公开(公告)号：WO2015069751A1

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：PCT/US2014/064103

申请日：2014-11-05

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： PARK, Allen ,  MACNAUGHTON, Craig ,  CHANG, Ellis

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0675 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/125 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70616

Abstract: Methods and systems for determining one or more parameters of a wafer inspection process are provided. One method includes acquiring metrology data for a wafer generated by a wafer metrology system. The method also includes determining one or more parameters of a wafer inspection process for the wafer or another wafer based on the metrology data.

Abstract translation: 提供了用于确定晶片检查过程的一个或多个参数的方法和系统。 一种方法包括获取由晶片计量系统产生的晶片的度量数据。 该方法还包括基于测量数据确定晶片或另一晶片的晶片检查过程的一个或多个参数。

公开(公告)号：WO2004063683A1

公开(公告)日：2004-07-29

申请号：PCT/JP2003/016891

申请日：2003-12-26

Applicant: 学校法人 早稲田大学 ,  川鉄テクノリサーチ株式会社 ,  宗田 孝之 ,  會沢 勝夫 ,  林 仲信 ,  大坪 真也 ,  市川 文彦

Inventor： 宗田 孝之 ,  會沢 勝夫 ,  林 仲信 ,  大坪 真也 ,  市川 文彦

IPC: G01J3/14

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/2889 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/11

Abstract: 　サンプルの２次元の位置情報と波長情報を同時にかつリアルタイムに分光画像として測定することのできるリアルタイム分光画像分析装置及び分析方法を提供する。サンプルＳを載置する可動ステージ１と、サンプルＳの表面に白色光を照射する光源２と、白色光がサンプルＳの表面に反射して生じた反射光の１ライン上の領域を１度に分光する分光器４と、分光器４によって反射光から分光された分光スペクトルを１次元位置情報と波長情報として１フレームに取り込む白黒ＣＣＤカメラ５と、白黒ＣＣＤカメラ５で取り込まれた１次元位置情報と波長情報を記憶，解析，画像処理するとともに白黒ＣＣＤカメラ５のフレーム単位で前記可動ステージ１を１軸動作させるコンピュータ６とを備えた。

Abstract translation: 提供了一种实时光谱图像分析装置和能够同时且实时地将样品上的二维位置信息和波长信息作为光谱图像进行测量的分析方法。 该装置包括可放置样品S的可移动台（1），用于将白光发射到样品S的表面上的光源（2），用于一次光谱分析的区域的光谱仪（4） 通过从样品S的表面反射白光产生的反射光的一行，用于将由分光器（4）获得的反射光的光谱作为一维位置的白黑CCD CCD照相机（5） 信息和波长信息转换为一帧;以及计算机（6），用于存储，分析和图像处理由白黑CCD相机（5）获取的一维位置信息和波长信息，并使可移动台（ 1）在白黑CCD相机（5）的基础上进行单轴操作。

公开(公告)号：WO2015185620A1

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：PCT/EP2015/062371

申请日：2015-06-03

Applicant: LUDWIG-MAXIMILIANS-UNIVERSITÄT MÜNCHEN

Inventor： HUBER, Robert Alexander ,  KARPF, Sebastian ,  EIBL, Matthias

IPC: H01S3/10 ,  H01S3/30 ,  H01S3/094

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/10 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/6408 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/6484 ,  G01N2201/06146 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/12 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/10015 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/2316 ,  H01S3/302 ,  H01S2301/02

Abstract: Described is a system for inducing and detecting multi-photon processes, in particular multi- photon fluorescence or higher harmonic generation in a sample. The system comprises a dynamically-controllable light source, said dynamically-controllable light source comprising a first sub-light source, said first sub-light source being electrically controllable such as to generate controllable time-dependent intensity patterns of light having a first wavelength, and at least one optical amplifier, thereby allowing for active time-control of creation of multi-photon-excitation. The system further comprises a beam delivery unit for delivering light generated by said dynamically-controllable light source to a sample site, and a detector unit or detector assembly for detecting signals indicative of said multi-photon process, in particular multi-photon fluorescence signals or higher harmonics signals.

Abstract translation: 描述了用于诱导和检测多光子过程的系统，特别是样品中的多光子荧光或更高次谐波产生。 该系统包括动态可控光源，所述动态可控光源包括第一子光源，所述第一子光源是电可控制的，以便产生具有第一波长的光的可控时间依赖强度图案， 和至少一个光放大器，从而允许对多光子激发的产生的主动时间控制。 该系统还包括用于将由所述动态可控光源产生的光传送到采样部位的光束传送单元，以及用于检测指示所述多光子过程，特别是多光子荧光信号的信号的检测器单元或检测器组件， 高次谐波信号。

公开(公告)号：WO2015049494A1

公开(公告)日：2015-04-09

申请号：PCT/GB2014/052937

申请日：2014-09-30

Applicant: RENISHAW PLC

Inventor： MASON, Thomas Anthony

IPC: G01N21/65 ,  G01J3/44 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01N21/65 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/44 ,  G01J2003/2826 ,  G01N2201/025 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/117 ,  G01N2201/122

Abstract: This invention concerns spectroscopy apparatus comprising a light source (101) arranged to generate a light profile (110) on a sample, a photodetector (103) having at least one photodetector element (104) for detecting characteristic light generated from interaction of the sample with light from the light source (101), a support (109) for supporting the sample, the support (109) movable relative to the light profile (110), and a processing unit (121). The processing unit (121) is arranged to associate a spectral value recorded by the photodetector element (104) at a particular time with a point on the sample predicted to have generated the characteristic light recorded by the photodetector element (104) at the particular time based on relative motion anticipated to have occurred between the support (109) and the light profile (110).

Abstract translation: 本发明涉及光谱设备，其包括被布置成在样品上产生光谱（110）的光源（101），具有至少一个光电检测器元件（104）的光电检测器（103），用于检测由样品与 来自光源（101）的光，用于支撑样品的支撑件（109），可相对于光轮廓（110）移动的支撑件（109）和处理单元（121）。 处理单元（121）被布置为将由特定时间的光电检测器元件（104）记录的光谱值与预测在特定时间产生由光电检测器元件（104）记录的特征光的样品上的点相关联 基于预期在支撑件（109）和光轮廓（110）之间发生的相对运动。

公开(公告)号：EP2056090B1

公开(公告)日：2018-08-29

申请号：EP08167937.5

申请日：2008-10-30

Applicant: Sony Corporation

Inventor： Furuki, Motohiro ,  Imanishi, Shingo ,  Shinoda, Masataka ,  Suzuki, Akitoshi ,  Miyake, Kazushi

IPC: G01N15/14 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: A fine particle measuring method of performing optical measurement of fine particles introduced into a plurality of sample fluidic channels (111) provided at predetermined distances on a substrate (11) by scanning light to the sample fluidic channels (111) is disclosed. The method includes: sequentially irradiating the light to at least two or more reference regions provided together with the sample fluidic channels (111); detecting a change of optical property occurring in the light due to the reference regions; and controlling timing of emission of the light to the sample fluidic channels (111).

公开(公告)号：EP3260845A3

公开(公告)日：2018-05-02

申请号：EP17168073.9

申请日：2017-04-25

Applicant: Fujifilm Corporation

Inventor： KOBAYASHI, Takashi

IPC: G01N21/64 ,  G01T1/20 ,  G01N27/447

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/6486 ,  G01N27/44717 ,  G01N27/44721 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/06193 ,  G01N2201/11

Abstract: There are provided a control device of an image reading apparatus, an operation method and an operation program thereof, and an image detection system capable of quickly and easily outputting an image having an appropriate density for analysis from an image reading apparatus. An image receiving unit (80) receives a pre-image output in pre-scanning performed before main scanning for outputting a main image for analysis in an image reading apparatus (11). A region information receiving unit (81) receives information of a region in the pre-image designated by a user. A calculation unit (83) calculates an appropriate voltage value (HVM) that is a voltage value of the photomultiplier (31) at which a density of the region becomes an appropriate density for analysis. A scanning conditions setting unit (84) sets the appropriate voltage value (HVM) as temporary scanning conditions (76M) of main scanning.

Abstract translation: 提供了图像读取装置的控制装置，其操作方法和操作程序以及图像检测系统，其能够从图像读取装置快速且容易地输出具有适当分辨率的图像。 图像接收单元（80）接收在主扫描之前执行的预扫描中输出的预图像输出，以在图像读取装置（11）中输出用于分析的主图像。 区域信息接收单元（81）接收用户指定的预先图像中的区域的信息。 计算单元（83）计算作为光电倍增管（31）的电压值的适当电压值（HVM），在该电压值处该区域的密度变为用于分析的适当密度。 扫描条件设定部（84）将适当的电压值（HVM）设定为主扫描的临时扫描条件（76M）。

公开(公告)号：EP2953215A1

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：EP14192304.5

申请日：2014-11-07

Applicant: Ludwig-Maximilians-Universität München

Inventor： Huber, Robert Alexander ,  Karpf, Sebastian ,  Eibl, Matthias

IPC: H01S3/10 ,  H01S3/30 ,  H01S3/094

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/10 ,  G01J3/44 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/6408 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/6484 ,  G01N2201/06146 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/12 ,  H01S3/06712 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/094007 ,  H01S3/10015 ,  H01S3/1618 ,  H01S3/2316 ,  H01S3/302 ,  H01S2301/02

Abstract: Described is a system for inducing and detecting multi-photon processes, in particular multi-photon fluorescence or higher harmonic generation in a sample. The system comprises a dynamically-controllable light source, said dynamically-controllable light source comprising a first sub-light source, said first sub-light source being electrically controllable such as to generate controllable time-dependent intensity patterns of light having a first wavelength, and at least one optical amplifier, thereby allowing for active time-control of creation of multi-photon-excitation. The system further comprises a beam delivery unit for delivering light generated by said dynamically-controllable light source to a sample site, and a detector unit or detector assembly for detecting signals indicative of said multi-photon process, in particular multi-photon fluorescence signals or higher harmonics signals.

Abstract translation: 描述了用于诱导和检测多光子过程，特别是样品中的多光子荧光或更高次谐波产生的系统。 该系统包括动态可控光源，所述动态可控光源包括第一子光源，所述第一子光源是电可控制的，以便产生具有第一波长的光的可控时间依赖强度图案， 和至少一个光放大器，从而允许对多光子激发的产生的主动时间控制。 该系统还包括用于将由所述动态可控光源产生的光传送到采样点的光束传送单元，以及用于检测指示所述多光子过程，特别是多光子荧光信号的信号的检测器单元或检测器组件， 高次谐波信号。

公开(公告)号：JP2017502499A

公开(公告)日：2017-01-19

申请号：JP2016528082

申请日：2014-11-05

Applicant: ケーエルエー−テンカー コーポレイション ,  ケーエルエー−テンカー コーポレイション

Inventor： アレン パーク ,  アレン パーク ,  クレイグ マクノートン ,  クレイグ マクノートン ,  エリス チャン ,  エリス チャン

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01B11/06 ,  G01B11/0675 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/11 ,  G01N2201/125 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70616

Abstract: ウェハ検査プロセスの1つ以上のパラメータを決定するための方法及び装置が提供される。1つの方法は、ウェハ計測システムによって生成されたウェハの計測データを取得することを含む。本方法はまた、計測データに基づいて、このウェハまたは別のウェハのウェハ検査プロセスの1つ以上のパラメータを決定することも含む。【選択図】図2

Abstract translation: 提供了一种用于确定晶片检查过程的一个或多个参数的方法和装置。 一种方法包括获得由晶片测量系统所产生的晶片的测量数据。 该方法还基于测量数据，包括确定所述晶片或另一晶片的晶片检查过程的一个或多个参数。 .The

公开(公告)号：JP2004219092A

公开(公告)日：2004-08-05

申请号：JP2003003266

申请日：2003-01-09

Applicant: Kawatetsu Techno Res Corp ,  Univ Waseda ,  学校法人早稲田大学 ,  川鉄テクノリサーチ株式会社

Inventor： MUNEDA TAKAYUKI ,  AIZAWA KATSUO ,  HAYASHI NAKANOBU ,  OTSUBO SHINYA ,  ICHIKAWA FUMIHIKO

IPC: G01J3/14 ,  G01J3/28 ,  G01J3/50 ,  G01N21/64 ,  G01N33/483

CPC classification number: G01N21/6428 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/2889 ,  G01N21/6456 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/103 ,  G01N2201/11

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a real time spectral image analyzer, and an analyzing method capable of concurrently measuring two-dimensional positional information and wavelength information of a sample on a real time basis as a spectral image.
SOLUTION: The real time spectral image analyzer is provided with a movable stage 1 carrying the sample S, a light source 2 irradiating white light on a surface of the sample S, a spectroscope 4 making a spectral diffraction at once of an area on one line of reflected light of the white light from the surface of the sample S, a black-and-white CCD camera 5 taking in a spectrum from the spectral diffraction of the reflected light made by the spectroscope 4 as one-dimensional positional information and wavelength information in one frame, and a computer 6 storing, analyzing, and image-processing the one-dimensional positional information and wavelength information taken in by the black-and-white CCD camera 5, and uniaxially operating the movable stage 1 in frame units of the black-and-white CCD camera 5.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

公开(公告)号：KR1020090045845A

公开(公告)日：2009-05-08

申请号：KR1020080101698

申请日：2008-10-16

Applicant: 소니 가부시끼가이샤

Inventor： 후루키모토히로 ,  이마니시신고 ,  시노다마사타카 ,  스즈키아키토시 ,  미야케카즈시

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01N15/1425 ,  G01N15/1436 ,  G01N15/1459 ,  G01N15/1484 ,  G01N21/6428 ,  G01N21/645 ,  G01N2015/1006 ,  G01N2015/1497 ,  G01N2021/058 ,  G01N2021/6419 ,  G01N2021/6421 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/11

Abstract: 기판 위에 배설(配設; provide)된 복수의 시료용 유로에 대해 광을 주사하고, 그 시료용 유로내에 도입된 미소 입자의 광학 측정을 행할 때에, 높은 측정 정밀도를 얻는 것이 가능한 측정 방법을 제공하는 것을 과제(목적)로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 기판(11) 위에 배설된 복수의 시료용 유로(111)에 대해 광을 주사하고, 그 시료용 유로(111) 내에 도입된 미소 입자의 광학 측정을 행하는 미소 입자 측정 방법에 있어서, 상기 시료용 유로(111)에 병설된 적어도 두개 이상의 참조 영역(113)에 대해, 상기 광을 순차(順次) 조사하고, 그 참조 영역(113)에 의해서 상기 광에 생기는 광학 특성의 변화를 검지하는 것에 의해, 상기 시료용 유로(111)에 대한 상기 광의 출사(出射; emission) 타이밍을 제어하는 것을 특징으로 하는 미소 입자 측정 방법을 제공한다.
미소 입자 측정 장치, 기판, 레이저 광원, 주사부, 대물 렌즈, 콜리메이터 렌즈, 검출기, 분광기, 광 제어부, 유로, 참조 영역, 검출 영역, 레이저광(측정광), 검출 대상광, 주사선.