-
公开(公告)号：CN105209857B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480028191.0
申请日：2014-05-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。
-
公开(公告)号：CN103776464B
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201310756892.3
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C25/00 , G01C19/5726
Abstract: 提出一种用于调整转速传感器的方法，为了测量转速灵敏度，以围绕旋转轴线的转速加载转速传感器随后在探测装置上测量取决于转速的输出电压，为了确定测试信号灵敏度，以测试信号加载测试装置随后测量探测装置上的取决于测试信号的探测电压，在第一方法步骤中，确定为了实施测试而选择的被称为第一样本转速传感器的转速传感器的转速灵敏度和测试信号灵敏度之间的缩放函数，从第一样本转速传感器的第一样本转速灵敏度和第一样本测试信号灵敏度确定缩放函数，在第二方法步骤中，对于被称为生产转速传感器的转速传感器，从生产转速传感器的生产测试信号灵敏度和缩放函数计算生产转速灵敏度，随后借助于生产转速灵敏度调整生产转速传感器。
-
公开(公告)号：CN103771334B
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201310756912.7
申请日：2013-10-25
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00246 , B81C1/0023 , B81C2203/075 , B81C2203/0771 , H01L2224/48463
Abstract: 提出用于具有至少个MEMS构件(10)并且具有至少个由半导体材料制成的罩(20)的部件(100)的措施,通过所述措施能够使得所述罩(20)除其作为空腔的封闭和微机械结构的保护的机械功能之外,配备有电功能。这种部件(100)的MEMS构件(10)的微机械结构设置在载体(1)与所述罩(20)之间的空腔中,并且包括至少个结构元件(11),所述至少个结构元件能够在空腔内从构件层面向外偏转。根据本发明,所述罩(20)应包括至少个在所述罩(20)的整个厚度上延伸的区段(21,22),所述至少个区段与相邻的半导体材料电绝缘,使得其能够与所述罩(20)的其余区段无关地电接通。
-
公开(公告)号：CN107923751A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050404.9
申请日：2016-06-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/574
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 提出一种转速传感器，该转速传感器具有衬底、至少一个第一转速传感器结构、至少一个第二转速传感器结构，衬底具有主延伸平面，所述至少一个第一转速传感器结构用于探测所述转速传感器的围绕基本上平行于第一轴线的轴线的第一转速、所述至少一个第二转速传感器结构用于探测所述转速传感器的围绕基本上平行于第二轴线的轴线的第二转速，第一轴线平行于所述主延伸平面延伸，第二轴线垂直于所述主延伸平面延伸，其中，所述转速传感器如此包括驱动装置，-所述驱动装置既用于偏转所述第一转速传感器结构的能够相对于所述衬底运动的至少一个第一结构，以及所述第一转速传感器结构的能够相对于所述衬底并且相对于所述第一结构运动的至少一个第二结构，-而且所述驱动装置也用于偏转所述第二转速传感器结构的能够相对于所述衬底运动的至少一个第三结构，以及所述第二转速传感器结构的能够相对于所述衬底并且相对于所述第三结构运动的至少一个第四结构，使得所述第一结构、所述第二结构、所述第三结构以及所述第四结构能够被激励到机械耦合的振动。
-
公开(公告)号：CN107850433A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680042149.3
申请日：2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B3/0054 , B81B2201/0228 , G01C19/5712 , G01C19/5726 , G01C19/5762
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的第一结构和至少一个相对于衬底并且相对于第一结构可运动的第二结构，其中，转速传感器包括至少一个第一驱动结构用于使第一结构从第一结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，转速传感器包括至少一个第二驱动结构用于使第二结构从第二结构的静止位置中以基本上平行于第一轴线的运动分量偏移，其中，第一结构和第二结构可以被激励而以基本上平行于第一轴线的运动分量基本上反相地振动，其中，第一驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第一弹簧，使得该第一弹簧抵抗第一结构的基本上围绕与垂直于主延伸平面走向的第二轴线平行走向的轴线的偏转，其中，第二驱动结构如此具有至少一个固定在衬底上的第二弹簧，使得该第二弹簧抵抗第二结构的基本上围绕与第二轴线平行走向的另一轴线的偏转。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107850430A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680042151.0
申请日：2016-05-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5719
CPC classification number: G01C19/5733 , B81B2201/025 , G01C19/5719
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，该转速传感器具有带有主延伸平面的衬底和至少一个相对于衬底可运动的结构，其中，该结构能够被激励而从所述结构的静止位置中以与基本上平行于所述主延伸平面的驱动方向基本上平行的运动分量振动，其中，所述转速传感器为了激励所述振动而包括至少一个被所述结构携动的梳状电极和至少一个相对于所述衬底固定的梳状电极，其中，通过所述携动的梳状电极和/或所述固定的梳状电极的电压加载能够引起所述激励，其中，所述携动的梳状电极和所述固定的梳状电极如此构造，使得能够探测由于所述转速传感器的围绕基本上垂直于所述驱动方向并且基本上垂直于所述探测方向走向的轴线的转速而以沿着基本上垂直于所述驱动方向的探测方向的力分量作用到所述结构上的力。
-
公开(公告)号：CN107797274A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710799383.7
申请日：2017-09-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B7/182 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 本发明实现用于光的二维偏转的一种微机械装置和一种方法。该装置具有：反射镜组件(12)，该反射镜组件具有用于使照射到反射镜面(13)上的光偏转的反射镜面(13)；其中，反射镜组件(12)能够围绕第一轴线(D1)旋转地布置在第一框架组件(14)内部并且固定在第一框架组件(14)上；其中，第一框架组件(14)能够围绕第二轴线(D2)旋转地布置在致动结构(16)内部并且固定在致动结构(16)上；其中，致动结构(16)具有至少四个压电致动组件(18-i)；其中，至少四个压电致动组件(18-i)的位置不仅关于第一轴线(D1)而且关于第二轴线(D2)对称地布置。
-
公开(公告)号：CN106482722A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610891738.0
申请日：2016-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5726
CPC classification number: G01C19/5755 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及用于运行转速传感器的方法，所述转速传感器具有衬底、相对于衬底可运动的至少一个结构、固定在所述结构上的至少一个第一电极、与衬底固定的至少一个第二电极、与衬底固定的至少一个第三电极、固定在所述结构上的至少一个第四电极、与衬底固定的至少一个第五电极和与衬底固定的至少一个第六电极，其中，所述第一电极至少部分地在第二电极和第三电极之间并且第四电极至少部分地在第五电极和第六电极之间分别在所述结构的静止位置中并且沿着基本上平行于第一轴线的方向布置，其中，在第一方法步骤中，激励所述结构由结构的静止位置振动，所述振动在该振动的至少一个振动周期内的至少一个第一时间区间期间具有基本上平行于一垂直于第一轴线延伸的第二轴线的运动分量。
-
49.发明公开公开(公告)号：CN106458571A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029574.4
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , B81B2207/096 , H01L23/13 , H01L23/49827 , H01L2224/16225
Abstract: (331)仅布置在边缘区段(360)上。本发明提出一种用于在垂直混合集成元器件的结构中减小由装配引起的机械应力的内插器方案，该内插器方案能够实现元器件在元器件载体上的可靠的机械固定并且节省空间地电接通元器件。该内插器(301)包括面状的载体衬底(320)，在该正面布线平面中构造由用于在内插器(301)上装配元器件(100)的正面连接垫(321)，该载体衬底还具有至少一个背面布线平面(330)，在该背面布线平面中构造有用于在元器件载体(110)上的装配的背面连接垫(331)，其中，正面连接垫(321)和背面连接垫(331)相互错开地布置，该载体衬底还具有用于电连接至少一个正面布线平面(320)和至少一个背面布线平面(330)的电镀通孔(340)。根据本发明的载体衬底(310)包括至少一个边缘区段(360)和至少一个中间区段(350)，它们通过应力去耦结构(371)至(310)，该载体衬底具有至少一个正面布线平面
-
公开(公告)号：CN106458570A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580029425.8
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B2207/012 , B81B2207/07 , H01L2224/16225
Abstract: 本发明提出措施，该措施以简单的方式并且可靠地促进MEMS功能元件与MEMS构件结构机械去耦。所述MEMS构件(110)包括至少一个可偏转的功能元件(14)，该功能元件以层结构(12)在MEMS衬底(11)上实现，由此在层结构(12)与MEMS衬底(11)之间至少在功能元件(14)区域中产生中间空间(15)。根据本发明，在MEMS衬底(11)中以盲孔式的沟道结构(171)的形式构造应力去耦结构(17)，该沟道结构向着层结构(12)与MEMS衬底(11)之间的中间空间(15)敞开并且向MEMS衬底(11)中只延伸到预给定深度，使得MEMS衬底(11)至少在沟道结构(171)区域中在背面封闭。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
56
records
(took 0.038 seconds)
