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公开(公告)号：CN110189968B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201910495664.2
申请日：2019-06-06
Applicant: 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有突出三次空间谐波的轴对称周期永磁聚焦系统，包括多个长度为L的永磁聚焦单元，每个永磁聚焦单元从左至右依次包括：第一磁极(1)；第一永磁体(2)，该第一永磁体(2)的N极连接于所述第一磁极(1)；第二磁极(3)，该第二磁极(3)连接所述第一永磁体(2)的S极；以及第二永磁体(4)，该第二永磁体(4)的S极连接于所述第二磁极(3)。本发明提出的一种具有突出三次空间谐波的轴对称周期永磁聚焦系统，在不缩小周期永磁聚焦系统的周期L的条件下，达到所需的峰值轴向磁场强度Bm，同时利用周期永磁聚焦系统在轴线上的磁场分布的三次空间谐波抑制了电子注半径的波动，达到了维持电子注稳定通过目的。
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公开(公告)号：CN111328426A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201880072357.7
申请日：2018-10-18
Applicant: 阿尔卡姆公司
IPC: H01J37/304 , H01J3/02 , B29C64/153 , B29C64/393 , B22F3/105
Abstract: 一种用于检测电子束源中的电子束丝磨损的方法，该方法包括以下步骤：将工作台上电子束源发出的束斑扩大到预定最小尺寸；通过相机捕获工作台上的束斑的图像；将束斑的捕获图像与参考图像进行比较；如果捕获图像与参考图像偏离大于预定值，则检测到丝磨损。
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公开(公告)号：CN110534385A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910857590.2
申请日：2019-09-09
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: H01J3/14
Abstract: 本发明提供了一种具有整体膜电极棒的电四极透镜组，包括四根沿轴向尺寸一致的柱形电极棒和至少两个固定电极棒的固定板，所述固定板表面具有四个排列成菱形的固定孔和处于四个固定孔中心的束流通孔；所述电极棒轴向与固定板表面垂直固定于所述固定孔内；所述电极棒由绝缘材料制成，电极棒表面沿轴向具有至少两段间隔布置且宽度相等的导电膜，沿电极棒径向看，四个电极棒上的每一段导电膜的两端分别对齐。本发明提供的具有整体膜电极棒的电四极透镜组的优点在于：通过在绝缘电极棒上镀膜形成多段膜电极，使用固定板固定电极棒，确保前后单元透镜的中心轴绝对同轴，提高透镜组的聚焦性能和束流品质，简化了透镜组的结构和安装工艺，便于制造和推广。
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公开(公告)号：CN110189968A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910495664.2
申请日：2019-06-06
Applicant: 中国科学院电子学研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有突出三次空间谐波的轴对称周期永磁聚焦系统，包括多个长度为L的永磁聚焦单元，每个永磁聚焦单元从左至右依次包括：第一磁极(1)；第一永磁体(2)，该第一永磁体(2)的N极连接于所述第一磁极(1)；第二磁极(3)，该第二磁极(3)连接所述第一永磁体(2)的S极；以及第二永磁体(4)，该第二永磁体(4)的S极连接于所述第二磁极(3)。本发明提出的一种具有突出三次空间谐波的轴对称周期永磁聚焦系统，在不缩小周期永磁聚焦系统的周期L的条件下，达到所需的峰值轴向磁场强度Bm，同时利用周期永磁聚焦系统在轴线上的磁场分布的三次空间谐波抑制了电子注半径的波动，达到了维持电子注稳定通过目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109935504A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910133710.4
申请日：2019-02-22
Applicant: 苏州艾钛科纳米科技有限公司
Abstract: 一种基于热电子放电的矩形电子源，包括方法兰板，方法兰板上排列有多组电极组，电极组包括第一电极单元与第二电极单元，电极单元包含正极、负极接线柱，每个接线柱内形成冷却腔，可对放电中的电极组进行冷却，方法兰板上设有方法兰腔，方法兰腔的内腔为放电腔，电极组上设有钨丝，方法兰腔上设有射出口并套装磁体，方法兰板内部设有第一冷却腔，方法兰腔内部设有第二冷却腔，法兰前装配有阴极栅网，加速电子并吸收阳离子。本发明通过矩形形状配合多组带冷却腔的电极组、第一冷却腔配合第二冷却腔，以及在套装的磁体及阴极栅网的相互作用下，使得电子源的辐射面更广、放电均匀且能达到更好的冷却效果。
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公开(公告)号：CN109767961A
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201811619109.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第十二研究所
Abstract: 本发明公开了一种带屏蔽结构的尖锥阵列型场发射电子源，其特征在于，包括从下到上依次设置的基底、发射尖锥、绝缘层、屏蔽层和栅极；所述发射尖锥至少部分暴露于所述绝缘层外，所述屏蔽层位于由所述发射尖锥、绝缘层和栅极构成的空腔中，以隔断所述发射尖锥和栅极。该场发射电子源带有防止沿络电弧的屏蔽结构，能有效防止传统场发射电子源的常见的沿络电弧失效的问题发生。本发明还公开了一种带屏蔽结构的尖锥阵列型场发射电子源的制作方法。
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公开(公告)号：CN107993909B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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公开(公告)号：CN109285739A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201710636142.0
申请日：2017-07-19
Applicant: 刘梅
Inventor： 刘梅
Abstract: 该发明属于可集成电真空辐射源器件配套用冷阴极电子枪，包括：电子枪壳体及其底座，上、下电极板及设有与冷阴极的个数相同通孔的微波输入层，微波输入层中各通孔分别与上、下电极板一并组成相应个数的互作用腔，各冷阴极分别嵌于相应互作用腔底部的下电极板上，在正对每个互作用腔的上电极板区域内均开设了一组各孔尺寸都小于微波波长的阵列式电子注输出孔。该发明具有注波互作用空间小，可按要求馈入不同频率的微波来调制多个冷阴极发射电流、以产生不同调制频率及强度的多个电子注，而且每个电子注微波调制相位可控，可为集成微型电真空辐射源器件提供多个电子注源，且输出功率大，有效扩大了应用范围等特点。
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