번-인장치 및 방법
    45.
    发明授权
    번-인장치 및 방법 失效
    烧焦设备和方法

    公开(公告)号:KR1019960003988B1

    公开(公告)日:1996-03-25

    申请号:KR1019920012832

    申请日:1992-07-18

    Abstract: 내용 없음.

    Abstract translation: 用于老化测试的老化装置包括用于容纳多个半导体器件的老化测试容器。 此外,老化装置还包括测量装置,用于通过检测内置在半导体芯片(34)中的温度传感器(38)的电特性来单独地测量各个半导体器件的半导体芯片(34)的结温;以及温度调节装置, 控制散热量和半导体芯片的导通。 控制装置(60)根据测量装置的输出来控制诸如用于控制容器的空气喷嘴的空气流量的装置的温度调节装置(52)。 因此,结温可以保持在预定的温度范围内,从而提高筛选试验的准确性。

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