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公开(公告)号：JP6235415B2
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：JP2014119473
申请日：2014-06-10
Applicant: アルプス電気株式会社
IPC: G01N27/22
CPC classification number: G01N27/223
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公开(公告)号：JP6228790B2
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：JP2013192829
申请日：2013-09-18
Applicant: アルプス電気株式会社
CPC classification number: G01L19/145 , G01L19/0654
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公开(公告)号：JP2017187447A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016078142
申请日：2016-04-08
Applicant: アルプス電気株式会社
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/00 , B81B3/0018 , B81B3/0067 , B81B7/0016 , B81B7/0048 , B81B7/0058 , B81B7/007 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0163 , B81B2207/012 , G01D5/16 , G01D5/24
Abstract: 【課題】可動薄膜に不要な応力を加えることなく支持するとともに、耐衝撃性に優れたセンサ装置を提供すること。 【解決手段】本発明は、可動薄膜と、可動薄膜の変位に応じた信号を出力する検出素子と、を有するセンサ部と、センサ部の外側を囲むように配置された枠部と、枠部とセンサ部との間に設けられたバネ部と、検出素子から出力される信号を処理する回路を含む回路基板と、を備え、枠部は回路基板に積層され、センサ部はバネ部によって枠部に片持ち状に支持され、センサ部と回路基板との間に空隙が構成されたことを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016125901A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2014266833
申请日：2014-12-27
Applicant: アルプス電気株式会社
Abstract: 【課題】 磁界誘導層の熱応力および熱応力に基づく残留応力を低下させて、磁界誘導層からのバイアス磁界を低減できる磁界検知装置を提供する。 【解決手段】 磁気抵抗効果素子などの磁気センサ20は、アルミナで形成された上部絶縁層42で覆われており、その上にニッケル−鉄合金によって磁界誘導層30が形成されている。上部絶縁層42と磁界誘導層30は、窒化ケイ素で形成された保護層43で覆われている。磁界誘導層30と保護層43との間に応力緩和層44が形成されており、応力緩和層44は、磁界誘導層30ならびに保護層43のよりもヤング率が低い材料で形成されている。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种磁场检测器，其能够通过减小磁场感应层的热应力和基于热应力的残余应力来减小来自磁场感应层的偏置磁场。解决方案：磁传感器 20，例如磁阻效应元件被由氧化铝制成的上绝缘层42覆盖，并且在其上形成由镍 - 铁合金制成的磁场感应层30。 上绝缘层42和磁场感应层30被由氮化硅制成的保护层43覆盖。 应力松弛层44形成在磁场感应层30和保护层43之间。应力松弛层44由杨氏模量低于磁场感应层30和保护层43的材料制成。 ：图5
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP5912798B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2012092907
申请日：2012-04-16
Applicant: アルプス電気株式会社
IPC: B81C3/00 , G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84 , B81B3/00
CPC classification number: B81B7/0048 , G01P15/0802 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , G01P15/125 , G01P2015/0828 , H01L29/84
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公开(公告)号：JP2015200581A
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：JP2014079771
申请日：2014-04-08
Applicant: アルプス電気株式会社
Abstract: 【課題】本発明は、ハウジングの応力分布の不均一を抑制して、良好な気密性及びセンサ感度を得ることができる圧力検出装置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の圧力検出装置10は、キャビティ23が形成されたハウジング21と、キャビティ23に設置された圧力センサ15と、ハウジング21に埋設されたリードフレーム31とを有し、リードフレーム31は、キャビティ23内部に露出して圧力センサ15と電気的に接続される上部リードフレーム31aと、ハウジング21の厚み方向に延出する接続部31dと、ハウジング21の底面21bから露出する露出部31eとを有し、露出部31eは、ハウジング21の底面21bと同一平面を構成していることを特徴とする。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种压缩检测装置，其抑制壳体的应力分布的不均匀性，并且可以获得优异的气密性和传感器灵敏度。解决方案：根据本发明的压力检测装置10包括：壳体21， 具有形成的腔23; 安装在空腔23内的压力传感器15; 引线框架31具有：暴露在空腔23内部以与压力传感器15电连接的顶部引线框架31a;引线框架31， 连接部31d，其朝向壳体21的厚度方向延伸; 以及从壳体21的底面21b露出的露出部31e，露出部31e构成为与壳体21的底面21b齐平。
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公开(公告)号：JP5755337B2
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：JP2013540718
申请日：2012-10-11
Applicant: アルプス電気株式会社
CPC classification number: G01P1/023 , G01L19/147 , G01P15/0802 , H01L2224/48091 , H01L23/08
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公开(公告)号：JP2015129643A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：JP2014000093
申请日：2014-01-06
Applicant: アルプス電気株式会社
Abstract: 【課題】 アルミニウムによる配線層を形成しても熱ヒステリシスによる出力変動を抑制できるMEMSセンサを提供する。 【解決手段】 正方形のMEMSセンサ1の4つの角部に金の電極パッド16a,16b,16c,16dが形成されている。電極パッド16a,16b,16c,16dと検知素子部15a,15b,15cが連結配線層20,25で導通している。連結配線層20,25はアルミニウムの下部配線層21,26と金の上部配線層22,27とで構成されている。アルミニウムの下部配線層21,26を適度な長さでバランスよく配置したことで、熱ヒステリシスによる残留応力による出力変動を抑制できるようになる。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：即使当形成铝基布线层时，也提供能够抑制由于热滞后引起的输出波动的MEMS传感器。解决方案：金电极焊盘16a，16b，16c，16d形成在 方形MEMS传感器。 电极焊盘16a，16b，16c，16d和检测元件15a，15b，15c在连接布线层20,25中具有导电性。连接布线层20,25由铝下布线层21,26和金上布线 层22,27。由于铝下布线层21,26以适当长度的良好平衡设置，可以抑制由于热滞后引起的残余应力引起的输出波动。
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