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公开(公告)号：CN116798841B
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202310873845.0
申请日：2023-07-14
Applicant: 无锡亘芯悦科技有限公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/14 , H01J37/141 , H01J37/12
Abstract: 本发明公开了一种束张角可调的扫描电子束成像系统及电子束控制方法，属于扫描电子束成像技术领域。所述系统通过合理设置多级透镜与可移动孔径光阑的位置，一方面实现电子束束流调节以及束张角高度优化控制，使得高斯像，球差，色差，衍射等像差得到优化，从而得到电子束成像系统的最佳分辨率；另一方面各级透镜以及可移动孔径光阑结构和功能相对独立，工程易实现。本申请提供的扫描电子束成像系统，能够在保证低能扫描电子束高分辨成像的同时能够满足高能电子束不受浸没式复合物镜工作距离限制，实现最优高分辨成像；而且既可以针对磁性样品进行扫描成像，又可以对非磁性样品进行扫描成像。
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公开(公告)号：CN119053866A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202380033924.9
申请日：2023-04-11
Applicant: 怀俄尼克斯有限责任公司
Abstract: 本文描述了操纵纳米尺度颗粒和微米尺度颗粒的系统和方法。系统通常包括：光学成像系统，其用于获取颗粒样品的图像；处理器，其用于分析图像，标识图像中的目标颗粒，以及确定目标颗粒在颗粒样品中的侧向位置；和基于真空的探测器系统，其包括可移动探测器和真空泵，真空泵被配置为通过探测器向上施加真空。处理器提供用于将探测器移动至目标颗粒的侧向位置的指令，以及用于通过探测器向上施加真空以使得目标颗粒被从颗粒样品拉出并且保持抵靠可移动探测器的末端的指令。
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公开(公告)号：CN113892165B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202080039403.0
申请日：2020-05-18
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor： 任伟明 , 刘学东 , 胡学让 , 陈仲玮 , M·G·M·J·玛森
Abstract: 公开了减轻多射束设备中的库仑效应的系统和方法。该多射束设备可以包括：带电粒子源，被配置为沿着初级光轴生成初级带电粒子束；第一孔阵列，该第一孔阵列包括第一多个孔，该第一多个孔具有形状并且被配置为生成源自初级带电粒子束的多个初级子束；聚光透镜，包括沿着初级光轴可调的平面；以及第二孔阵列，该第二孔阵列包括第二多个孔，该第二多个孔被配置为生成与多个子束相对应的探测子束，其中多个探测子束中的每个探测子束包括至少基于聚光透镜的平面的位置和第二孔阵列的特性的对应初级子束的带电粒子的部分。
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公开(公告)号：CN118588522B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411073109.8
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
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公开(公告)号：CN118872022A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202280091475.9
申请日：2022-02-16
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 描述了一种基板的在线检查方法。该方法包括：在基板的第一表面部分之上扫描初级电子束(105)，该基板是具有晶粒结构，特别是LTPS结构的大面积基板；在第一表面部分之上扫描该初级电子束(105)期间利用分段的二次电子检测器(130)的第一检测器区段(231)及第二检测器区段(232)检测二次电子信号，其中该第一检测器区段(231)提供第一强度数据(IE(x,y))并且该第二检测器区段(232)提供第二强度数据(IW(x,y))；基于第一强度数据(IE(x,y))与第二强度数据(IW(x,y))之间的差异计算基板(10)的在x方向上的表面陡度；以及基于在x方向上的表面陡度确定该第一表面部分的形貌(T)。进一步提供了一种被配置为执行此种方法的扫描电子显微镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118866635A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410829173.8
申请日：2021-08-24
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
Inventor： A·奥科夫斯基
IPC: H01J37/28 , H01J37/26 , H01J37/20 , B25B11/00 , G01N23/04 , G01N23/20 , G01N23/20091 , G01N23/2209 , G01N23/2251
Abstract: 本发明涉及一种用于操作辐射设备、尤其是粒子辐射设备和/或激光辐射设备的方法。此外，本发明还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的辐射设备。此外，本发明还涉及一种用于物体的物体固持器。例如，物体固持器能够布置在粒子辐射设备中。根据本发明的方法包括以下步骤：使用激光射束装置的激光射束和/或利用粒子辐射设备的粒子射束在物体固持器上产生标记，其中，粒子射束具有带电粒子；将物体布置在物体固持器上；使物体固持器运动；使用标记相对于物体相对定位粒子射束和/或激光射束；以及利用粒子射束和/或激光射束处理、成像和/或分析物体。
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公开(公告)号：CN118584529B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411073112.X
申请日：2024-08-06
Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) , 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种基于法拉第杯测量电子束的方法及相关产品。所述方法包括：获取所述扫描电子显微镜扫描所述法拉第杯的杯盖表面所产生的电流曲线图，其中所述电流曲线图在所述扫描电子显微镜扫描经过所述环形入射孔时存在阶跃峰；根据所述阶跃峰的峰值确定所述扫描电子显微镜发射的电子束的强度信息；获取所述电流曲线图中的阶跃峰间距和所述环形入射孔的尺寸大小；以及基于所述阶跃峰间距和所述尺寸大小确定所述电子束的定位信息，其中所述电子束的定位信息可实现电子束对中。利用本申请的方案，可以在实现电子束强度测量的同时实现电子束的位置定位，从而实现自动电子束对中，极大地提升电子束的测量效率和测量精度。
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公开(公告)号：CN117378029B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202280036973.3
申请日：2022-07-05
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: H01J37/073 , H01J37/28
Abstract: 一种电子束装置包含用于发射电子的冷场发射源及相对于所述冷场发射源正偏置以从所述冷场发射源中提取所述电子的提取器电极。所述提取器电极具有用于所述电子的第一开口。所述电子束装置还包含具有用于所述电子的第二开口的镜电极。所述镜电极能够配置为在第一操作期间相对于所述提取器电极正偏置且在第二操作模式期间相对于所述提取器电极负偏置。所述提取器电极安置于所述冷场发射源与所述镜电极之间。所述电子束装置进一步包含相对于所述提取器电极及冷场发射源正偏置的阳极。所述镜电极安置于所述提取器电极与所述阳极之间。
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公开(公告)号：CN113035674B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202110165840.3
申请日：2021-02-07
Applicant: 上海精测半导体技术有限公司
Inventor： 缪晖华
Abstract: 本发明涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种多气源气体注射装置，其中，外壳内沿多气源气体注射装置的轴向设置有多个气源安装工位，气源安装工位用于安装气源发生模块；外壳的一端与轴向驱动模块连接，外壳的另一端与气体注射模块连接；气体注射模块延伸至外壳另一端的内部与气源发生模块连接，轴向驱动模块延伸至外壳一端的内部与气源发生模块连接，用于驱动气源发生模块进行轴向运动。本发明提供的多气源气体注射装置，多个气源发生模块沿多气源气体注射装置的轴向安装，形成轴向分布，占用空间小，在将多气源气体注射装置安装在带电粒子束设备的腔体上时，有利于避免气源发生模块和其他部件干涉。
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公开(公告)号：CN118737785A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410360170.4
申请日：2024-03-27
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种操作粒子束设备的方法、计算机程序产品和粒子束设备。该方法具有以下步骤：将带电粒子的粒子束引导到物体的表面上的第一位置；使用检测器单元检测第一相互作用粒子和/或第一相互作用辐射；使粒子束朝一个方向并围绕布置在物体的表面上的旋转点相对旋转可指定的角度，相对旋转是在旋转平面上实现的，并且相对旋转通过以下方式实现：(i)使粒子束旋转，和/或(ii)使粒子束设备的粒子束柱旋转，和/或(iii)使载物台旋转；将粒子束引导到物体的表面上的第二位置，粒子束的引导是通过粒子束沿物体的表面并在旋转平面上的直线相对移动实现的；以及使用检测器单元检测第二相互作用粒子和/或第二相互作用辐射。
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