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公开(公告)号：CN105518843B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480050138.0
申请日：2014-09-10
Applicant: 株式会社神户制钢所
CPC classification number: G01N21/6489 , G01N22/00 , G01N2201/06113 , G01N2201/0697 , H01L22/12
Abstract: 提供一种以非接触型、正确且使用同一装置简便地测定氧化物半导体薄膜的迁移率和应力耐性来能够进行预测·估计的评价装置。本发明的评价装置具备：对样品的测定部位照射第一激发光而生成电子‑空穴对的第一激发光照射单元；对电磁波进行照射的电磁波照射单元；对反射电磁波强度进行检测的反射电磁波强度检测单元；对所述样品照射第二激发光而生成光致发光光的第二激发光照射单元；对所述光致发光光的发光强度进行测定的发光强度测定单元；以及评价迁移率和应力耐性的评价单元，并且，所述第一激发光照射单元和所述第二激发光照射单元为同一或不同的激发光照射单元。
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公开(公告)号：CN104502357B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201410569577.4
申请日：2003-09-08
IPC: G01N21/95 , G01N21/956 , G01N21/47
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
Abstract: 本申请公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。
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公开(公告)号：CN107533014A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025254.6
申请日：2016-12-19
Applicant: 新日铁住金株式会社
IPC: G01N21/892
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N15/06 , G01N21/00 , G01N21/359 , G01N21/88 , G01N21/8851 , G01N21/892 , G01N21/94 , G01N21/952 , G01N2201/0697
Abstract: 高灵敏度地发现在具有可见光的波长程度的表面粗糙度的被检查体的表面所产生的为表面粗糙度的数倍左右的凹凸缺陷等，来准确地进行存在于被检查体的表面的脏污与凹凸瑕疵的区分，并且实现装置的小型化。本发明所涉及的被检查体摄像装置具备：光源，其产生属于红外波长带并在被检查体的表面上具有规定的发散半角的光束；投影光学系统，其将光束以规定的投影角投射到被检查体的表面上；以及摄像部，其拍摄来自被检查体的表面的反射光，其中，摄像部具有：摄像光学系统，其具有至少一个凸透镜，用于会聚反射光，并使该反射光向两个不同的方向分支；以及第一摄像元件和第二摄像元件，其拍摄透过了摄像光学系统的各反射光，第一摄像元件沿着反射光的光轴地位于比摄像光学系统的与被检查体的表面共轭的位置靠被检查体侧的位置，第二摄像元件沿着反射光的光轴地位于比该共轭的位置靠反射光的行进方向侧的位置。
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公开(公告)号：CN105556263A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201380073561.8
申请日：2013-12-03
Applicant: 易麦思国际有限责任公司
Inventor： 丹尼尔·李·格雷比尔 , 罗杰斯·艾伦·凯里
IPC: G01J3/42
CPC classification number: G01J3/10 , G01J3/0205 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0245 , G01J3/108 , G01J3/42 , G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/399 , G01N2201/06113 , G01N2201/0612 , G01N2201/0691 , G01N2201/0697 , G01N2201/08 , H01S5/3401
Abstract: 用于在气态样本中检测微量分析物的内腔式激光吸收红外线光谱系统。该系统使用光谱仪与控制电子设备通信，其中，控制电子设备包括分析物数据库，分析物数据库包括用于系统所要检测的每一种分析物的吸收参数。该系统不仅能检测特定分析物的存在，也能识别它们。光谱仪使用在设备内部创建连续回路的空心腔波导，从而创建了大路径长度并消除对机械地调整路径长度以实现高Q因数的需求。激光源可作为检测器，这样将消除对单独的检测器的需求。
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公开(公告)号：CN104502357A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410569577.4
申请日：2003-09-08
IPC: G01N21/95 , G01N21/956 , G01N21/47
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
Abstract: 本申请公开一种样品的检测装置，包括：辐射源，用于导引光辐射到样品的表面的区域上；多个图像传感器，被配置来接收从所述区域散射到不同的各角度范围内的辐射以形成所述区域的各图像；图像处理器，用于处理各图像中的至少一个以检测所述表面上的缺陷；汇聚光学装置，包括：多个物镜，分别与一个图像传感器关联从而捕获从所述表面散射的各自角度范围内的辐射并把捕获的辐射传送到所述一个图像传感器，其中物镜具有各自的光轴，光轴以各自的倾斜角度与所述表面相交；多个倾斜校正单元，分别与物镜关联并且所述多个校正单元用于校准各倾斜角度以产生实质上无畸变的中间图像；多个聚焦光学装置，光学地连接以将中间图像聚焦在所述图像传感器上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101600956B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN200780050535.8
申请日：2007-11-12
Applicant: 卡斯卡德技术控股有限公司
Inventor： 伊恩·豪伊森
IPC: G01N21/31
CPC classification number: G01N21/3504 , G01N21/031 , G01N2021/3129 , G01N2021/399 , G01N2201/0697
Abstract: 一种入口或关口，其包括检测器，所述检测器包括啁啾激光器；开放式光学样品池；以及用于检测来自所述啁啾激光器、已经通过所述池的光的检测器。所述啁啾激光器可以是量子级联激光器。
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公开(公告)号：CN103105383A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201210459090.1
申请日：2012-11-14
Applicant: 徕卡显微系统复合显微镜有限公司
Inventor： B·威兹高斯盖
CPC classification number: G01N21/6408 , G01N21/6458 , G01N2201/0697 , G01N2201/12
Abstract: 本发明公开了一种测量样本中激发态寿命的方法，特别是测量荧光寿命的方法，以及执行这种方法的设备。首先，生成激发脉冲并用该激发脉冲照亮样本区域。随后，生成表示激发脉冲的功率-时间曲线的第一数字数据序列，并且根据第一数字数据序列确定第一开关时刻。此外，利用检测器检测从样本区域发出的检测光，生成表示检测光的功率-时间曲线的第二数字数据序列，并且根据第二数字数据序列确定第二开关时刻。最后，计算第一和第二开关时刻之间的时间差。
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公开(公告)号：CN101382485B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200810210896.0
申请日：2008-08-25
Applicant: 希森美康株式会社
Inventor： 植野邦男
CPC classification number: G01N15/1459 , G01N15/1434 , G01N2015/0073 , G01N2015/008 , G01N2015/0084 , G01N2201/0612 , G01N2201/0692 , G01N2201/0697 , H01S5/0427 , H01S5/0622 , H01S5/0652 , H01S5/0653 , H01S5/06832
Abstract: 本发明提供一种能够自动稳定地使激光二极管多模发振的试样分析仪，包括：向试样照射激光的LD激光二极管501d、检测LD501d发光量的PD光电二极管501e、根据PD501e检出的发光量向LD501d输出直流电以使LD501d发光量保持一定量的APC电路501b、在APC电路501b输出的直流电上叠加高频成份的高频发振电路501f、根据APC电路501b输出的直流电大小控制高频发振电路501f输出的高频振幅，以使LD501d多模发振的高频自动调节电路501c。本发明还提供一种通过用叠加了高频成份的电流从激光二极管向试样照射激光对所述试样进行分析的试样分析方法。
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公开(公告)号：CN101889194A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN200780101871.0
申请日：2007-12-06
Applicant: 洛克希德马丁公司
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/1702 , G01N21/718 , G01N21/8851 , G01N25/72 , G01N29/228 , G01N29/2418 , G01N2021/1706 , G01N2021/8472 , G01N2201/0697 , G01N2291/0231
Abstract: 检视系统(200)提供用于检查目标材料(216)的内部结构。此检视系统包括生成激光器(210)、超声检测系统(220，226，228，230)、热成像系统(234)及处理器/控制模块(232)。生成激光器(210)产生脉冲激光束(212)，该激光束可操作地在目标材料(216)诱发超声位移和热瞬态。超声检测系统检测在目标材料(216)的超声表面位移。热成像系统(234)检测在目标材料(216)的热瞬态。处理器(232)分析检测到的目标材料(216)的超声位移和热成像以得出有关目标材料的内部结构的信息。目标材料(216)优选包括复合材料。
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公开(公告)号：CN1771456A
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：CN03823097.6
申请日：2003-09-08
Applicant: 应用材料以色列股份有限公司 , 应用材料有限公司
CPC classification number: G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
Abstract: 本发明是有关于一种用于光学检测的照射系统，包括一个激光器，为产生以第一个光斑对比为特点的输入射束此激光器同时以多横向振荡模式工作。输入射束的横向振荡模式被光学混合来产生具有第二光斑对比的输出射束，此第二光斑对比充分小于第一光斑对比。
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