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公开(公告)号：KR1020090017802A
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：KR1020070082251
申请日：2007-08-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H03M1/12
CPC classification number: H03M1/26
Abstract: An AD converter using arrangement of stators and a converting method are provided to implement high resolution and high speed with low power consumption and adjustment of stator arrangement. An AD converter includes at least one or more stators(111~148). At least one actuator(101~104) move according to an input voltage. A digital signal generator(150) determines a digital output value, based on the input voltage, according to the arrangement of the stators and the location of the actuators.
Abstract translation: 提供了一种使用定子和转换方法的AD转换器，以低功耗和定子布置的调整来实现高分辨率和高速度。 AD转换器包括至少一个或多个定子（111〜148）。 至少一个致动器（101〜104）根据输入电压移动。 数字信号发生器（150）根据输入电压根据定子的配置和致动器的位置来确定数字输出值。
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公开(公告)号：KR1020070097963A
公开(公告)日：2007-10-05
申请号：KR1020060028991
申请日：2006-03-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , Y10T403/7026
Abstract: A piezoelectric MEMS(Micro Electric Mechanical system) switch and a manufacturing method for the same are provided to form a piezoelectric actuator firstly before an RF signal line for preventing the excessive etching process of the rear surface of the substrate, and for improving the driving efficiency of the actuator. A piezoelectric MEMS(Micro Electric Mechanical system) switch comprises a substrate(101), first and second fixed signal lines, a piezoelectric actuator(130), and a moving signal line(150). The piezoelectric actuator is placed at the same line as the first and second fixed signal lines. One end of the piezoelectric actuator is supported by the substrate to be longitudinally driven. At least one side of the moving signal line is connected to an upper surface of the piezoelectric actuator. One end of the piezoelectric actuator is connected to at least one of the signal lines, and the other end of the actuator is contacted and separated with or from the signal lines. An interval part of the substrate is formed with a first cavity. A second cavity is formed to one side of the first cavity. The moving signal line has first and second supports(151,153), and a contact part(155).
Abstract translation: 提供压电MEMS（微电机械系统）开关及其制造方法，以在RF信号线之前形成压电致动器，以防止基板的后表面的过度蚀刻处理，并且用于提高驱动效率 的执行器。 压电MEMS（微机电系统）开关包括基板（101），第一和第二固定信号线，压电致动器（130）和移动信号线（150）。 压电致动器被放置在与第一和第二固定信号线相同的线上。 压电致动器的一端由被纵向驱动的基板支撑。 移动信号线的至少一侧连接到压电致动器的上表面。 压电致动器的一端连接到信号线中的至少一个，致动器的另一端与信号线接触或分离。 衬底的间隔部分形成有第一腔。 第二腔形成在第一腔的一侧。 移动信号线具有第一和第二支撑件（151,153）和接触部分（155）。
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公开(公告)号：KR1020070053515A
公开(公告)日：2007-05-25
申请号：KR1020050111380
申请日：2005-11-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , Y10T29/49002 , Y10T29/49016 , Y10T29/4913 , Y10T29/49144 , Y10T29/49155
Abstract: 저전압에서 하방 구동하는 압전효과(piezoelectric effect)를 이용한 RF 멤스 스위치 및 그 제조방법이 개시된다. 상기 RF 멤스 스위치는 RF 신호라인과 캐비티를 구비한 기판; 상기 캐비티 위에 위치하며 상기 기판에 일단이 고정된 캔틸레버; 및 상기 캔틸레버가 하방으로 구동할 때 상기 RF 신호라인과 접촉하여 상기 RF 신호라인을 연결하기 위한 접속패드;를 포함한다. 상기 RF 멤스 스위치는 기판의 캐비티 위에 캔틸레버를 제작하고, 상기 기판에 RF 신호라인을 형성한 후, 상기 캔틸레버의 상단부에 접속패드를 형성하여 제조한다.
MEMS, 스위치, 캔틸레버, RF, 압전-
公开(公告)号：KR1020070013950A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：KR1020050068648
申请日：2005-07-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2057/006
Abstract: A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) switch is provided to prevent stiction from occurring between contact points by turning the switch on and/or off by using electrostatic and piezoelectric forces. A first contact point(120) is positioned in a predetermined first area on an upper surface of a substrate(110). A support layer(130) is suspended at a predetermined distance from the upper surface of the substrate. A second contact point(140) is formed on a lower surface of the support layer. A first actuator(150) moves the support layer in a predetermined direction by using an electrostatic force. A second actuator(160) moves the support layer in a predetermined direction by using a piezoelectric force. If a predetermined first power source is connected to the first actuator, the first actuator moves the support layer toward the substrate so that the second contact point contacts the first contact point.
Abstract translation: 提供了一种MEMS（微机电系统）开关，以通过使用静电和压电力来打开和/或关闭开关来防止接触点之间发生静摩擦。 第一接触点（120）位于衬底（110）的上表面上的预定的第一区域中。 支撑层（130）从衬底的上表面预定距离悬挂。 第二接触点（140）形成在支撑层的下表面上。 第一致动器（150）通过使用静电力使支撑层沿预定方向移动。 第二致动器（160）通过使用压电力使支撑层沿预定方向移动。 如果预定的第一电源连接到第一致动器，则第一致动器将支撑层移向基板，使得第二接触点接触第一接触点。
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公开(公告)号：KR100599083B1
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：KR1020030025481
申请日：2003-04-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L41/02
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/172 , H03H2003/022 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: 본 발명은 캔틸레버 형태의 압전 박막 공진 소자를 간단한 공정을 통해 제조하는 방법 및 그 방법으로 제조된 압전 박막 공진 소자에 관한 발명이다.
본 발명의 방법에 따르면, 기판상에 절연층을 증착하는 단계, 상기 절연층 상에 희생층을 증착하고 패터닝하는 단계, 상기 희생층 상에 하부전극을 증착하고 패터닝하는 단계, 상기 하부전극 상에 압전층을 증착하고 패터닝하는 단계, 상기 압전층 상에 상부전극을 증착하고 패터닝하는 단계 및 상기 희생층을 제거하는 단계를 통해 캔틸레버 형태의 압전 박막 공진 소자를 제조한다.
본 발명의 압전 박막 공진 소자에 따르면, 기판상에 절연층이 증착되고 상기 절연층 상에 캔틸레버 형태로 제조된 하부전극, 상기 하부전극 상에 증착된 압전층, 상기 압전층 상에 증착된 상부전극을 포함하는 구조로 이루어진다.
본 발명에 의하면, 종래기술에 따른 제조방법보다 간단한 공정으로 이루어지고, 소자의 파손도 줄일 수 있으며, 공진율도 더 좋아진다는 효과도 있다.
한편, 본 발명의 제2실시예에서는, 캔틸레버형태와 유사한 형태의 압전 박막 공진 소자를 제조 하는 방법 및 그 방법으로 제조된 압전 박막 공진 소자를 제공한다.
캔틸레버(cantilever), 에어갭(Air Gap), 압전층(Piezoelectric Film), 희생층(sacrificial layer)-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100465235B1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：KR1020020020554
申请日：2002-04-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01R23/00
CPC classification number: G01R21/00 , G01R1/06772
Abstract: An RF power sensor for measuring power for an RF signal using capacitance includes a substrate preferably formed of a semiconductor, such as silicon or of a dielectric substance, a fixture part fixed to the substrate and forming a signal line and ground lines that transmit RF signals, and a bridge connected to the ground lines and floating over the signal line, wherein the bridge is driven by an external driving force, and the external driving force induces capacitance between the bridge and the signal line. Accordingly, power for an RF signal can be measured through the capacitance between the signal line and the bridge. The RF power sensor facilitates matchings, reduces insertion loss, and can be used in a wide bandwidth because it is based on transmission lines having characteristic impedance. Further, high power can be measured depending upon bridge designs.
Abstract translation: 用于使用电容来测量RF信号的功率的RF功率传感器包括：优选地由诸如硅或电介质的半导体形成的衬底;固定到衬底并形成信号线的固定部分以及传输RF信号的接地线 ，以及连接到地线并且漂浮在信号线上的桥，其中桥由外部驱动力驱动，并且外部驱动力在桥和信号线之间感应电容。 因此，可以通过信号线和桥之间的电容来测量RF信号的功率。 RF功率传感器便于匹配，减少插入损耗，并且可以在宽带宽中使用，因为它基于具有特征阻抗的传输线。 此外，高功率可以根据电桥设计进行测量。 ＆lt;图像＆GT;
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公开(公告)号：KR1020040093238A
公开(公告)日：2004-11-05
申请号：KR1020030025481
申请日：2003-04-22
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L41/02
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/172 , H03H2003/022 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49126 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156
Abstract: PURPOSE: A cantilever type FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) and a manufacturing method thereof are provided to simplify manufacturing processes, to improve Q value, and to connect easily the same with outer terminals by exposing an upper and lower electrode. CONSTITUTION: An insulating layer(110) is deposited on a substrate(100). A sacrificial layer is deposited on the insulating layer and patterned. A lower electrode(120) is deposited thereon and patterned. A piezoelectric layer(130) is deposited on the lower electrode and patterned. An upper electrode(140) is deposited on the piezoelectric layer and patterned. The sacrificial layer is removed from the resultant structure by using etching, so that an air gap(170) is formed under the lower electrode.
Abstract translation: 目的：提供悬臂式FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）及其制造方法，以简化制造工艺，提高Q值，并通过暴露上下电极容易地与外部端子连接。 构成：绝缘层（110）沉积在基底（100）上。 牺牲层沉积在绝缘层上并图案化。 下部电极（120）沉积在其上并被图案化。 压电层（130）沉积在下电极上并被图案化。 上压电极（140）沉积在压电层上并被图案化。 通过使用蚀刻从所得结构除去牺牲层，从而在下电极下方形成气隙（170）。
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公开(公告)号：KR101925992B1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：KR1020120047316
申请日：2012-05-04
Abstract: 무선전력 전송 및 충전 시스템, 무선전력 전송 및 충전 시스템의 통신 방법이 개시된다.
무선 전력은, 마그네틱 커플링을 통해 무선 전력 전송 장치로부터 무선 전력 수신 장치로 전달되는 에너지를 의미한다. 따라서, 무선 전력 전송 및 충전 시스템은, 전력을 무선으로 전송하는 소스 디바이스와 전력을 무선으로 수신하는 타겟 디바이스를 포함한다. 이때, 소스 디바이스는 무선 전력 전송 장치라 칭할 수 있다. 또한, 타겟 디바이스는 무선 전력 수신 장치라 칭할 수 있다. 소스 디바이스와 타겟 디바이스는 무선 전력 충전을 위한 통신을 수행할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101829257B1
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：KR1020110125810
申请日：2011-11-29
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H02J50/90 , H02J7/025 , H02J50/12 , H02J50/40 , H02J50/80 , H04B5/0037 , H04B5/0075
Abstract: 셀분할에기초한무선전력전송시스템을개시한다. 무선전력전송시스템의통신및 전력제어방법은, 소스디바이스가마그네틱커플링존을설정하는단계; 상기설정된마그네틱커플링존 내에타겟디바이스를검출하는단계; 상기타겟디바이스의충전을위한충전전력을무선으로상기타겟디바이스에전송하는단계; 및상기충전전력의전송효율에기초하여, 전력전송을중단하거나전송전력의전력량을조정하는단계를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种基于细胞分裂的无线电力传输系统。 一种无线电力传输系统的通信和电力控制方法包括以下步骤：源装置建立磁耦合区域; 在设定的磁耦合区中检测目标装置; 将目标装置充电的充电电力无线传输至目标装置; 并且基于充电电力的传输效率停止电力传输或调整传输电力的电力量。
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