반도체 장치
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1019940006231A

    公开(公告)日:1994-03-23

    申请号:KR1019930008727

    申请日:1993-05-21

    Abstract: 본 발명에는 높은 실장수율을 지닌 반도체장치가 개시되어 잇다. 실장기판(10)상에 형성된 광반사영역(20)으로 조사된 광은 정확한 각도로 반사되고, 반도체칩(40)상에 형성된 제2광반사영역(50)으로 조사된 광도 정확한 각도로 반사된다.
    따라서, 이러한 반사광의 반사각도에 의거해서 실장기판(10)과 반도체칩(40)간의 상대경사도가 측정된다.

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