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公开(公告)号：CN104752127A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201410822189.2
申请日：2014-12-25
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
Inventor： 佐藤正辉
IPC: H01J37/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J27/08 , H01J27/022 , H01J37/08 , H01J37/3171 , H01J2237/061 , H01J2237/082
Abstract: 本发明提供一种能够减少反射极的绝缘性降低的支承结构及离子发生装置。离子发生装置(10)具备：电弧室(12)；反射极(62)，具有设置于电弧室内的反射板(64)、及插通于连通电弧室(12)内外的贯穿孔(60)的反射极延长部(66)；以及支承结构(70)，设置于电弧室(12)的外侧，并以确保反射极延长部(66)与贯穿孔(60)的内壁之间的间隙(60a)的方式支承反射极。支承结构(70)具有：罩部件(80)，在电弧室(12)的外部划分与间隙(60a)连通的小室(88)；以及绝缘部件(72)，将电弧室(12)与反射极(62)之间电绝缘。
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公开(公告)号：CN103190203A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201180052640.1
申请日：2011-08-29
Applicant: 株式会社小金井
Inventor： 深田佳成
Abstract: 在基座（43）设置有具有可挠性的一个放电电极（44），由于向放电电极（44）的固定端（44a）供给高电压而产生的电晕放电的斥力，使得放电电极（44）的自由端（44b）侧以固定端（44a）为中心进行旋转运动。因此，与由多个细线形成的刷状电极相比，能够大幅度减少来自放电电极（44）的自由端（44b）侧的发尘量，并能够延长离子发生装置（30）的维护周期。由于设定了一个放电电极（44），因此能够实现离子发生装置（30）的紧凑化，并能够容易地观察放电电极（44）的状态，实现维护的简化。由于放电电极（44）进行旋转运动，因此能够将生成的空气离子EI输送至包装膜（10）的较宽范围内，从而能够提高离子化效率。
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公开(公告)号：CN102105966A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980129479.6
申请日：2009-06-09
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/08 , H01J27/08 , H01J27/16 , H01J37/3171 , H01J2237/061 , H01J2237/0817 , H01J2237/082 , H01J2237/0827 , H01J2237/304
Abstract: 揭示一种提供多模式离子源的技术。在一特定例示性实施例中，可将所述技术实现为用于离子植入的设备，其包括在多种模式下操作的离子源，使得第一模式为弧放电模式，且第二模式为RF模式。
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公开(公告)号：CN101147227B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680009501.X
申请日：2006-03-22
Applicant: 应用材料有限公司
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及适合于离子注入机(10)的离子源(14)，其包括阴极(20)和反阴极(44)。典型的，离子源保持在真空下并使用弧室(16)中产生的等离子体制造离子。从弧室提取等离子体离子，之后将其注入到半导体晶片(12)中。根据本发明的离子源进一步包括发射电子到弧室中的阴极(40)；安置在弧室使得由此阴极发射的电子是入射在其上的电极(44)；用于给该电极加偏压的一个或一个以上的电压电位源(76)；和电压电位调节器(82)，其可操作用于在正向偏压电极从而作为阳极的电压电位源和负向偏压电极从而作为反阴极的电压电位源之间转换。
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公开(公告)号：CN1610051A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410080877.2
申请日：2004-10-11
Applicant: 应用材料有限公司
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J2237/082
Abstract: 本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1129951C
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN97122876.0
申请日：1997-10-30
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
Inventor： T·N·霍尔斯基 , W·E·雷伊诺尔德斯 , R·M·克劳蒂尔
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J27/08 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明提供一种离子源(12)可用于离子掺杂器(10)上。此离子源有一气体密封腔(76)，该腔(76)有围成一气体离化区(R)的导电腔壁(130a、130b、130c、130d、130e、132)。气体密封腔有一用于将离子发射出该腔(76)的一发射孔(78)。一基座(80，82，120)将气体密封腔(76)定位在使由气体密封腔(76)中发射出的离子形成离子束(20)的结构上。一绝缘架(150)固定在气体密封腔上，用于支承阴极并使该阴极与气体密封腔电气绝缘。绝缘架使阴极相对气体密封腔对准，同时使灯丝可与阴极体电绝缘。
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公开(公告)号：CN1428001A
公开(公告)日：2003-07-02
申请号：CN01808943.7
申请日：2001-05-15
Applicant: 瓦里安半导体设备联合公司
CPC classification number: H01J27/022 , H01J27/08
Abstract: 一非直接加热阴极式离子源，包括一个用于感测从弧光腔室抽出离子电流的抽出电流传感器和一个用于控制丝极电源、偏置电源和/或弧光电源的离子源控制器。离子源控制器可以比较感应抽出电流和参考抽出电流并计算出感应抽出电流和参考抽出电流之间的差值。控制非直接加热阴极式离子源的各个电源以使差值最小，这样就能使抽出电流基本上保持在一个恒定值。离子源控制器用一种控制算法，如一个闭合反馈回路，根据差值来控制各个电源。在第一种算法中，由偏置电源提供的偏置电流IB不断变化，以此来控制抽出电流IB。更进一步根据第一种控制算法，丝极电流IF和弧光电压VA保持恒定值。根据第二种控制算法，丝极电流IF不断变化，以此来控制抽出电流IE。更进一步根据第二种控制算法，偏置电流IB和弧光电压VA保持恒定值。
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公开(公告)号：CN1192575A
公开(公告)日：1998-09-09
申请号：CN97122876.0
申请日：1997-10-30
Applicant: 易通公司
Inventor： T·N·霍尔斯基 , W·E·雷伊诺尔德斯 , R·M·克劳蒂尔
IPC: H01J37/08
CPC classification number: H01J27/08 , H01J2237/08 , H01J2237/31701
Abstract: 一种采用本发明的离子源(12)可用于离子掺杂器(10)上。此离子源有一气体密闭腔(76),该腔(76)有围成一气体离化区(R)的导电腔壁(130a、130b、130c、130d、130e、132)。气体密闭腔有一将离子发射出该腔(76)的一发射孔(78)。一基座(80,82,120)将气体密闭腔(76)相对结构(90,14)定位安置,将由气体密闭腔(76)中发射出的离子形成离子束(20)。
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公开(公告)号：CN1017102B
公开(公告)日：1992-06-17
申请号：CN88102716
申请日：1988-05-11
Applicant: 伊顿公司
Inventor： 斯蒂芬·埃斯克约桑波扬 , 门罗·李·金 , 罗伯特·艾伦穆尔
CPC classification number: H01J27/08
Abstract: 一个旁边抽取热阴极型离子源(10)，在该离子源中，电子因有的、朝着阴极正的一边的漂移依靠附加辅助电极(31、32)而被减到最小。附加辅助电极在阳极(12)的两端把阴极(14)包围起来。该电极与阴极和阳极电绝缘。提供了各种各样的部件以便把电位加到电极上，其中包括：把电极相互连接起来；把电极交叉连接到阴极相反的两端；以及把电极偏置于相对于阴极、阳极或地的固定的电位上。
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公开(公告)号：CN1030327A
公开(公告)日：1989-01-11
申请号：CN88102716
申请日：1988-05-11
Applicant: 伊顿公司
Inventor： 斯蒂芬·埃斯克约桑波扬 , 门罗·李·金 , 罗伯特·艾伦穆尔
CPC classification number: H01J27/08
Abstract: 一个旁边抽取热阴极型离子源(10)，在该离子源中，电子因有的、朝着阴极正的一边的漂移依靠附加辅助电极(31、32)而被减到最小。附加辅助电极在阳极(12)的两端把阴极(14)包围起来。该电极与阴极和阳极电绝缘。提供了各种各样的部件以便把电位加到电极上，其中包括：把电极相互连接起来；把电极交叉连接到阴极相反的两端；以及把电极偏置于相对于阴极、阳极或地的固定的电位上。
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