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公开(公告)号：KR101468164B1
公开(公告)日：2014-12-08
申请号：KR1020130165788
申请日：2013-12-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/04 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/04 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 모세관 현상을 이용한 광전극 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광전극 제조방법은 투명전극인 제1 기재 상부에 제1 크기를 갖는 금속 산화물 입자와, 제1 크기보다 작은 나노급의 제2 크기를 갖는 나노 입자를 어레이하되, 금속 산화물 입자 사이의 공극에 나노 입자가 충전된 형태의 구조체를 형성하는 1단계; 구조체 상부에 제2 기재를 배치하여 구조체가 상기 제1,2 기재 사이에 위치되도록 하는 2단계; 및 제1,2 기재 및 구조체를 금속 산화물 전구체가 분산되어 있는 용액에 침지하여, 금속 산화물 전구체 용액이 제1,2 기재의 간격 및 표면장력에 따른 모세관 현상으로 인하여 구조체에 존재하는 공극에 충전되도록 하는 3단계를 포함한다.
Abstract translation: 公开了使用毛细管现象制造光电极的方法。 根据本发明的实施方案的方法包括：第一步骤，形成金属氧化物颗粒中的气隙填充有纳米颗粒的结构，同时排列具有第一尺寸的金属氧化物颗粒在第一基底的上部 透明电极和具有小于第一尺寸的第二纳米尺寸的纳米颗粒; 在所述结构的上部布置第二基座以将所述结构定位在所述第一和第二基座之间的第二步骤; 以及第三步骤，将第一和第二碱和该结构浸渍在其中分散有金属氧化物前体的溶液中，使得存在于结构中的气隙根据间隔和表面的毛细管现象被金属氧化物前体溶液填充 第一和第二碱的张力。
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公开(公告)号：KR101447079B1
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：KR1020130081727
申请日：2013-07-11
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/141 , H05B3/22 , H05B2203/017 , H05B2214/04
Abstract: The present invention relates to a planar heating element using zinc oxide nanoplates and a manufacturing method thereof. The planar heating element according to an embodiment of the present invention includes: a substrate; a heat emitting layer which is made of ZnO nanoplates on the substrate; and a protection layer which is formed on the top of the heat emitting layer. The present invention can provide the planar heating element configured to ensure even temperature distribution over the entire surface.
Abstract translation: 本发明涉及使用氧化锌纳米板的平面加热元件及其制造方法。 根据本发明实施例的平面加热元件包括：基板; 在衬底上由ZnO纳米板制成的发热层; 以及形成在发热层顶部的保护层。 本发明可以提供构造成确保在整个表面上均匀温度分布的平面加热元件。
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43.发明授权
公开(公告)号：KR101359958B1
公开(公告)日：2014-02-11
申请号：KR1020120013474
申请日：2012-02-09
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 산화아연(ZnO) 나노와이어에 관한 것이다. 이러한 본 발명은 Zinc nitrate hexahydrate와 Hexamethylenetetramine 및 ammonium chloride가 혼합된 성장 용액을 마련하는 단계, 촉매층이 형성된 기판을 상기 성장 용액에 일정 시간 동안 침수시키는 단계를 포함하는 롱타입 ZnO 나노와이어 성장 방법과, 상기 롱타입 ZnO 나노와이어를 추출하여 기타 혼합물에 혼합하여 박막의 필름 형태로 나노 발전기를 제조하는 방법 및 이 방법들을 기반으로 제조된 나노 발전기 및 상술한 나노 발전기 제조를 위한 시스템의 구성을 개시한다.
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公开(公告)号：KR101359358B1
公开(公告)日：2014-02-10
申请号：KR1020120155779
申请日：2012-12-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R1/073 , G01R1/067 , G02F1/1335
Abstract: An insulation coating method of a contact finger for testing a semiconductor using a liquid process is disclosed. According to an embodiment of the present invention, an insulation coating method of a contact finger for testing a semiconductor includes a first step for forming a coating part at one end and the center of a contact finger by partially dipping the contact finer with a central bent part into a coating liquid inside a coating liquid container for dip-coating; and a second step for removing the coating part from one end of the contact finger by dipping one end of the contact finger into an etching liquid.
Abstract translation: 公开了一种使用液体工艺测试半导体的接触指针的绝缘涂覆方法。 根据本发明的实施例，用于测试半导体的接触指状物的绝缘涂覆方法包括：第一步骤，用于通过将接触细微部分地浸渍在中心弯曲部分中来形成接触指状物的一端和接触指中心处的涂覆部分 部分放入用于浸涂的涂布液容器内的涂布液; 以及通过将接触指针的一端浸入蚀刻液中而从接触指的一端去除涂布部分的第二步骤。
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公开(公告)号：KR101264158B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020110098763
申请日：2011-09-29
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은정전식액적토출장치를개시한다. 본발명은, 잉크를기판으로토출하는제 1 몸체와, 잉크주입부가설치되어상기잉크를공급받고, 상기제 1 몸체와결합하여상기잉크를상기제 1 몸체로공급하는제 2 몸체를포함하고, 상기제 1 몸체는, 제 1 면과상기제 1 면과소정각도를형성하는제 2 면을구비하는육면체형태로형성되고, 상기제 1 면으로부터제 2 면의일부까지연장되어형성되는제 1 잉크유동슬롯및 상기제 1 면과평행한제 3 면으로부터상기제 1 면측으로인입되도록형성되는제 2 잉크유동슬롯을구비한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101249767B1
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：KR1020100078213
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B05C5/00
Abstract: 본 발명은 실제 생산 공정시 발생하는 각종 오염을 제거하기 위해 실시되는 세정공정시 세정용 융(cotton flannel) 등에 의해 노즐이 파손(손상)되는 것을 방지할 수 있는 평면형 노즐 표면을 갖는 액적 토출 헤드 및 그의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
이를 위해, 본 발명은 용액을 수용하는 용액 수용부와, 상기 용액 수용부와 연통하여 액적이 토출되는 토출구를 구비한 노즐과, 상기 노즐을 감싸도록 형성된 오목부를 포함하는 노즐 플레이트와, 상기 오목부가 매립되도록 채워지고, 상면이 상기 노즐의 선단면과 평탄화된 절연체를 포함하는 액적 토출 헤드를 제공한다.
따라서, 본 발명은 액적이 토출되는 방향으로 평탄화된 면을 갖는 노즐을 포함한 액적 토출 장치를 제공함으로써 종래기술에 따른 액적 토출 장치에서와 같이 세정공정시 세정용 융에 의해 노즐이 파손되는 것을 원천적으로 방지할 수 있으며, 또한, 노즐에 전계를 집중하도록 함으로써 반도체, 디스플레이, PCB(Printed Circuit Board), 태양전지 등 다양한 산업분야에서 요구되는 미세패턴을 저렴한 공정으로 형성할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101171757B1
公开(公告)日：2012-08-07
申请号：KR1020100137862
申请日：2010-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L51/42
CPC classification number: Y02E10/549
Abstract: 본 발명은 수직 배열 성장된 산화아연(ZnO) 나노 구조체 표면에 유기 박막을 균일하게 형성하는 방법에 관한 것으로,
기판에 산화물 나노 구조물을 형성하는 단계; 상기 산화물 나노 구조물을 이산화탄소 초임계 형성용 셀내에 상기 기판을 배치하는 단계; 상기 초임계 형성용 셀내에 유기물과 용매로 이루어진 유기물 용액을 제공하는 단계; 상기 초임계 형성용 셀내에 이산화탄소를 공급하는 단계; 상기 이산화탄소가 공급된 초임계 형성용 셀 내의 온도 및 압력을 조절하여 초임계 형성용 셀 내의 이산화탄소, 유기물 및 용매를 하나의 페이즈 상태의 초임계 상태를 형성하는 단계; 및 유기물이 산화물 나노 구조물에 성막되도록 초임계 상태를 유지하는 단계를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020120075667A
公开(公告)日：2012-07-09
申请号：KR1020100137416
申请日：2010-12-29
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01L21/02603 , B82Y30/00 , B82Y40/00 , C01G9/02 , H01L21/02293 , H01L29/7869
Abstract: PURPOSE: A zinc oxide nanostructure density control method using seed layer is provided to facilitate large are growth by controlling density of a structure which is grown up by using concentration and particle size of the impurities. CONSTITUTION: A zinc oxide nanostructure density control method using seed layer comprises the following step of forming zinc oxide seed layer and growing zinc oxide nanostructure using the seed layer. The formation method of the zinc oxide seed layer comprises the following steps: dispersing impurity particles in a zinc oxide precursor solution; spreading the dispersed mixture on a substrate with a spin coating; and heat treating the substrate. In the dispersion step, a dispersing agent or stabilizer is used. In the dispersion step, the impurity particles are different kind metal oxide including TiO2 or Al2O3, etc. Concentration and particle size of the impurities are controlled. The heat treating step is processed at 200-500 deg. Celsius.
Abstract translation: 目的：提供使用种子层的氧化锌纳米结构密度控制方法，以通过控制通过使用杂质的浓度和粒度而长大的结构的密度来促进大的生长。 构成：使用种子层的氧化锌纳米结构密度控制方法包括使用种子层形成氧化锌种子层和生长氧化锌纳米结构的以下步骤。 氧化锌种子层的形成方法包括以下步骤：将杂质颗粒分散在氧化锌前体溶液中; 将分散的混合物用旋涂法铺展在基材上; 并对基材进行热处理。 在分散步骤中，使用分散剂或稳定剂。 在分散工序中，杂质粒子是不同种类的金属氧化物，包括TiO 2或Al 2 O 3等。控制杂质的浓度和粒度。 热处理步骤在200-500度处理。 摄氏度。
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公开(公告)号：KR1020120019802A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020100083259
申请日：2010-08-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B05B5/00 , B05C11/10 , H01L21/027
CPC classification number: B05B5/005 , B05C11/1002 , B05C11/1005 , G03F7/16 , G03F7/2041 , H01L21/0274
Abstract: PURPOSE: Droplet jetting apparatus is provided to have nozzle formed in the end of a substrate parallelly, thereby facilitating the manufacturing of the droplet jetting apparatus because of not needing etching process. CONSTITUTION: Droplet jetting apparatus comprises a lower substrate(130) and an upper substrate(110). The upper substrate comprises means for jetting droplet formed in the lower substrate to be parallel with the lower substrate. The means for jetting droplet consists of a first probe(111) and a second probe(112) which offer a path for transferring droplet from an inlet(113) to an outlet(114). The width of the path is narrower than the inlet formed by the first prove and the second prove.
Abstract translation: 目的：提供液滴喷射装置以使喷嘴平行地形成在基板的端部，从而由于不需要蚀刻工艺便于制造液滴喷射装置。 构成：液滴喷射装置包括下基板（130）和上基板（110）。 上基板包括用于喷射形成在下基板中的液滴以与下基板平行的装置。 用于喷射液滴的装置包括提供用于将液滴从入口（113）转移到出口（114）的路径的第一探针（111）和第二探针（112）。 路径的宽度比第一次证明和第二次证明形成的入口窄。
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公开(公告)号：KR1020100076613A
公开(公告)日：2010-07-06
申请号：KR1020080134722
申请日：2008-12-26
Applicant: 전자부품연구원
CPC classification number: H01J1/304 , B82Y40/00 , C01B2202/02 , C01B2202/06 , H01J9/025 , H01J2201/30469
Abstract: PURPOSE: A field emission device and a manufacturing method thereof are provided to strongly adhere a carbon nano tube to a substrate by forming a cathode after patterning with water-based ink including a metal nano particle. CONSTITUTION: A water-based ink is prepared. A pattern is printed on a substrate with the water-based ink(1). An air gap is formed by heat-processing and solidifying the printed pattern. A carbon nanotube composition is printed on the pattern in which the air gap is formed(2). A cathode electrode and a carbon nano tube is formed by executing post-annealing after printing the carbon nanotube composition on a pattern which is generated by printing the water based ink on the substrate and solidifying it. A substrate where a post-annealing is executed is activated(3).
Abstract translation: 目的：提供场致发射器件及其制造方法，通过在包含金属纳米颗粒的水性墨水图案化之后，通过形成阴极，将碳纳米管牢固地附着在基板上。 构成：准备了水性油墨。 使用水性油墨（1）将图案印刷在基材上。 通过热处理和固化印刷图案形成气隙。 将碳纳米管组合物印刷在形成气隙的图案上（2）。 通过在将碳水化合物印刷在基材上并使其凝固而产生的图案上印刷碳纳米管组合物之后，进行后退火来形成阴极电极和碳纳米管。 执行后退火的基板被激活（3）。
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