计算单元（12）；以及力测量方法、模量测量方法及显示面板。提供了结构简单，易于批量制作的光谐振装置（10）、力测量装置（20）以及显示面板，以及易于实现的力测量方法和模量测量方法。

公开(公告)号：WO2016125904A1

公开(公告)日：2016-08-11

申请号：PCT/JP2016/053563

申请日：2016-02-05

Applicant: 三井化学株式会社 ,  学校法人 関西大学

Inventor： 三塚　雅彦 ,  山崎　聡 ,  田實　佳郎

IPC: G01L1/24 ,  A61B5/11 ,  A61G7/05

CPC classification number: A47C31/00 ,  A47C17/04 ,  A47C27/002 ,  A61B5/0082 ,  A61B5/11 ,  A61B5/1117 ,  A61B5/6892 ,  A61G7/015 ,  A61G7/05 ,  A61G2203/30 ,  C08G18/3206 ,  C08G18/7671 ,  C08J5/18 ,  C08J2375/04 ,  G01L1/24 ,  G01L1/241

Abstract: 　センサ付きクッション材１が、光弾性樹脂からなる樹脂シート４と、その樹脂シート４に積層されるクッション材２１と、樹脂シート４を挟むように対向配置される発光部５および受光部８を備える光センサ１５と、光センサ１５により検知された光信号に基づいて、樹脂シート４にかかる応力を検知する処理部３とを備える。

Abstract translation: 该带传感器的缓冲材料（1）设置有：包含光弹性树脂的树脂片（4） 层叠在树脂片（4）上的缓冲材料（21） 设置有发光单元（5）和光接收单元（8）的光学传感器（15），所述发光单元（5）和光接收单元（8）彼此面对地设置有树脂片（4） 以及基于由光学传感器（15）检测的光信号来检测施加到树脂片（4）的应力的处理单元（3）。

公开(公告)号：WO2015159836A1

公开(公告)日：2015-10-22

申请号：PCT/JP2015/061313

申请日：2015-04-13

Applicant: 富士フイルム株式会社

Inventor： 林　卓弘

IPC: G01L1/24 ,  G01L1/00

CPC classification number: G01L1/241 ,  C08G61/00 ,  C08G61/08 ,  C08G2261/3325 ,  C08G2261/418 ,  G01B11/16

Abstract: 　本発明により、被測定物を含む光弾性を有する物品に直線偏光膜と位相差膜とをこの順で透過した光を照射すること、および上記光に由来する上記物品からの反射光を上記位相差膜と上記直線偏光膜とをこの順で介して検出することを含む応力測定方法であって、上記位相差膜の、波長５５０ｎｍの光における面内レターデーションＲｅ（５５０）が１００ｎｍ≦Ｒｅ（５５０ｎｍ）≦７００ｎｍを満たし、上記位相差膜の、波長４５０ｎｍの光における面内レターデーションＲｅ（４５０）がＲｅ（４５０）／Ｒｅ（５５０）≧０．９を満たす応力測定方法、上記直線偏光膜と上記位相差膜とを含む応力測定用部材、ならびに、上記応力測定用部材と光弾性層を含む応力表示部材とを含む応力測定用セットが提供される。

Abstract translation: 本发明提供一种应力测定方法，其特征在于，包括以下顺序照射具有光弹性的物品，并且包含通过线偏振膜和相位差膜透过的光的被测定物; 并且通过相位差膜和线偏振膜依次检测从照射光导出并反射的反射光，其中相对于波长为550nm的光的面内相位差（Re（550）） 相位差膜的相对于相位差膜的波长为450nm的光的面内相位差（Re（450））满足Re（450）为100nm≤Re（550nm）≤700nm， / Re（550）≥0.9。 本发明还提供一种包括线偏振膜和相位差膜的应力测量用构件，以及包括应力测定用构件和包含光弹性层的应力显示构件的应力测定用组合体。