公开(公告)号：CN105990514A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610121044.9

申请日：2016-03-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  古林智一 ,  北田和也

IPC: H01L41/083 ,  H01L41/187 ,  H01L41/39

Abstract: 本发明的目的在于提供一种对于施加电压的位移的线性优良的压电元件、压电元件应用器件以及压电元件的制造方法。上述压电元件是具备形成在基板(10)上的第一电极(60)、形成在上述第一电极(60)上且包括由下述式(1)表示的ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物的压电体层(70)、以及形成在上述压电体层(70)上的第二电极80的压电元件，上述压电体层由向(100)面优先取向的多晶构成，具有50nm以上2000nm以下的厚度，并且来源于上述压电体层的(100)面的X射线的衍射峰位置(2θ)为22.51°以上22.95°以下，(KX，Na1‑X)NbO3…(1)。

公开(公告)号：CN104253207A

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201410120033.X

申请日：2014-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 角浩二 ,  北田和也 ,  酒井朋裕 ,  滨田泰彰 ,  一色铁也 ,  木村里至 ,  伊藤彰雄 ,  半田恒雄

IPC: H01L41/18 ,  H01L41/08 ,  B41J2/14

CPC classification number: H01L41/183 ,  B06B1/06 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/462 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/475 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3234 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3255 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/765 ,  C04B2235/768 ,  H01L41/187 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/1873 ,  H01L41/1878 ,  H02N2/001 ,  H02N2/181

Abstract: 本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，上述压电材料可减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，并且居里温度也高。上述压电材料含有：第1成分，由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体以外的晶体的且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；第3成分，由为与上述第2成分相同的晶系且居里温度为Tc3的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成，上述Tc1比上述Tc2高，上述Tc3为上述Tc1以上。

公开(公告)号：CN102248793B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201110113789.8

申请日：2011-04-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045 ,  H01L41/18

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878

Abstract: 本发明提供具备耐电压性良好的压电体的液体喷射头、压电元件、压电致动器以及液体喷射装置。液体喷射头(600)具备压电致动器(102)，该压电致动器(102)包括压电体(30)和对压电体(30)施加电压的电极(10、20)，压电体(30)为锰铁酸铋镧，在该锰铁酸铋镧中，铋的摩尔数和镧的摩尔数之和相对于铁的摩尔数和锰的摩尔数之和的比为0.87以上0.94以下，并且铋的摩尔数相对于镧的摩尔数之比为3.57以上4.82以下。

公开(公告)号：CN102180011B

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201110003856.0

申请日：2011-01-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 绳野真久 ,  北田和也

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/135 ,  H01L41/18

CPC classification number: B41J2/055 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878 ,  H01L41/318

Abstract: 本发明提供液体喷头和液体喷射装置以及压电元件，其中液体喷头具有不含铅且绝缘性高能够抑制泄漏电流发生的压电元件。该液体喷头具备压力发生室和压电元件，其中上述压力发生室与喷嘴开口连通，上述压电元件具备：第1电极、形成在上述第1电极上含有铁锰酸铋镧的压电体层、形成在上述压电体层上的第2电极，上述压电体层还含有钛。

公开(公告)号：CN102248793A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN201110113789.8

申请日：2011-04-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045 ,  H01L41/18

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1878

Abstract: 本发明提供具备耐电压性良好的压电体的液体喷射头、压电元件、压电致动器以及液体喷射装置。液体喷射头(600)具备压电致动器(102)，该压电致动器(102)包括压电体(30)和对压电体(30)施加电压的电极(10、20)，压电体(30)为锰铁酸铋镧，在该锰铁酸铋镧中，铋的摩尔数和镧的摩尔数之和相对于铁的摩尔数和锰的摩尔数之和的比为0.87以上0.94以下，并且铋的摩尔数相对于镧的摩尔数之比为3.57以上4.82以下。

公开(公告)号：CN113696623B

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202110533201.8

申请日：2021-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种提高压电元件的特性的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。压电元件为，在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件，种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。

公开(公告)号：CN116896973A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310310757.X

申请日：2023-03-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也 ,  大桥幸司 ,  滨田泰彰 ,  矢野凯己

IPC: H10N30/87

Abstract: 本发明提供一种能够提高压电体层内部的绝缘性的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板；第一电极，其被形成在所述基板上；压电体层，其被形成在所述第一电极上；第二电极，其被形成在所述压电体层上，压电体层包含钾、钠、铌、氧和碳，在压电体层内的二次离子质谱分析中，碳的最大强度相对于氧的最大强度的比率为3.1×10‑3以上且9.1×10‑3以下。

公开(公告)号：CN115891436A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202210985097.0

申请日：2022-08-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也

IPC: B41J2/14

Abstract: 本公开提供一种压电特性良好的在基板上层叠第一电极、压电体层和第二电极而成的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。该压电元件通过在基板上依次层叠第一电极、压电体层和第二电极而成，并具有：取向控制层，其被设置在压电体层和所述第一电极之间，并用于对压电体层的取向进行控制；钛层，其被设置在第一电极和取向控制层之间，并至少包含Ti。

公开(公告)号：CN113696623A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110533201.8

申请日：2021-05-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种提高压电元件的特性的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。压电元件为，在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件，种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。

公开(公告)号：CN108656749B

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201810159615.7

申请日：2018-02-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 北田和也 ,  角浩二 ,  酒井朋裕 ,  高桥敏明 ,  浅川勉

IPC: B41J2/14 ,  H01L41/083 ,  H01L41/18

Abstract: 本发明提供一种具有由向(100)面结晶取向的KNN构成的压电体层的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具有：基板；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且为包含钾、钠、以及铌的多个压电体膜层叠而成的层叠体；第二电极，其被形成在压电体层上，压电体层中的钠浓度在多个压电体膜中的第一压电体膜的第一电极的附近处具有作为钠浓度的极大值的Na极大值，且从Na极大值起越靠近第二电极则越向钠浓度减少的方向倾斜，并且在第一压电体膜与被形成在其正上方的第二压电体膜的边界的附近处具有作为钠浓度的极小值的Na极小值。