Abstract:
트랜지스터와그 제조방법및 트랜지스터를포함하는전자소자에관해개시되어있다. 개시된트랜지스터는제1방향으로조성이변하는산화물반도체층을채널층으로포함할수 있다. 상기채널층은금속원소인제1 및제2원소와 Zn 을포함하는산화물층일수 있다. 상기채널층의적층방향으로상기제1 및제2원소와 Zn 중적어도하나의함량이변화될수 있다. 상기제1원소는 Hf, Y, Ta, Zr, Ga 및 Al 중어느하나일수 있다. 상기제2원소는 In 일수 있다. 상기채널층은서로다른조성을갖는적어도두 층을포함할수 있다.
Abstract:
트랜지스터와그 제조방법및 트랜지스터를포함하는전자소자에관해개시되어있다. 개시된트랜지스터는제1 페시베이션층및 제2 페시베이션층으로보호될수 있다. 상기트랜지스터상에상기제1 페시베이션층과상기제2 페시베이션층이순차로구비될수 있다. 상기제2 페시베이션층은불소(F)를포함하도록형성될수 있다. 상기 F를포함하는제2 페시베이션층에의해광 및수분등 외부환경에의한트랜지스터의특성변화가억제될수 있다. 상기제1 페시베이션층은 F를포함하지않을수 있다.
Abstract:
인버터와그 제조방법및 인버터를포함하는논리회로에관해개시되어있다. 개시된인버터는서로다른채널층구조를갖는제1 및제2트랜지스터를포함할수 있다. 상기제1트랜지스터의채널층은하부층과상부층을포함할수 있고, 상기제2트랜지스터의채널층은상기하부층과상부층중 어느하나와동일한층일수 있다. 상기하부층과상부층중 적어도하나는산화물층일수 있다. 상기인버터는 E/D 모드(enhancement/depletion mode) 인버터또는상보성(complementary) 인버터일수 있다.
Abstract:
Provided is a holographic recording method in which an interference fringe between a reference beam and a signal beam, modulated according to information regarding a plurality of hologram pixels, is recorded on a holographic recording medium. The holographic recording method includes a multiplexing-recording step for recording the hologram pixels for at least a part of the neighboring hologram pixels to overlap.
Abstract:
본 발명은 기판의 식각부에 금속층을 형성하는 방법을 제공한다. 구체적으로, 기판의 식각부에 금속층을 형성하는 방법은, 기판을 식각하여 수직면을 갖는 식각부를 형성하는 단계, 식각부의 표면에 확산 물질층을 형성하는 단계, 확산 물질층을 열처리하여, 일부가 상기 식각부의 표면 아래로 확산된 씨드층을 형성하는 단계, 및 씨드층 상에 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. 상기한 방법에 따르면, 씨드층에 의해 기판 식각부의 표면 특성이 개선되므로, 식각부의 수직면에 접착성이 우수하고 균일한 두께의 금속층을 형성할 수 있다. 기판, 식각, 금속층, 스캘럽, DRIE, 열처리, 확산
Abstract:
박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 본 발명의 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 물질로 형성된 채널층, 상기 채널층 상에 서로 마주보며 위치하는 소오스 전극 및 드레인 전극, 상기 소오스 전극 및 상기 드레인 전극의 아래에서 상기 채널층을 커버하도록 형성된 보호층, 상기 채널층에 전계를 인가하기 위한 게이트 전극, 및 상기 게이트 전극과 상기 채널층 사이에 개재된 게이트 절연층을 포함하는 것을 특징으로 한다.